JPS5944191U - プラズマ加熱イオン源用高電圧電源 - Google Patents

プラズマ加熱イオン源用高電圧電源

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Publication number
JPS5944191U
JPS5944191U JP13895782U JP13895782U JPS5944191U JP S5944191 U JPS5944191 U JP S5944191U JP 13895782 U JP13895782 U JP 13895782U JP 13895782 U JP13895782 U JP 13895782U JP S5944191 U JPS5944191 U JP S5944191U
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JP
Japan
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power supply
ion source
voltage power
high voltage
heated ion
Prior art date
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Pending
Application number
JP13895782U
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English (en)
Inventor
忠 佐藤
西村　秀知
高橋　源治
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Generation Of Surge Voltage And Current (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の電源を説明する配線図、第２図乃至第４
図は本考案の電源を説明する配線図である。 １・・・イオン源、２−・・フィラメント、３・・・ア
ノード、４・・・加速電極、５・・・減速電極、６・・
・接地電極、。 ７・・・フィラメント電源、８・・・アーク電源、１５
・・・加速電源、１６・・・減速電源、１７・・・主コ
ンデンサ、１８・・・副コンデン、１９・・・抵抗、２
０・・・主コンデンサ、２１・・・副コンデンサ、２２
・・・抵抗、２３゜２４・・・高圧スイッチ、２５．２
６・・・抵抗。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ｌＡ以上のパルスイオンビームを得るプラズマ加熱用イ
    オン源を駆動するイオン源用高電圧電源において、１０
    μＦ以上の主コンデンサと、ＩＯμＦ以下の副コンデン
    サと、主コンデンサを電源から切りはなす高圧スイッチ
    を設けたことを特徴とするプラズマ加熱イオン源用高電
    圧電源。
JP13895782U 1982-09-16 1982-09-16 プラズマ加熱イオン源用高電圧電源 Pending JPS5944191U (ja)

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JP13895782U JPS5944191U (ja) 1982-09-16 1982-09-16 プラズマ加熱イオン源用高電圧電源

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JP13895782U JPS5944191U (ja) 1982-09-16 1982-09-16 プラズマ加熱イオン源用高電圧電源

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JPS5944191U true JPS5944191U (ja) 1984-03-23

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ID=30311615

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