JPS5849867U - 走査型電子線装置の倍率補正装置 - Google Patents
走査型電子線装置の倍率補正装置Info
- Publication number
- JPS5849867U JPS5849867U JP14646581U JP14646581U JPS5849867U JP S5849867 U JPS5849867 U JP S5849867U JP 14646581 U JP14646581 U JP 14646581U JP 14646581 U JP14646581 U JP 14646581U JP S5849867 U JPS5849867 U JP S5849867U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnification correction
- electron beam
- scanning electron
- correction device
- beam equipment
- Prior art date
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- Pending
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の一実施例装置の構成を示すブロック図で
ある。 １・・・走査信号発生部、２・・・掛算型Ｄ−Ａ変換器
、３・・・加速電圧電源、４・・・加速電圧検出部、５
・・・補正演算部、６・・・電圧電流変換増幅部、７・
・・偏向コイル。
ある。 １・・・走査信号発生部、２・・・掛算型Ｄ−Ａ変換器
、３・・・加速電圧電源、４・・・加速電圧検出部、５
・・・補正演算部、６・・・電圧電流変換増幅部、７・
・・偏向コイル。
Claims (1)
- 倍率変化因子の値を検出する手段と、同手段の検出出力
に基いて倍率補正値を算出する補正演算部と、基準走査
信号発生部と、基準走査信号に倍率補正値を掛算する手
段とよりなり、同掛算手段の出力によって走査を行わせ
るようにした走査型電子線装置の倍率補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14646581U JPS5849867U (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 走査型電子線装置の倍率補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14646581U JPS5849867U (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 走査型電子線装置の倍率補正装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5849867U true JPS5849867U (ja) | 1983-04-04 |
Family
ID=29939370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14646581U Pending JPS5849867U (ja) | 1981-09-30 | 1981-09-30 | 走査型電子線装置の倍率補正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5849867U (ja) |
-
1981
- 1981-09-30 JP JP14646581U patent/JPS5849867U/ja active Pending
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