JPS6037163U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS6037163U JPS6037163U JP12953283U JP12953283U JPS6037163U JP S6037163 U JPS6037163 U JP S6037163U JP 12953283 U JP12953283 U JP 12953283U JP 12953283 U JP12953283 U JP 12953283U JP S6037163 U JPS6037163 U JP S6037163U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic pole
- conductor
- electron microscope
- scanning electron
- objective lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来装置の構成断面図、第2図は従来装置を説
明するための図、第3図は本考案の一実施例を示す構成
断面図、第4図は第3図の一実施例を説明するための図
である。 1:電子線、2:対物レンズ上磁極片、3:対物レンズ
下磁極片、4:試料、5:導体、6:絶縁体、7:X線
検出器、8:冷却槽、9:熱伝導棒、10:2次電子検
出器、11:検出部、12:電極、13:シールド筒、
14:検出器高圧電源、15:電源、16:可変抵抗。
明するための図、第3図は本考案の一実施例を示す構成
断面図、第4図は第3図の一実施例を説明するための図
である。 1:電子線、2:対物レンズ上磁極片、3:対物レンズ
下磁極片、4:試料、5:導体、6:絶縁体、7:X線
検出器、8:冷却槽、9:熱伝導棒、10:2次電子検
出器、11:検出部、12:電極、13:シールド筒、
14:検出器高圧電源、15:電源、16:可変抵抗。
Claims (1)
- 対物レンズの上下磁極片間に挿入された試料へ電子線を
照射し、該試料より発生する2次電子を対物レンズ上磁
極片の上方に配置された2次電子検出器によって検出す
るように構成した装置において、該上磁極片の開口に絶
縁体を介して挿入された開口を有する導体と、該導体を
冷却する手段と、該導体に正の電位を与える手段とを備
えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12953283U JPS6037163U (ja) | 1983-08-22 | 1983-08-22 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12953283U JPS6037163U (ja) | 1983-08-22 | 1983-08-22 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6037163U true JPS6037163U (ja) | 1985-03-14 |
Family
ID=30293468
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12953283U Pending JPS6037163U (ja) | 1983-08-22 | 1983-08-22 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6037163U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6231932A (ja) * | 1985-08-03 | 1987-02-10 | Shimadzu Corp | 荷電粒子線走査型試料観察装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5730252A (en) * | 1980-07-31 | 1982-02-18 | Jeol Ltd | Signal detector in electron microscope |
JPS5811075A (ja) * | 1981-07-15 | 1983-01-21 | 三菱重工業株式会社 | バケツト形回転選別胴 |
-
1983
- 1983-08-22 JP JP12953283U patent/JPS6037163U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5730252A (en) * | 1980-07-31 | 1982-02-18 | Jeol Ltd | Signal detector in electron microscope |
JPS5811075A (ja) * | 1981-07-15 | 1983-01-21 | 三菱重工業株式会社 | バケツト形回転選別胴 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6231932A (ja) * | 1985-08-03 | 1987-02-10 | Shimadzu Corp | 荷電粒子線走査型試料観察装置 |
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