JPS58178266U - 電子顕微鏡用試料保持具 - Google Patents
電子顕微鏡用試料保持具Info
- Publication number
- JPS58178266U JPS58178266U JP7613482U JP7613482U JPS58178266U JP S58178266 U JPS58178266 U JP S58178266U JP 7613482 U JP7613482 U JP 7613482U JP 7613482 U JP7613482 U JP 7613482U JP S58178266 U JPS58178266 U JP S58178266U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron microscope
- sample holder
- holder
- sample
- stem
- Prior art date
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- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の試料保持具ａと試料保持具に試料を固定
した平面図と側面−、第２図（ま本考案の。 試料保持具と試料保持具に試料を固定した正面図ａ、
ｃ、側面図す、 ｄ、第３図はチップをステムにボ
ンディングした試料の平面図と側面図で午る。
した平面図と側面−、第２図（ま本考案の。 試料保持具と試料保持具に試料を固定した正面図ａ、
ｃ、側面図す、 ｄ、第３図はチップをステムにボ
ンディングした試料の平面図と側面図で午る。
Claims (1)
- ステムにマウントされた試料の観察に用いる電子顕微鏡
用試料保持具において、該保持具上面に該試料の測定面
を設定角度ど子るステム固定機構と該保持具の基体とは
電気的に絶縁され、かつステムの電極と導通する機構と
を有することを特徴とする電子顕微鏡用試料保持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7613482U JPS58178266U (ja) | 1982-05-24 | 1982-05-24 | 電子顕微鏡用試料保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7613482U JPS58178266U (ja) | 1982-05-24 | 1982-05-24 | 電子顕微鏡用試料保持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58178266U true JPS58178266U (ja) | 1983-11-29 |
Family
ID=30085458
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7613482U Pending JPS58178266U (ja) | 1982-05-24 | 1982-05-24 | 電子顕微鏡用試料保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58178266U (ja) |
-
1982
- 1982-05-24 JP JP7613482U patent/JPS58178266U/ja active Pending
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