JPS58116649U - マクロアナライザ装置 - Google Patents

マクロアナライザ装置

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Publication number
JPS58116649U
JPS58116649U JP1394882U JP1394882U JPS58116649U JP S58116649 U JPS58116649 U JP S58116649U JP 1394882 U JP1394882 U JP 1394882U JP 1394882 U JP1394882 U JP 1394882U JP S58116649 U JPS58116649 U JP S58116649U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
analyzer device
fluorescent
solar slit
macro analyzer
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Pending
Application number
JP1394882U
Other languages
English (en)
Inventor
佐藤 光義
Original Assignee
セイコーインスツルメンツ株式会社
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Publication date
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Priority to JP1394882U priority Critical patent/JPS58116649U/ja
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は従来用いられていた装置を示す構成図、第5図
はこの考案による装置を示す構成図、第3図は特性図、
第4図は開き角を示す構成図である。 10・・・電子銃、11・・・フォーカスコイル、12
・・・走査コイル、13・・・試料、14.16・・・
ソーラースリット、−15・・・平板分光結晶、17・
・・X線検出器、20・・・入射面、21・・・出射面
である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子ビームを試料に照射し試料から発生する螢光X線を
    分光積面で分光してX線検出器で試料の元素の二次元分
    布を測定するものにおいて、試料と分光結晶との間に設
    けられたソーラースリットを設け、このソーラースリッ
    トの形状を菱形め平行四辺彫型とし、ソーラースリット
    を通過する螢光X線の開き角が全ての分析、へにおいて
    一定となるように構成したことを特徴とするマクロアナ
    ライザ装置。
JP1394882U 1982-02-03 1982-02-03 マクロアナライザ装置 Pending JPS58116649U (ja)

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JP1394882U JPS58116649U (ja) 1982-02-03 1982-02-03 マクロアナライザ装置

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Publication Number Publication Date
JPS58116649U true JPS58116649U (ja) 1983-08-09

Family

ID=30026433

Family Applications (1)

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JP1394882U Pending JPS58116649U (ja) 1982-02-03 1982-02-03 マクロアナライザ装置

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JP (1) JPS58116649U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007017350A (ja) * 2005-07-08 2007-01-25 Shimadzu Corp X線分析装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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