JPS6039559U - ビ−ム電流制御装置 - Google Patents
ビ−ム電流制御装置Info
- Publication number
- JPS6039559U JPS6039559U JP13127583U JP13127583U JPS6039559U JP S6039559 U JPS6039559 U JP S6039559U JP 13127583 U JP13127583 U JP 13127583U JP 13127583 U JP13127583 U JP 13127583U JP S6039559 U JPS6039559 U JP S6039559U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- beam current
- control device
- current control
- monitor
- abstract
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Control Of Voltage And Current In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来のビーム電流制御装置の説明図である。第
2図は本考案の1実施例であるビーム電流制御装置の説
明図である。
2図は本考案の1実施例であるビーム電流制御装置の説
明図である。
Claims (1)
- ビーム電流設定用の関数発生回路からのビーム電流設定
信号とビーム電流検出信号をモニタ回路に入力し、電子
ビーム装置におけるワーク加工中のビーム電流をモニタ
出来るようにしたビーム電流制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13127583U JPS6039559U (ja) | 1983-08-25 | 1983-08-25 | ビ−ム電流制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13127583U JPS6039559U (ja) | 1983-08-25 | 1983-08-25 | ビ−ム電流制御装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6039559U true JPS6039559U (ja) | 1985-03-19 |
Family
ID=30296840
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13127583U Pending JPS6039559U (ja) | 1983-08-25 | 1983-08-25 | ビ−ム電流制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6039559U (ja) |
-
1983
- 1983-08-25 JP JP13127583U patent/JPS6039559U/ja active Pending
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