JPS5856956U - オージェ定量分析装置 - Google Patents
オージェ定量分析装置Info
- Publication number
- JPS5856956U JPS5856956U JP15209981U JP15209981U JPS5856956U JP S5856956 U JPS5856956 U JP S5856956U JP 15209981 U JP15209981 U JP 15209981U JP 15209981 U JP15209981 U JP 15209981U JP S5856956 U JPS5856956 U JP S5856956U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- auger
- target
- quantitative analyzer
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示す斜視図、第２図はその
要部拡大断面図である。 １：試料ホルダ、２ａ、 ２ｂ、 ２Ｃ：被検試料、
３：薄膜形成用ターゲット、４：斜面部材、４ａ：傾斜
面、５：合金傾斜面、５：合金ターゲット、６：薄膜。
要部拡大断面図である。 １：試料ホルダ、２ａ、 ２ｂ、 ２Ｃ：被検試料、
３：薄膜形成用ターゲット、４：斜面部材、４ａ：傾斜
面、５：合金傾斜面、５：合金ターゲット、６：薄膜。
Claims (1)
- 電子線を試料に照射した際、該試料表面から発生するオ
ージェ電子を分析して試料の定量分析を行う装置等に用
いられるホルダであって、被検試料と共に標準試料であ
るターゲットを保持し、該ターゲットをイオン源及び薄
膜形成基板には対面するが前記被検試料には対面しない
ように配置してなる試料ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15209981U JPS5856956U (ja) | 1981-10-13 | 1981-10-13 | オージェ定量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15209981U JPS5856956U (ja) | 1981-10-13 | 1981-10-13 | オージェ定量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5856956U true JPS5856956U (ja) | 1983-04-18 |
| JPH0318913Y2 JPH0318913Y2 (ja) | 1991-04-22 |
Family
ID=29944765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15209981U Granted JPS5856956U (ja) | 1981-10-13 | 1981-10-13 | オージェ定量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5856956U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS561669U (ja) * | 1979-06-19 | 1981-01-09 |
-
1981
- 1981-10-13 JP JP15209981U patent/JPS5856956U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS561669U (ja) * | 1979-06-19 | 1981-01-09 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0318913Y2 (ja) | 1991-04-22 |
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