JPS6199255A - ライン状電子ビ−ム発生装置 - Google Patents
ライン状電子ビ−ム発生装置Info
- Publication number
- JPS6199255A JPS6199255A JP21943184A JP21943184A JPS6199255A JP S6199255 A JPS6199255 A JP S6199255A JP 21943184 A JP21943184 A JP 21943184A JP 21943184 A JP21943184 A JP 21943184A JP S6199255 A JPS6199255 A JP S6199255A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- cathode
- anode
- deflection
- line
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 6
- 238000000137 annealing Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/07—Eliminating deleterious effects due to thermal effects or electric or magnetic fields
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
本発明は、電子ビームアニーリング装置等に使用して最
適なライン状電子ビーム発生装置に関する。
適なライン状電子ビーム発生装置に関する。
[従来技術]
第4図は従来のライン状電子ビーム発生部を示しており
、図中1は細長い電子ビーム発生部2を有した陰極であ
る。該陰極1には、電′m3から加熱電流が供給され、
その結果、該陰極から熱電子が発生する。該熱電子は、
該陰極1に接近して配置された制御電極4によって制御
され、陽極5によって加速されて被加熱材料(図示せず
〉に向は照射される。
、図中1は細長い電子ビーム発生部2を有した陰極であ
る。該陰極1には、電′m3から加熱電流が供給され、
その結果、該陰極から熱電子が発生する。該熱電子は、
該陰極1に接近して配置された制御電極4によって制御
され、陽極5によって加速されて被加熱材料(図示せず
〉に向は照射される。
し発明が解決しようとする問題点]
上述した構成では、隘穫1の電子ビーム発生部2に電流
iが流されるため、該陰極の近傍には、紙面に垂直な方
向に磁場Hが形成される。その結果、該陰極1から発生
した電子ビームは該磁場によって偏向され、光軸Oから
ずれた方向に照射されることになる。
iが流されるため、該陰極の近傍には、紙面に垂直な方
向に磁場Hが形成される。その結果、該陰極1から発生
した電子ビームは該磁場によって偏向され、光軸Oから
ずれた方向に照射されることになる。
本発明は上述した点に鑑みてなされたもので、電子ビー
ムを光軸方向に正確に照用ツることができる電子ビーム
発生装置を提供することを目的としている。
ムを光軸方向に正確に照用ツることができる電子ビーム
発生装置を提供することを目的としている。
[問題点を!4決するための手段]
本発明に基づくライン状電子ビーム発生装置は、細長い
電子ビーム発生部を有した陰極と、該陰極に加熱電流を
供給する手段と、該陰極から発生する電子線ビームを制
御する制御電極と、該電子ビームを加速するための陽極
とを備えた装置にJヅいて、該陰極への加熱電流の供給
に基づいて発生する磁場による電子ビームの偏向を補償
する手段を設けたことを特徴としている。
電子ビーム発生部を有した陰極と、該陰極に加熱電流を
供給する手段と、該陰極から発生する電子線ビームを制
御する制御電極と、該電子ビームを加速するための陽極
とを備えた装置にJヅいて、該陰極への加熱電流の供給
に基づいて発生する磁場による電子ビームの偏向を補償
する手段を設けたことを特徴としている。
[実施例]
以下、本発明の実施例を添削図面に基づいて詳jボする
。
。
第2図において、第1図と同一構成要素に対し11
ては同一番号を付しその詳細な説明は省略する
。
ては同一番号を付しその詳細な説明は省略する
。
この実施例に83いて、陽極5は光軸Oに対して垂直な
×、Y2方向に移動典購6によって移動可能に配置され
ている。第2図は陰極1の電子ビーム発生部2と陽極5
の間口5aとの関係を示している。該間口5aの幅およ
び長さは該発生部2のそれより長くされており、該陽極
5は、X方向には±a、Y方向には±b該移動は構6に
よって移動可能にされている。前述した如く、該陰極へ
の電流iの供給により、該陰(Φ1下部には電子ビーム
を偏向する磁場が形成され、該陰極1より発生した電子
ビームは該磁場によって偏向されるものの、この実施例
Cは、該陽極5の静電偏向作用によって該磁場による電
子ビームの偏向は補償される。
×、Y2方向に移動典購6によって移動可能に配置され
ている。第2図は陰極1の電子ビーム発生部2と陽極5
の間口5aとの関係を示している。該間口5aの幅およ
び長さは該発生部2のそれより長くされており、該陽極
5は、X方向には±a、Y方向には±b該移動は構6に
よって移動可能にされている。前述した如く、該陰極へ
の電流iの供給により、該陰(Φ1下部には電子ビーム
を偏向する磁場が形成され、該陰極1より発生した電子
ビームは該磁場によって偏向されるものの、この実施例
Cは、該陽極5の静電偏向作用によって該磁場による電
子ビームの偏向は補償される。
すなわち、該陽極の位置が該電子ビームの偏向の程度に
よって移動され、該磁場による偏向の向きと逆の向きに
、該電子ビームは該陽極の静電偏向場によって偏向され
ることから、電子ビームは光軸Oに冶って照射されるこ
とになる。
よって移動され、該磁場による偏向の向きと逆の向きに
、該電子ビームは該陽極の静電偏向場によって偏向され
ることから、電子ビームは光軸Oに冶って照射されるこ
とになる。
第3図は本発明の仙の実施例を示している。この実施例
では、制御電極4と陽極5との間に偏向 1コイ
ル7が配置されており、陰極1への電?1j lの供給
に伴う磁場による電子ビームの偏向は、該偏向コイル7
による偏向によって?ili t8される。尚、この実
施:?jにおいて、該偏向コイル7を該陽極5の下部に
配置するように構成しても良く、又、偏向コイルに代え
、静電偏向板を用いても良い。
