JPS61100872U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61100872U JPS61100872U JP18584984U JP18584984U JPS61100872U JP S61100872 U JPS61100872 U JP S61100872U JP 18584984 U JP18584984 U JP 18584984U JP 18584984 U JP18584984 U JP 18584984U JP S61100872 U JPS61100872 U JP S61100872U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal cylinder
- source
- electron source
- ion
- power supply
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 2
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 claims 1
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図ａはイオン注入装置用イオン源の概略図
、第１図ｂは本考案の一実施例であるイオン源に
用いる電子源の側面図である。 １…電子源、２…金属円筒、３…スリツト、４
…加熱用電源、５…直流電源。
、第１図ｂは本考案の一実施例であるイオン源に
用いる電子源の側面図である。 １…電子源、２…金属円筒、３…スリツト、４
…加熱用電源、５…直流電源。
Claims (1)
- 側壁に金属イオンＭ＋を放出するためのスリツ
トを設けた金属円筒と、該金属円筒の長手方向の
中心部に設けた電子源と、該電子源と前記金属円
筒との間に電圧を印加する電源とから成るイオン
注入装置用イオン源において、前記電子源を含浸
型陰極により形成したことを特徴とするイオン注
入装置用イオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18584984U JPS61100872U (ja) | 1984-12-07 | 1984-12-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18584984U JPS61100872U (ja) | 1984-12-07 | 1984-12-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61100872U true JPS61100872U (ja) | 1986-06-27 |
Family
ID=30743310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18584984U Pending JPS61100872U (ja) | 1984-12-07 | 1984-12-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61100872U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08124504A (ja) * | 1994-10-25 | 1996-05-17 | Hiroshima Nippon Denki Kk | 熱電子放射高電流フィラメントイオンソース |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5842132A (ja) * | 1981-09-08 | 1983-03-11 | Nec Corp | 直熱型デイスペンサ−カソ−ドおよびその製造方法 |
| JPS5931140B2 (ja) * | 1977-04-15 | 1984-07-31 | 株式会社日立製作所 | 往復録音再生装置の録音防止装置 |
-
1984
- 1984-12-07 JP JP18584984U patent/JPS61100872U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5931140B2 (ja) * | 1977-04-15 | 1984-07-31 | 株式会社日立製作所 | 往復録音再生装置の録音防止装置 |
| JPS5842132A (ja) * | 1981-09-08 | 1983-03-11 | Nec Corp | 直熱型デイスペンサ−カソ−ドおよびその製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08124504A (ja) * | 1994-10-25 | 1996-05-17 | Hiroshima Nippon Denki Kk | 熱電子放射高電流フィラメントイオンソース |