JPS61139562U - - Google Patents
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- JPS61139562U JPS61139562U JP2395385U JP2395385U JPS61139562U JP S61139562 U JPS61139562 U JP S61139562U JP 2395385 U JP2395385 U JP 2395385U JP 2395385 U JP2395385 U JP 2395385U JP S61139562 U JPS61139562 U JP S61139562U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anode
- emitter
- grounded
- excitation
- voltage
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 2
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
添付図面は本考案の一実施例の構成図である。
1:エミツタ、2:エミツタ加熱電源、3:加
速電源、4:アノード、5:引き出し電源、6:
励磁コイル、7:接地アノード、8:コイル電源
、9:フイードバツク抵抗、10:フイードバツ
ク回路。
速電源、4:アノード、5:引き出し電源、6:
励磁コイル、7:接地アノード、8:コイル電源
、9:フイードバツク抵抗、10:フイードバツ
ク回路。
Claims (1)
- エミツタと、該エミツタとの間に電界を形成す
るためのアノードと、該エミツタとアノードの間
に電圧を印加せしめるための引き出し電源と、該
エミツタから電界放出されアノードを通過する電
子線を加速するための接地アノードと、該アノー
ドと接地アノード間に設けられたアノード電位の
励磁コイルと、該励磁コイルに励磁電流を供給す
るための励磁電源とを備えた装置において、前記
エミツタとアノード間の電圧の変化に応じて前記
電子線を接地アノード近傍で集束させるために該
励磁電源を制御する回路を設けたことを特徴とす
る電界放出型電子銃。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2395385U JPS61139562U (ja) | 1985-02-21 | 1985-02-21 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2395385U JPS61139562U (ja) | 1985-02-21 | 1985-02-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61139562U true JPS61139562U (ja) | 1986-08-29 |
Family
ID=30517656
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2395385U Pending JPS61139562U (ja) | 1985-02-21 | 1985-02-21 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61139562U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1196951A (ja) * | 1997-09-25 | 1999-04-09 | Hitachi Ltd | 倍率制御型荷電粒子ビーム照射装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5954154A (ja) * | 1982-09-21 | 1984-03-28 | Hitachi Ltd | 電界放射形電子銃を有する粒子線装置 |
JPS6199255A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-05-17 | Jeol Ltd | ライン状電子ビ−ム発生装置 |
-
1985
- 1985-02-21 JP JP2395385U patent/JPS61139562U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5954154A (ja) * | 1982-09-21 | 1984-03-28 | Hitachi Ltd | 電界放射形電子銃を有する粒子線装置 |
JPS6199255A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-05-17 | Jeol Ltd | ライン状電子ビ−ム発生装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1196951A (ja) * | 1997-09-25 | 1999-04-09 | Hitachi Ltd | 倍率制御型荷電粒子ビーム照射装置 |
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