JPS60211753A - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
- Publication number
- JPS60211753A JPS60211753A JP6575784A JP6575784A JPS60211753A JP S60211753 A JPS60211753 A JP S60211753A JP 6575784 A JP6575784 A JP 6575784A JP 6575784 A JP6575784 A JP 6575784A JP S60211753 A JPS60211753 A JP S60211753A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- voltage
- source
- power supply
- electron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
- H01J37/241—High voltage power supply or regulation circuits
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は電界放出を用いた電子銃において電子銃の各電
極に電圧を印加する方式の改良に関するものである。
極に電圧を印加する方式の改良に関するものである。
第１図および第２図において、電子線源よシミ界放出に
より電子を発生させる場合には、電子線源の表面に電子
引き出し用の高電圧の電界を設ける為に、電子線源１と
対向する電子線引き出し用電極２との間に３〜６ｋＶの
直流電圧を印加する。
より電子を発生させる場合には、電子線源の表面に電子
引き出し用の高電圧の電界を設ける為に、電子線源１と
対向する電子線引き出し用電極２との間に３〜６ｋＶの
直流電圧を印加する。
この直流電圧は電子線引き出し電圧と呼ばれる。
電子線引き出し電圧は主に上記電子線源１の尖頭度によ
シその大小が選択される。電子線源１から発生した電子
は対地との間にて適当なる電圧によシ加速されて試料に
照射される。この電圧は加速電圧と呼ばれ試料の材質等
の条件により、よシ良好なる試料信号を得るべくその値
が選択される。
シその大小が選択される。電子線源１から発生した電子
は対地との間にて適当なる電圧によシ加速されて試料に
照射される。この電圧は加速電圧と呼ばれ試料の材質等
の条件により、よシ良好なる試料信号を得るべくその値
が選択される。
電子線源１と電子線引き出し用電極２との間には電子線
引き出し電圧用電源５が接続され、また電子を加速する
為に電子線源１とアースとの間に電源５が接続さｎる。
引き出し電圧用電源５が接続され、また電子を加速する
為に電子線源１とアースとの間に電源５が接続さｎる。
この従来方式は前述した電子放出および電子線の加速の
原理的方式に忠実に沿ったものである。しかしこの従来
方式を実際の装置に適用する場合には次に述べる各種の
欠点がある。電子線引き出し用電源５は対地よシ絶縁さ
れて製作され、その出力電圧ｖ１は成子線源の尖頭度に
対応させて、適当なる値に調整される必要がある。絶縁
されている°成子線引き出し電圧用電源５を動作させる
為には絶縁トランス７を用いて低電圧側から電力が伝送
される必要がある。また成子線源１から発生している電
子線の量Ｉを測定した直を低１圧側回路１０に伝える為
には絶縁式信号伝達部Ａ８を用いる必要がある。また電
子線源１から発生している電子線■の量■を外部から調
節する場合には、電源５を制御する為の信号を低電圧側
回路１０から絶縁式信号伝達部Ｂ９を用いて伝達する必
要がある。
原理的方式に忠実に沿ったものである。しかしこの従来
方式を実際の装置に適用する場合には次に述べる各種の
欠点がある。電子線引き出し用電源５は対地よシ絶縁さ
れて製作され、その出力電圧ｖ１は成子線源の尖頭度に
対応させて、適当なる値に調整される必要がある。絶縁
されている°成子線引き出し電圧用電源５を動作させる
為には絶縁トランス７を用いて低電圧側から電力が伝送
される必要がある。また成子線源１から発生している電
子線の量Ｉを測定した直を低１圧側回路１０に伝える為
には絶縁式信号伝達部Ａ８を用いる必要がある。また電
子線源１から発生している電子線■の量■を外部から調
節する場合には、電源５を制御する為の信号を低電圧側
回路１０から絶縁式信号伝達部Ｂ９を用いて伝達する必
要がある。
〔発明の目的〕
本発明の目的は以上の従来方式の欠点を解決する電子線
照射装置を提供することにある。
照射装置を提供することにある。
本発明は電子線源１および電子線引き出し電極２の各々
に、一端を接地された２つの電源から電圧を印加するこ
とによシ前述の様な複雑なる電源方式を簡易化するもの
である。
に、一端を接地された２つの電源から電圧を印加するこ
とによシ前述の様な複雑なる電源方式を簡易化するもの
である。
第３図に本発明の一実施例を示す。電子線源１には電源
６が接続され、電源６はその片端は接地されている。電
子線引き出し電極２には電源１１が接続されその片端は
接地されている。電源１１の１圧は゛電子線引き出し電
極に接続されている。
６が接続され、電源６はその片端は接地されている。電
子線引き出し電極２には電源１１が接続されその片端は
接地されている。電源１１の１圧は゛電子線引き出し電
極に接続されている。
電源６及び電源１１の各々の出力電圧を各々、Ｖ３．Ｖ
、とすると電子線引き出し電圧をＶ、とするとＶ５ ＝
Ｖｓ ＋Ｖ４で与えられる。電子線の加速は電源６で行
なわれ、その加速電圧はｖ３となる。
、とすると電子線引き出し電圧をＶ、とするとＶ５ ＝
Ｖｓ ＋Ｖ４で与えられる。電子線の加速は電源６で行
