JPS5842936U - 荷電粒子線描画装置 - Google Patents
荷電粒子線描画装置Info
- Publication number
- JPS5842936U JPS5842936U JP13624981U JP13624981U JPS5842936U JP S5842936 U JPS5842936 U JP S5842936U JP 13624981 U JP13624981 U JP 13624981U JP 13624981 U JP13624981 U JP 13624981U JP S5842936 U JPS5842936 U JP S5842936U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged particle
- particle beam
- beam lithography
- lithography equipment
- deflection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は、荷電粒子線の走査方式を示す平面図、第2図
は、荷電粒子線の走査信号とパターン描画を制御するブ
ランキング信号を示す図、第3図は、補正なしで描画し
た時の描画パターン結果を示す図、第4図は、本考案に
よる補正を行ったときの走査信萼とブランキング信号を
示す図、第5図は、本考案の一実施例を示すブロック図
である。 図において、20・・・荷電粒子線、21・・・試料面
、22・・・偏向器、23・・・ブランキング器、24
・・・パターンデータ変換器、25・・・ブランキング
信号発生器、26・・・走査信号発生器、27・・・偏
向アンプ、28・・・タイミング調整器、29・・・ブ
ランキングアンプ。
は、荷電粒子線の走査信号とパターン描画を制御するブ
ランキング信号を示す図、第3図は、補正なしで描画し
た時の描画パターン結果を示す図、第4図は、本考案に
よる補正を行ったときの走査信萼とブランキング信号を
示す図、第5図は、本考案の一実施例を示すブロック図
である。 図において、20・・・荷電粒子線、21・・・試料面
、22・・・偏向器、23・・・ブランキング器、24
・・・パターンデータ変換器、25・・・ブランキング
信号発生器、26・・・走査信号発生器、27・・・偏
向アンプ、28・・・タイミング調整器、29・・・ブ
ランキングアンプ。
Claims (1)
- 荷電粒子源より発生した荷電粒子線を試料面上に細く絞
る手段と、上記荷電粒子線を試料面上で偏向走査する偏
向手段とを具備した荷電粒子装置において、上記荷電粒
子線をx=−1とX=+1の間を往復偏向走査する際に
偏向の位置Xを1(1−(T)2)に比例した微小量だ
け位置補正する手段を具備したことを特徴とする荷電粒
子線描画装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13624981U JPS5842936U (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | 荷電粒子線描画装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13624981U JPS5842936U (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | 荷電粒子線描画装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5842936U true JPS5842936U (ja) | 1983-03-23 |
Family
ID=29929584
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13624981U Pending JPS5842936U (ja) | 1981-09-16 | 1981-09-16 | 荷電粒子線描画装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5842936U (ja) |
-
1981
- 1981-09-16 JP JP13624981U patent/JPS5842936U/ja active Pending
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