JPS5878564U - 電界放射形走査電子顕微鏡の高圧電源装置 - Google Patents
電界放射形走査電子顕微鏡の高圧電源装置Info
- Publication number
- JPS5878564U JPS5878564U JP17330081U JP17330081U JPS5878564U JP S5878564 U JPS5878564 U JP S5878564U JP 17330081 U JP17330081 U JP 17330081U JP 17330081 U JP17330081 U JP 17330081U JP S5878564 U JPS5878564 U JP S5878564U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- circuit
- power supply
- field emission
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案のブ吊ツク図である。
１・・・陰極、２・・・第１陽極、３・・・引出し電源
、４・・・加速電源、５・・・エミション検出器、６・
・・加熱電力側御回路、７・・・加熱回路、８・・・加
熱操作回路、９・・・第２陽極。
、４・・・加速電源、５・・・エミション検出器、６・
・・加熱電力側御回路、７・・・加熱回路、８・・・加
熱操作回路、９・・・第２陽極。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 陰極および陽極より構成された電界放射形影電子銃
と、該電子銃と制御するための加速電圧電源、エミショ
ン引出し電源、陰極加熱電源を有する装置において、陰
極を加熱して清浄化する時に陰極−陽極間に電圧を印加
する回路を有し、該回路は前記エミション引出し電源よ
り電圧を供給される構造を有することを特徴とする電界
放射形走査電子顕微鏡の高圧電源装置°。 ２ 実用新案登録請求の範囲第１項において、陰極加熱
時に陰極より放出される熱電子量を測定する回路と、該
回路による測定信号に応じて、陰極加熱電源を制御する
回路とを有し、陰極清浄化の最適化を図ったことを特徴
とする電界放射形走査電子顕微鏡の高圧電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17330081U JPS5878564U (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | 電界放射形走査電子顕微鏡の高圧電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17330081U JPS5878564U (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | 電界放射形走査電子顕微鏡の高圧電源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5878564U true JPS5878564U (ja) | 1983-05-27 |
Family
ID=29965165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17330081U Pending JPS5878564U (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | 電界放射形走査電子顕微鏡の高圧電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5878564U (ja) |
-
1981
- 1981-11-24 JP JP17330081U patent/JPS5878564U/ja active Pending
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