JPS6037163U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

走査電子顕微鏡

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Publication number
JPS6037163U
JPS6037163U JP12953283U JP12953283U JPS6037163U JP S6037163 U JPS6037163 U JP S6037163U JP 12953283 U JP12953283 U JP 12953283U JP 12953283 U JP12953283 U JP 12953283U JP S6037163 U JPS6037163 U JP S6037163U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic pole
conductor
electron microscope
scanning electron
objective lens
Prior art date
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Pending
Application number
JP12953283U
Other languages
English (en)
Inventor
健 富田
植野　勝義
Original Assignee
日本電子株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
Priority to JP12953283U priority Critical patent/JPS6037163U/ja
Publication of JPS6037163U publication Critical patent/JPS6037163U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来装置の構成断面図、第２図は従来装置を説
明するための図、第３図は本考案の一実施例を示す構成
断面図、第４図は第３図の一実施例を説明するための図
である。 １：電子線、２：対物レンズ上磁極片、３：対物レンズ
下磁極片、４：試料、５：導体、６：絶縁体、７：Ｘ線
検出器、８：冷却槽、９：熱伝導棒、１０：２次電子検
出器、１１：検出部、１２：電極、１３：シールド筒、
１４：検出器高圧電源、１５：電源、１６：可変抵抗。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 対物レンズの上下磁極片間に挿入された試料へ電子線を
    照射し、該試料より発生する２次電子を対物レンズ上磁
    極片の上方に配置された２次電子検出器によって検出す
    るように構成した装置において、該上磁極片の開口に絶
    縁体を介して挿入された開口を有する導体と、該導体を
    冷却する手段と、該導体に正の電位を与える手段とを備
    えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。
JP12953283U 1983-08-22 1983-08-22 走査電子顕微鏡 Pending JPS6037163U (ja)

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JPS6037163U true JPS6037163U (ja) 1985-03-14

Family

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6231932A (ja) * 1985-08-03 1987-02-10 Shimadzu Corp 荷電粒子線走査型試料観察装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5730252A (en) * 1980-07-31 1982-02-18 Jeol Ltd Signal detector in electron microscope
JPS5811075A (ja) * 1981-07-15 1983-01-21 三菱重工業株式会社 バケツト形回転選別胴

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5730252A (en) * 1980-07-31 1982-02-18 Jeol Ltd Signal detector in electron microscope
JPS5811075A (ja) * 1981-07-15 1983-01-21 三菱重工業株式会社 バケツト形回転選別胴

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6231932A (ja) * 1985-08-03 1987-02-10 Shimadzu Corp 荷電粒子線走査型試料観察装置

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