JPS6296842U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6296842U JPS6296842U JP18718985U JP18718985U JPS6296842U JP S6296842 U JPS6296842 U JP S6296842U JP 18718985 U JP18718985 U JP 18718985U JP 18718985 U JP18718985 U JP 18718985U JP S6296842 U JPS6296842 U JP S6296842U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- rectangular aperture
- size
- image
- generating
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 7
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 claims 3
- 238000007792 addition Methods 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
第１図は従来装置を示す図、第２図は描画方式
を示す図、第３図は偏向焦点ボケを示す図、第４
図はクーロン効果による焦点ボケを示す図である
。 １…電子銃、２…電子線、１１，５３…ビーム
寸法制御回路、１３，５４…電磁偏向制御回路、
１４，５５…焦点補正回路、５１…ビーム寸法焦
点補正回路、１０，５２…図形分解回路。
を示す図、第３図は偏向焦点ボケを示す図、第４
図はクーロン効果による焦点ボケを示す図である
。 １…電子銃、２…電子線、１１，５３…ビーム
寸法制御回路、１３，５４…電磁偏向制御回路、
１４，５５…焦点補正回路、５１…ビーム寸法焦
点補正回路、１０，５２…図形分解回路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 電子線を発生する手段、前記電子線を矩形絞
り上に照射する手段、矩形絞りを通過した電子線
を収束する手段、矩形絞り像を試料上に結像する
手段、矩形絞り像の大きさを変える手段、及び前
記電子線の電流を計測する手段を備えた電子線描
画装置において、矩形絞り像の大きさと電子線電
流密度に応じて信号を発生する回路を付加したこ
とを特徴とする電子線描画装置。 ２ 実用新案登録請求の範囲第１項において、矩
形絞り像の大きさに応じて発生した信号でもつて
電子線の焦点補正を行うことを特徴とする電子線
描画装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18718985U JPS6296842U (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18718985U JPS6296842U (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6296842U true JPS6296842U (ja) | 1987-06-20 |
Family
ID=31137436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18718985U Pending JPS6296842U (ja) | 1985-12-06 | 1985-12-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6296842U (ja) |
-
1985
- 1985-12-06 JP JP18718985U patent/JPS6296842U/ja active Pending
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