JP2012089506A - 単純化粒子エミッタ及びその動作方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】荷電粒子ビームを光軸に沿って放出するエミッタ組立体が提供される。ガンチャンバ(20)内に収納されたエミッタ組立体は、エミッタ先端部(15)を備えたエミッタ(5)を含み、エミッタ先端部は、光軸に垂直な第1の平面のところに位置決めされ、エミッタは、第1の電位まで付勢されるよう構成され、エミッタ組立体は、開口部を備えたエクストラクタ(112)を更に有し、開口部は、光軸に垂直な第2の平面のところに位置決めされ、エクストラクタは、第2の電位まで付勢されるよう構成され、第2の平面は、第1の平面から2.25mm以上の第1の距離を有する。
【選択図】図3
Description
2 アース
4,6,8,10 電源
5 電子エミッタ
9 第1の電極
11 集束レンズ
12,112 抽出電極
13 対物レンズ
15 エミッタ先端部
20 ハウジング
22 サプレッサ
23 高電圧フィードスルー
24 コイル
26 磁極片
106 制御電源
132 低電圧フィードスルー
Claims (15)
- 荷電粒子ビーム装置であって、前記荷電粒子ビーム装置は、前記荷電粒子ビーム装置内に高エネルギー荷電粒子ビームを生じさせるようになっており、コラム内の荷電粒子ビームエネルギーが、前記荷電粒子のランディングエネルギーと比較して少なくとも10倍高く、前記荷電粒子ビーム装置は、
荷電粒子ビームを光軸に沿って放出するエミッタ組立体を有し、前記エミッタ組立体は、ガンチャンバ内に収納され、前記エミッタ組立体は、
エミッタ先端部を備えた電界エミッタを含み、前記エミッタ先端部は、前記光軸に垂直な第1の平面のところに位置決めされ、前記エミッタは、第1の電位まで付勢されるよう構成され、
開口部を備えたエクストラクタを更に含み、前記開口部は、前記光軸に垂直な第2の平面のところに位置決めされ、前記エクストラクタは、第2の電位まで付勢されるよう構成され、
前記第2の平面は、第1の平面から2.25mm以上の第1の距離を有し、
前記エクストラクタ(112)に接続されると共にアースに接続された制御電源(106)を含む、荷電粒子ビーム装置。 - 前記エクストラクタを支持したエクストラクタ支持体を更に有し、
前記エクストラクタ支持体は、前記エクストラクタに連結されると共に前記ガンチャンバのハウジングに連結可能であり、
前記エクストラクタ支持体は、10kV以下の電圧の場合にのみ発弧を阻止するよう構成された絶縁エクストラクタ支持体である、請求項1記載の荷電粒子ビーム装置。 - 前記エクストラクタ支持体は、前記ガンチャンバを第1の真空領域と第2の真空領域に分離するようになっている、請求項2記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記エクストラクタは、カップ状の形状を有する、請求項1〜3のうちいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- サプレッサ電位まで付勢されるよう構成されたサプレッサを更に有し、前記サプレッサ電位は変化させることができる、請求項1〜4のうちいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記エミッタ又は前記エクストラクタは、前記第1の距離を変化させることができるよう可動であり、
前記制御電源は、比較的小さな制御電圧を提供するようになっていると共に/或いは前記エミッタ先端部のところの電界強度の調節が前記サプレッサ用の別の電源によって行なわれる、請求項1〜5のうちいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。 - 前記ガンチャンバは、前記荷電粒子ビームを侵入させる開口部を有すると共に第3の電位に付勢されるよう構成された電極を更に有する、請求項1〜6のうちいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 真空ポンプに連結可能な少なくとも1つの真空連結部を備えた前記ガンチャンバのハウジングを更に有し、
前記エクストラクタ支持体は、前記エクストラクタ及び前記ガンチャンバのハウジングに連結される、請求項7記載の荷電粒子ビーム装置。 - 真空ポンプに連結可能な第2の真空連結部を更に有し、
前記真空連結部は、前記第1の真空領域を排気するよう位置決めされ、前記別の真空連結部は、前記第2の真空領域を排気するよう位置決めされている、請求項8記載の荷電粒子ビーム装置。 - 前記電極は、前記光軸に垂直な第2の平面のところに位置決めされ、前記第3の平面と前記第2の平面との間の距離は、前記第1の距離の1.5倍未満である、請求項7〜9のうちいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 少なくとも第2のエミッタ組立体を更に有し、前記第2のエミッタ組立体は、
エミッタ先端部を備えた電界エミッタを含み、前記エミッタ先端部は、前記光軸に垂直な第1の平面のところに位置決めされ、前記エミッタは、第1の電位まで付勢されるよう構成され、
開口部を備えたエクストラクタを更に有し、前記開口部は、前記光軸に垂直な第2の平面のところに位置決めされ、前記エクストラクタは、第2の電位まで付勢されるよう構成され、
前記第2の平面は、第1の平面から2.25mm以上の第1の距離を有し、
特に、前記エミッタ組立体及び前記第2のエミッタ組立体の前記エミッタの各々は、前記第1の電位を前記エミッタに印加するよう1つの電源に接続されている、請求項1〜10のうちいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。 - エミッタ組立体を動作させる方法であって、
荷電粒子ビームを光軸に沿って放出するステップと、
電界エミッタを第1の電位に付勢するステップと、
エクストラクタを該エクストラクタに接続されると共にアースに接続された制御電源により第2の電位に付勢するステップとを有し、
前記第1の電位と前記第2の電位の差電圧は、少なくとも15kVであり、
コラム内のビームエネルギーは、前記荷電粒子のランディングエネルギーと比較して少なくとも10倍高い、方法。 - 前記荷電粒子ビームを侵入させる開口部を備えた電極を第3の電位に付勢するステップを更に有し、前記第2の電位と前記第3の電位の差電圧は、15kV以下、特に10kV以下である、請求項12記載の方法。
- 前記第1の電位は、前記光軸を包囲した前記エクストラクタの一部分によって遮蔽される、請求項12又は13記載の方法。
- エミッタ先端部と抽出電極との間で少なくとも70%までの前記コラム内における前記荷電粒子の加速が行われる、請求項12〜14のうちいずれか1項に記載の方法。
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