JPS58146344U - 荷電粒子源 - Google Patents
荷電粒子源Info
- Publication number
- JPS58146344U JPS58146344U JP4299382U JP4299382U JPS58146344U JP S58146344 U JPS58146344 U JP S58146344U JP 4299382 U JP4299382 U JP 4299382U JP 4299382 U JP4299382 U JP 4299382U JP S58146344 U JPS58146344 U JP S58146344U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged particle
- electrode
- accelerating
- voltage
- applying
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案の一実施例の構成を示す図、第2図はV
aとVcの関係の一例を示す図である。 1:エミッタ、2:引出し電極、4:加速電源、5:加
速電極、6:制御電極、7:可変電源、8:分圧器、9
:変換器。
aとVcの関係の一例を示す図である。 1:エミッタ、2:引出し電極、4:加速電源、5:加
速電極、6:制御電極、7:可変電源、8:分圧器、9
:変換器。
Claims (1)
- エミッタと、該エミッタ表面に強電界を印加するための
引出し電極と、該強電界により引出された荷電粒子線を
加速するための加速電極と、該加速電極とエミッタの間
に加速電圧を印加するための加速電源と、荷電粒子線の
収束点位置を制御するために上記引出し電極と加速電極
の間に配置される制御電極と、荷電粒子線の収束点が常
に一定位置にあるような加速電圧と制御電極電圧の関係
を記憶する手段と、加速電圧に対して該記憶手段から読
出された制御電極電圧を制御電極へ印加するための電源
とを備えたことを特徴とする・荷電粒子源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4299382U JPS58146344U (ja) | 1982-03-26 | 1982-03-26 | 荷電粒子源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4299382U JPS58146344U (ja) | 1982-03-26 | 1982-03-26 | 荷電粒子源 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58146344U true JPS58146344U (ja) | 1983-10-01 |
Family
ID=30054089
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4299382U Pending JPS58146344U (ja) | 1982-03-26 | 1982-03-26 | 荷電粒子源 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58146344U (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61189555U (ja) * | 1985-05-17 | 1986-11-26 | ||
JPS63276856A (ja) * | 1986-12-27 | 1988-11-15 | Jeol Ltd | 電界放射電子源を有した電子線装置 |
JPH03505386A (ja) * | 1988-04-19 | 1991-11-21 | オーキッド,ワン,コーポレーション | 封入型高輝度電子ビーム源およびシステム |
WO2014175087A1 (ja) * | 2013-04-25 | 2014-10-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子銃、荷電粒子銃およびそれらを用いた荷電粒子線装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5431784A (en) * | 1977-08-15 | 1979-03-08 | Tdk Corp | Magnetism detecting element |
JPS5526485A (en) * | 1978-05-22 | 1980-02-25 | Serono Lab | Method and composition for detecting human |
-
1982
- 1982-03-26 JP JP4299382U patent/JPS58146344U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5431784A (en) * | 1977-08-15 | 1979-03-08 | Tdk Corp | Magnetism detecting element |
JPS5526485A (en) * | 1978-05-22 | 1980-02-25 | Serono Lab | Method and composition for detecting human |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61189555U (ja) * | 1985-05-17 | 1986-11-26 | ||
JPS63276856A (ja) * | 1986-12-27 | 1988-11-15 | Jeol Ltd | 電界放射電子源を有した電子線装置 |
JPH03505386A (ja) * | 1988-04-19 | 1991-11-21 | オーキッド,ワン,コーポレーション | 封入型高輝度電子ビーム源およびシステム |
WO2014175087A1 (ja) * | 2013-04-25 | 2014-10-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子銃、荷電粒子銃およびそれらを用いた荷電粒子線装置 |
JP2014216182A (ja) * | 2013-04-25 | 2014-11-17 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子銃、荷電粒子銃およびそれらを用いた荷電粒子線装置 |
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