なわれ、その加速電圧はｖ３となる。
引き出し電圧Ｖ、は電子線源ｌの尖頭度により適当な値
が調節される。いま加速電圧ｖ３が選択された後には電
源１１の出力電圧Ｖ４をＶ４＝ｖ、−Ｖ３の関係に従っ
て調節することにより、所定のＶ５の値を得ることが可
能である。
が調節される。いま加速電圧ｖ３が選択された後には電
源１１の出力電圧Ｖ４をＶ４＝ｖ、−Ｖ３の関係に従っ
て調節することにより、所定のＶ５の値を得ることが可
能である。
また第３図の本発明の一実施例でも明らかな様に本方式
においては電源６．１１は共に接地されており、出力電
流の読取り、出力電圧の制御も容易である。
においては電源６．１１は共に接地されており、出力電
流の読取り、出力電圧の制御も容易である。
本発明によれば、従来例におけるような絶縁トランスや
絶縁式信号伝達部を必要としないという利点がある。
絶縁式信号伝達部を必要としないという利点がある。
第１図および第２図は従来の電子線照射装置の概略構成
図、第３図は本発明にもとづく一実施例を示す電子線照
射装置の概略構成図である。 １・・・電子線源、２・・・電子線引き出し用電極、３
・・・接地電極、４・・・試料、５・・・電子線引き出
し用“電源、６・・・加速電圧用゛電源、７・・・絶縁
トランス、８，９・・・絶縁式信号伝達部、１０・・・
低電圧側回路、１１・・・電源。 代理人 弁理士 高橋明夫
図、第３図は本発明にもとづく一実施例を示す電子線照
射装置の概略構成図である。 １・・・電子線源、２・・・電子線引き出し用電極、３
・・・接地電極、４・・・試料、５・・・電子線引き出
し用“電源、６・・・加速電圧用゛電源、７・・・絶縁
トランス、８，９・・・絶縁式信号伝達部、１０・・・
低電圧側回路、１１・・・電源。 代理人 弁理士 高橋明夫
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、電界放射によ＃）α子を発生させるだめの電子発生
用陰極と該陰極に対して正の電圧を印加して電子を引き
出す為の電極を持つ電子銃があって、電源の出力端子の
一つを上記電子発生用陰極に接続し、該を源の他の出力
端子を接地し、他の電源の出力端子の一つを上記の電子
を引き出す為の電極に接続し、この電源の他の出力端子
を接地したことを特徴とする電子線照射装置。 ２、特許請求の範囲第１項において、電子線源と該電子
線源と対向して配置される電極の間に生ずる電圧が、電
子線源とアース間に印加された電源による電圧と、上記
の対向して配置される電極とアース間に印加された電源
による電圧との和によシ決定されることを特徴とする電
子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6575784A JPS60211753A (ja) | 1984-04-04 | 1984-04-04 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6575784A JPS60211753A (ja) | 1984-04-04 | 1984-04-04 | 電子線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60211753A true JPS60211753A (ja) | 1985-10-24 |
Family
ID=13296218
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6575784A Pending JPS60211753A (ja) | 1984-04-04 | 1984-04-04 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60211753A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0488972A2 (en) * | 1990-11-30 | 1992-06-03 | PROEL TECNOLOGIE S.p.A. | Device for generating an on-off modulated electron beam |
| JP2012089506A (ja) * | 2010-10-19 | 2012-05-10 | Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh | 単純化粒子エミッタ及びその動作方法 |
-
1984
- 1984-04-04 JP JP6575784A patent/JPS60211753A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0488972A2 (en) * | 1990-11-30 | 1992-06-03 | PROEL TECNOLOGIE S.p.A. | Device for generating an on-off modulated electron beam |
| JP2012089506A (ja) * | 2010-10-19 | 2012-05-10 | Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh | 単純化粒子エミッタ及びその動作方法 |
| US10699867B2 (en) | 2010-10-19 | 2020-06-30 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Simplified particle emitter and method of operating thereof |
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