JPS6136955U - 電子顕微鏡等用ｘ線検出装置 - Google Patents
電子顕微鏡等用ｘ線検出装置Info
- Publication number
- JPS6136955U JPS6136955U JP12262484U JP12262484U JPS6136955U JP S6136955 U JPS6136955 U JP S6136955U JP 12262484 U JP12262484 U JP 12262484U JP 12262484 U JP12262484 U JP 12262484U JP S6136955 U JPS6136955 U JP S6136955U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection device
- ray detection
- ray
- ray detector
- collimator
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例の構成断面図、第２図はコリ
メータを拡犬して表示するため斜視図、第３図はＸ線検
出器を拡大して示すための斜視図であり、第４図は第１
図の装！を上方より眺めた図である。 １：試料ホルダー、２：試料保持部材、３：冷却棒、４
：試料押え金具、５：試料、６：断熱材、７：コリメー
タ、８：Ｘ線検出器、９：絶縁体、１０：検出器取り付
け板、１１：ビス、１２：リード線、１３：薄膜、１４
：電子線、１５：特性Ｘ線。
メータを拡犬して表示するため斜視図、第３図はＸ線検
出器を拡大して示すための斜視図であり、第４図は第１
図の装！を上方より眺めた図である。 １：試料ホルダー、２：試料保持部材、３：冷却棒、４
：試料押え金具、５：試料、６：断熱材、７：コリメー
タ、８：Ｘ線検出器、９：絶縁体、１０：検出器取り付
け板、１１：ビス、１２：リード線、１３：薄膜、１４
：電子線、１５：特性Ｘ線。
Claims (1)
- （１）試料を保持する試料ホルダーと、該試料ホルダー
内に配置され照射電子を取り囲む複数のＸ線通過孔を有
するコリメータと、該コリメータを介して該試料と対向
して該試料ホルダー内に配置されたＸ線検出器と、該Ｘ
線検出器を冷却するための手段とを設けたことを特徴と
する竜子顕微鏡等用Ｘ線検出装置。 ｛２｝ 上記Ｘ線検出器は円環状に形成された実用新
案登録請求の範囲第１項記載の電子顕微鏡等用Ｘ線検出
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12262484U JPS6136955U (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | 電子顕微鏡等用ｘ線検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12262484U JPS6136955U (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | 電子顕微鏡等用ｘ線検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6136955U true JPS6136955U (ja) | 1986-03-07 |
Family
ID=30681380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12262484U Pending JPS6136955U (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | 電子顕微鏡等用ｘ線検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6136955U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01307149A (ja) * | 1988-06-03 | 1989-12-12 | Jeol Ltd | 半導体ｘ線検出器 |
| JPH01316683A (ja) * | 1988-06-17 | 1989-12-21 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | Ｘ線検出装置 |
| WO2015145706A1 (ja) * | 2014-03-28 | 2015-10-01 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置用試料ホルダおよび荷電粒子線装置 |
-
1984
- 1984-08-10 JP JP12262484U patent/JPS6136955U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01307149A (ja) * | 1988-06-03 | 1989-12-12 | Jeol Ltd | 半導体ｘ線検出器 |
| JPH01316683A (ja) * | 1988-06-17 | 1989-12-21 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | Ｘ線検出装置 |
| WO2015145706A1 (ja) * | 2014-03-28 | 2015-10-01 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置用試料ホルダおよび荷電粒子線装置 |
| JPWO2015145706A1 (ja) * | 2014-03-28 | 2017-04-13 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置用試料ホルダおよび荷電粒子線装置 |
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