JPS59192834U - 基板保持構造 - Google Patents

基板保持構造

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JPS59192834U
JPS59192834U JP1983088329U JP8832983U JPS59192834U JP S59192834 U JPS59192834 U JP S59192834U JP 1983088329 U JP1983088329 U JP 1983088329U JP 8832983 U JP8832983 U JP 8832983U JP S59192834 U JPS59192834 U JP S59192834U
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JP
Japan
Prior art keywords
holding structure
substrate holding
sample
protrusion
holder
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Pending
Application number
JP1983088329U
Other languages
English (en)
Inventor
宮原　温
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図、第２図は従来例である基板を保持する基板ホル
ダーを示す断面図（第１図）及び平面図、（第２図）、
第３図は本考案の一実施例である基板保持構造を示す断
面図、第４図は本考案の一実施例である角形基板の保持
構造を示す平面図である。 図中、１．１１．２１・・・・・・基板、２，１２゜２
２・・・・・・ホルダー、３．１３・・・・・・板ばね
、４゜１４．２４・・・・・・クランププレート、１５
．２５・・・・・・突起。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 試料を保持するホルダーのクランププレートにレール状
    の突起が形成されてなり、該突起端面に該試料の主面が
    接して保持されることを特徴とす、る基板保持構造。
JP1983088329U 1983-06-09 1983-06-09 基板保持構造 Pending JPS59192834U (ja)

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JPS59192834U true JPS59192834U (ja) 1984-12-21

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5318969A (en) * 1976-08-06 1978-02-21 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Wafer fixing method
JPS5759328A (en) * 1980-09-27 1982-04-09 Toshiba Corp Method for fixed exfoliation of sample

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5318969A (en) * 1976-08-06 1978-02-21 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Wafer fixing method
JPS5759328A (en) * 1980-09-27 1982-04-09 Toshiba Corp Method for fixed exfoliation of sample

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