JPS58106773U - 電子ビ−ム検出器 - Google Patents

電子ビ−ム検出器

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JPS58106773U
JPS58106773U JP389882U JP389882U JPS58106773U JP S58106773 U JPS58106773 U JP S58106773U JP 389882 U JP389882 U JP 389882U JP 389882 U JP389882 U JP 389882U JP S58106773 U JPS58106773 U JP S58106773U
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JP
Japan
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electron beam
beam detector
conductive material
detector
boundary
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Pending
Application number
JP389882U
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English (en)
Inventor
竹村　等
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のワイヤーを使った検出器を示す図、第２
図は本考案に基づく検出器の製造工程の一例を示す図、
第３図は本考案に基づく検出器とその検出回路の一実施
例を示す図、第４図は第３図の実施例における検出信号
を示す図である。 １０：基板、１１：酸化膜、１２：導電膜、１３：レジ
スト、１４：電子ビーム、１５．１６：増幅器、１７：
減算回路、１８：微分回路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 矩形状の電子ビームを直線状の境界を横切って走査し、
    該走査に基づく電子ビームの強度変化を検出するための
    検出器であって、導電性物質の基板上に絶縁層を介して
    導電性物質を選択的に設けることにより該境界を形成し
    た電子ビーム検出器。
JP389882U 1982-01-14 1982-01-14 電子ビ−ム検出器 Pending JPS58106773U (ja)

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JP389882U JPS58106773U (ja) 1982-01-14 1982-01-14 電子ビ−ム検出器

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JPS58106773U true JPS58106773U (ja) 1983-07-20

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