JPS6119774U - 走査電子顕微鏡を用いた電位測定装置 - Google Patents
走査電子顕微鏡を用いた電位測定装置Info
- Publication number
- JPS6119774U JPS6119774U JP10467084U JP10467084U JPS6119774U JP S6119774 U JPS6119774 U JP S6119774U JP 10467084 U JP10467084 U JP 10467084U JP 10467084 U JP10467084 U JP 10467084U JP S6119774 U JPS6119774 U JP S6119774U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- grid electrode
- secondary electrons
- potential
- sample
- Prior art date
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- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図は従来装置
の構成図、第３図は２次電子のエネルギー分布と検出信
号との関係を示すための図、第４図は２次電子測定系の
理想的な検出特性を示すための図である。 １：電子線、２：試料、３：二次電子、４：二次電子捕
捉電極、５：二次電子検出器、６：吸引電極、７：格子
電極、８；偏向電極、９：負帰還回路、ＩＱ：駆動電源
。
の構成図、第３図は２次電子のエネルギー分布と検出信
号との関係を示すための図、第４図は２次電子測定系の
理想的な検出特性を示すための図である。 １：電子線、２：試料、３：二次電子、４：二次電子捕
捉電極、５：二次電子検出器、６：吸引電極、７：格子
電極、８；偏向電極、９：負帰還回路、ＩＱ：駆動電源
。
Claims (1)
- 電子ビームを試料の測定個所に照射し、該試料から放射
する２次電子を２次電子検出器により検出して試料の電
位を測定する装置において、前記試料の電子ビーム入射
側に配置され前記２次電子を吸引するための吸引電極と
、該吸引電極と一定の間隔をおいて配置され２次電子を
減速するための格子電極と、前記二次電子検出器と格子
電極の間に設けられた負帰還回路と、該格子電極と２次
電子検出器の間に設けられた２次電子を偏向するための
偏向電極とを備えた装置において、該格子電極の電位の
変化に基づく格子電極、偏向電極間の電圧変化を相殺す
るように、前記偏向電極に印加する電圧を変化させるた
めの手段を具備したことを特徴とする走査電子顕微鏡を
用いた電位測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10467084U JPS6119774U (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | 走査電子顕微鏡を用いた電位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10467084U JPS6119774U (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | 走査電子顕微鏡を用いた電位測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6119774U true JPS6119774U (ja) | 1986-02-05 |
| JPH057581Y2 JPH057581Y2 (ja) | 1993-02-25 |
Family
ID=30664008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10467084U Granted JPS6119774U (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | 走査電子顕微鏡を用いた電位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6119774U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015028851A (ja) * | 2013-07-30 | 2015-02-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9737273B2 (en) | 2011-04-07 | 2017-08-22 | Mobius Imaging, Llc | Mobile X-ray imaging system |
-
1984
- 1984-07-11 JP JP10467084U patent/JPS6119774U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015028851A (ja) * | 2013-07-30 | 2015-02-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH057581Y2 (ja) | 1993-02-25 |
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