JPH0455752U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0455752U JPH0455752U JP9818090U JP9818090U JPH0455752U JP H0455752 U JPH0455752 U JP H0455752U JP 9818090 U JP9818090 U JP 9818090U JP 9818090 U JP9818090 U JP 9818090U JP H0455752 U JPH0455752 U JP H0455752U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- power supply
- accelerating
- electron beam
- power
- Prior art date
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- Pending
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例に係る電子線照射装置
の概略構成図。第２図は従来例に係る電子線照射
装置の概略構成図。第３図は電子調整器に入力す
る制御入力信号の時間的変化を説明するためのグ
ラフ。第４図は電子線電流と制御入力信号の関係
を例示するグラフ。 １……電力調整器、２……直流高圧電源、３…
…電圧測定抵抗器、４……加速管、５……走査管
、６……電子銃、７……増幅器、８……増幅器、
９……電子線検出回路、１０……加速電圧検出回
路、１３……被照射物、２０……フイラメント電
源。
の概略構成図。第２図は従来例に係る電子線照射
装置の概略構成図。第３図は電子調整器に入力す
る制御入力信号の時間的変化を説明するためのグ
ラフ。第４図は電子線電流と制御入力信号の関係
を例示するグラフ。 １……電力調整器、２……直流高圧電源、３…
…電圧測定抵抗器、４……加速管、５……走査管
、６……電子銃、７……増幅器、８……増幅器、
９……電子線検出回路、１０……加速電圧検出回
路、１３……被照射物、２０……フイラメント電
源。
Claims (1)
- 負の直流の高電圧を生ずる直流高圧電源と、直
流高圧電源に供給する電力を制御する電力調整器
と、真空中に於いて電子を発生する電子銃と、電
子銃で発生した電子を前記直流高電圧によつて加
速する加速管と、加速された電子線を走査する走
査管と、直流高圧電源の加速電圧を測定する加速
電圧検出回路と、加速電圧と出力電圧設定信号の
差を制御信号として電力調整器に与え直流高圧電
源の電圧を制御する定電圧制御回路を有する電子
線照射装置に於いて、前記加速電圧と出力電圧設
定信号の差からなる信号に電子線電流信号を加え
て制御信号として電力調整器に与え、直流高圧電
源に供給する電力を調整することを特徴とする電
子線照射装置出力電圧制御回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9818090U JPH0455752U (ja) | 1990-09-18 | 1990-09-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9818090U JPH0455752U (ja) | 1990-09-18 | 1990-09-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0455752U true JPH0455752U (ja) | 1992-05-13 |
Family
ID=31839152
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9818090U Pending JPH0455752U (ja) | 1990-09-18 | 1990-09-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0455752U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0216554B2 (ja) * | 1983-03-11 | 1990-04-17 | Otowa Electric |
-
1990
- 1990-09-18 JP JP9818090U patent/JPH0455752U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0216554B2 (ja) * | 1983-03-11 | 1990-04-17 | Otowa Electric |
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