JPS6013661U - 荷電粒子線発生装置 - Google Patents

荷電粒子線発生装置

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JPS6013661U
JPS6013661U JP10496783U JP10496783U JPS6013661U JP S6013661 U JPS6013661 U JP S6013661U JP 10496783 U JP10496783 U JP 10496783U JP 10496783 U JP10496783 U JP 10496783U JP S6013661 U JPS6013661 U JP S6013661U
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JP
Japan
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charged particle
particle beam
beam generator
potential
filament
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Pending
Application number
JP10496783U
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English (en)
Inventor
秀則 岡崎
田村　伸昭
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
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Publication of JPS6013661U publication Critical patent/JPS6013661U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来装置の構成略図、第２図は本考案の一実施
例を示す構成略図、第３図及び第４図は本考案を説明す
るための図である。 １・・・・・・電子銃室、２・・・・・・エミッター、
３・・・・・・電源、４・・・・・・制御電極、５．５
′・・・・・・陽極、６・・・・・・電源、７・・・・
・・熱電子放出用フィラメント、８・・・・・・電源、
９・・・・・・スイッチ、１０・・・・・・絶縁体、１
１・・・・・・電源、１２・・・・・・切換手段。 −一一一一−レ′ 〆 」　よ　誹　↓

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 荷電粒子線を発生するエミッターと、該エミッターから
    放射された荷電粒子線を加速するための加速電極と、該
    加速電極の近傍に配置された熱電子放出用フィラメント
    と、該加速電極の電位を略フィラメントと同じ電位と該
    フィラメントへ電位に対して正の電位とに切換るための
    切換手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線発生装置
    。
JP10496783U 1983-07-06 1983-07-06 荷電粒子線発生装置 Pending JPS6013661U (ja)

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JP10496783U JPS6013661U (ja) 1983-07-06 1983-07-06 荷電粒子線発生装置

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JPS6013661U true JPS6013661U (ja) 1985-01-30

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