JPS5842936U - 荷電粒子線描画装置 - Google Patents

荷電粒子線描画装置

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JPS5842936U
JPS5842936U JP13624981U JP13624981U JPS5842936U JP S5842936 U JPS5842936 U JP S5842936U JP 13624981 U JP13624981 U JP 13624981U JP 13624981 U JP13624981 U JP 13624981U JP S5842936 U JPS5842936 U JP S5842936U
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JP
Japan
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charged particle
particle beam
beam lithography
lithography equipment
deflection
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Application number
JP13624981U
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English (en)
Inventor
勝広 黒田
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、荷電粒子線の走査方式を示す平面図、第２図
は、荷電粒子線の走査信号とパターン描画を制御するブ
ランキング信号を示す図、第３図は、補正なしで描画し
た時の描画パターン結果を示す図、第４図は、本考案に
よる補正を行ったときの走査信萼とブランキング信号を
示す図、第５図は、本考案の一実施例を示すブロック図
である。 図において、２０・・・荷電粒子線、２１・・・試料面
、２２・・・偏向器、２３・・・ブランキング器、２４
・・・パターンデータ変換器、２５・・・ブランキング
信号発生器、２６・・・走査信号発生器、２７・・・偏
向アンプ、２８・・・タイミング調整器、２９・・・ブ
ランキングアンプ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 荷電粒子源より発生した荷電粒子線を試料面上に細く絞
    る手段と、上記荷電粒子線を試料面上で偏向走査する偏
    向手段とを具備した荷電粒子装置において、上記荷電粒
    子線をｘ＝−１とＸ＝＋１の間を往復偏向走査する際に
    偏向の位置Ｘを１（１−（Ｔ）２）に比例した微小量だ
    け位置補正する手段を具備したことを特徴とする荷電粒
    子線描画装置。
JP13624981U 1981-09-16 1981-09-16 荷電粒子線描画装置 Pending JPS5842936U (ja)

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JPS5842936U true JPS5842936U (ja) 1983-03-23

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