では、制御電極4と陽極5との間に偏向 1コイ
ル7が配置されており、陰極1への電?1j lの供給
に伴う磁場による電子ビームの偏向は、該偏向コイル7
による偏向によって?ili t8される。尚、この実
施:?jにおいて、該偏向コイル7を該陽極5の下部に
配置するように構成しても良く、又、偏向コイルに代え
、静電偏向板を用いても良い。
し効果]
以上詳述した如く、本発明においては、細長い電子ビー
ム発生部に電流が流されることに伴う磁場による電子ビ
ームの偏向を補償することができ、ライン状の電子ビー
ムを目的部分へ正確に照射することが可能となる。
ム発生部に電流が流されることに伴う磁場による電子ビ
ームの偏向を補償することができ、ライン状の電子ビー
ムを目的部分へ正確に照射することが可能となる。
第1図は本発明の一実施例を示ず図、第2図は第1図の
陽(唄と陰極の電子ビーム発生部との関係を示す図、第
3図は本発明の他の実施例を示す図、第4図は従来のラ
イン状電子ビーム発生装置を示1図である。 1・・・陰極 2・・・電子ビーム発生部3・・
・電源 4・・・制御電極5・・・陽極
6・・・移動機構7・・・偏向コイル
陽(唄と陰極の電子ビーム発生部との関係を示す図、第
3図は本発明の他の実施例を示す図、第4図は従来のラ
イン状電子ビーム発生装置を示1図である。 1・・・陰極 2・・・電子ビーム発生部3・・
・電源 4・・・制御電極5・・・陽極
6・・・移動機構7・・・偏向コイル
Claims (3)
- (1)細長い電子ビーム発生部を有した陰極と、該陰極
に加熱電流を供給する手段と、該陰極から発生する電子
ビームを制御する制御電極と、該電子ビームを加速する
ための陽極とを備えた装置において、該陰極への加熱電
流の供給に基づいて発生する磁場による電子ビームの偏
向を補償する手段を設けたことを特徴とするライン状電
子ビーム発生装置。 - (2)該電子ビームの偏向を補償する手段は、該陰極に
対して陽極を移動させる手段である特許請求の範囲第1
項記載のライン状電子ビーム発生手段。 - (3)該電子ビームの偏向を補償する手段は、該陽極の
近傍に配置された偏向手段である特許請求の範囲第1項
記載のライン状電子ビーム発生手段。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21943184A JPS6199255A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | ライン状電子ビ−ム発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21943184A JPS6199255A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | ライン状電子ビ−ム発生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6199255A true JPS6199255A (ja) | 1986-05-17 |
JPH0317343B2 JPH0317343B2 (ja) | 1991-03-07 |
Family
ID=16735288
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21943184A Granted JPS6199255A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | ライン状電子ビ−ム発生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6199255A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61139562U (ja) * | 1985-02-21 | 1986-08-29 | ||
JPH01204340A (ja) * | 1988-02-10 | 1989-08-16 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 直熱式リニアフィラメント型電子銃 |
JPH01231250A (ja) * | 1988-03-10 | 1989-09-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 傍熱式リニアフィラメント型電子銃 |
JPH02113257U (ja) * | 1988-05-24 | 1990-09-11 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56109442A (en) * | 1980-02-05 | 1981-08-29 | Nec Corp | Electron beam generator |
-
1984
- 1984-10-19 JP JP21943184A patent/JPS6199255A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56109442A (en) * | 1980-02-05 | 1981-08-29 | Nec Corp | Electron beam generator |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61139562U (ja) * | 1985-02-21 | 1986-08-29 | ||
JPH01204340A (ja) * | 1988-02-10 | 1989-08-16 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 直熱式リニアフィラメント型電子銃 |
JPH01231250A (ja) * | 1988-03-10 | 1989-09-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 傍熱式リニアフィラメント型電子銃 |
JPH02113257U (ja) * | 1988-05-24 | 1990-09-11 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0317343B2 (ja) | 1991-03-07 |
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