JPS58146344U - 荷電粒子源 - Google Patents

荷電粒子源

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JPS58146344U
JPS58146344U JP4299382U JP4299382U JPS58146344U JP S58146344 U JPS58146344 U JP S58146344U JP 4299382 U JP4299382 U JP 4299382U JP 4299382 U JP4299382 U JP 4299382U JP S58146344 U JPS58146344 U JP S58146344U
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JP
Japan
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charged particle
electrode
accelerating
voltage
applying
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Pending
Application number
JP4299382U
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English (en)
Inventor
穴沢　紀道
Original Assignee
日本電子株式会社
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Publication date
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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の構成を示す図、第２図はＶ
ａとＶｃの関係の一例を示す図である。 １：エミッタ、２：引出し電極、４：加速電源、５：加
速電極、６：制御電極、７：可変電源、８：分圧器、９
：変換器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. エミッタと、該エミッタ表面に強電界を印加するための
    引出し電極と、該強電界により引出された荷電粒子線を
    加速するための加速電極と、該加速電極とエミッタの間
    に加速電圧を印加するための加速電源と、荷電粒子線の
    収束点位置を制御するために上記引出し電極と加速電極
    の間に配置される制御電極と、荷電粒子線の収束点が常
    に一定位置にあるような加速電圧と制御電極電圧の関係
    を記憶する手段と、加速電圧に対して該記憶手段から読
    出された制御電極電圧を制御電極へ印加するための電源
    とを備えたことを特徴とする・荷電粒子源。
JP4299382U 1982-03-26 1982-03-26 荷電粒子源 Pending JPS58146344U (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61189555U (ja) * 1985-05-17 1986-11-26
JPS63276856A (ja) * 1986-12-27 1988-11-15 Jeol Ltd 電界放射電子源を有した電子線装置
JPH03505386A (ja) * 1988-04-19 1991-11-21 オーキッド，ワン，コーポレーション 封入型高輝度電子ビーム源およびシステム
WO2014175087A1 (ja) * 2013-04-25 2014-10-30 株式会社日立ハイテクノロジーズ 電子銃、荷電粒子銃およびそれらを用いた荷電粒子線装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5431784A (en) * 1977-08-15 1979-03-08 Tdk Corp Magnetism detecting element
JPS5526485A (en) * 1978-05-22 1980-02-25 Serono Lab Method and composition for detecting human

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5431784A (en) * 1977-08-15 1979-03-08 Tdk Corp Magnetism detecting element
JPS5526485A (en) * 1978-05-22 1980-02-25 Serono Lab Method and composition for detecting human

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61189555U (ja) * 1985-05-17 1986-11-26
JPS63276856A (ja) * 1986-12-27 1988-11-15 Jeol Ltd 電界放射電子源を有した電子線装置
JPH03505386A (ja) * 1988-04-19 1991-11-21 オーキッド，ワン，コーポレーション 封入型高輝度電子ビーム源およびシステム
WO2014175087A1 (ja) * 2013-04-25 2014-10-30 株式会社日立ハイテクノロジーズ 電子銃、荷電粒子銃およびそれらを用いた荷電粒子線装置
JP2014216182A (ja) * 2013-04-25 2014-11-17 株式会社日立ハイテクノロジーズ 電子銃、荷電粒子銃およびそれらを用いた荷電粒子線装置

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