JPS63182056U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63182056U JPS63182056U JP7161487U JP7161487U JPS63182056U JP S63182056 U JPS63182056 U JP S63182056U JP 7161487 U JP7161487 U JP 7161487U JP 7161487 U JP7161487 U JP 7161487U JP S63182056 U JPS63182056 U JP S63182056U
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- JP
- Japan
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- electron
- electron lens
- lens
- flux density
- magnetic flux
- Prior art date
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- Pending
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Description
第１図は対物レンズの制御に本発明を適用した
場合の一実施例を示す構成図、第２図は従来の電
子光学系の問題点の説明図である。 １……ＳＥＭ鏡体、２……電子銃、３……電子
線、４……収束レンズ、５……偏向コイル、６…
…対物レンズ、７……２次電子検出器、８……試
料、９……像信号増幅器、１０……加速電圧、１
１……磁気センサ、１２……陰極線管（ＣＲＴ）
、１３……電流増幅器、１４……水平偏向信号発
生器、１５……垂直偏向信号発生器、１６……対
物レンズ電流設定器。
場合の一実施例を示す構成図、第２図は従来の電
子光学系の問題点の説明図である。 １……ＳＥＭ鏡体、２……電子銃、３……電子
線、４……収束レンズ、５……偏向コイル、６…
…対物レンズ、７……２次電子検出器、８……試
料、９……像信号増幅器、１０……加速電圧、１
１……磁気センサ、１２……陰極線管（ＣＲＴ）
、１３……電流増幅器、１４……水平偏向信号発
生器、１５……垂直偏向信号発生器、１６……対
物レンズ電流設定器。
Claims (1)
- 電子線を細く収束するための電子レンズと、そ
の電子レンズを駆動するための電流増幅回路を有
する走査形電子顕微鏡において、電子レンズ中に
磁束密度を検出するための磁気センサを設け、そ
の検出量を電流増幅器の帰還量としてフイードバ
ツクし、電子レンズの磁束密度を制御するよう構
成したことを特徴とする走査形電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7161487U JPS63182056U (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7161487U JPS63182056U (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63182056U true JPS63182056U (ja) | 1988-11-24 |
Family
ID=30914324
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7161487U Pending JPS63182056U (ja) | 1987-05-15 | 1987-05-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63182056U (ja) |
-
1987
- 1987-05-15 JP JP7161487U patent/JPS63182056U/ja active Pending
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