JPS6013738U - ウエハカセツト - Google Patents
ウエハカセツトInfo
- Publication number
- JPS6013738U JPS6013738U JP10484783U JP10484783U JPS6013738U JP S6013738 U JPS6013738 U JP S6013738U JP 10484783 U JP10484783 U JP 10484783U JP 10484783 U JP10484783 U JP 10484783U JP S6013738 U JPS6013738 U JP S6013738U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cassette
- reference protrusion
- wafer cassette
- clamper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の一実施例を示すもので、第１図はウェハ
カセットを示す平面図、第２図はその側断面図である。 １・・・・・・カセット本体、１ａ・・・・・・ウェハ
載置面、２・・・・・・基準用突起、４・・・・・・ク
ランパー、６・・・・・・ウェハ、６ａ・・・・・・切
欠部。、
カセットを示す平面図、第２図はその側断面図である。 １・・・・・・カセット本体、１ａ・・・・・・ウェハ
載置面、２・・・・・・基準用突起、４・・・・・・ク
ランパー、６・・・・・・ウェハ、６ａ・・・・・・切
欠部。、
Claims (1)
- 一端部に切欠部を有したウェハを載置するカセット本体
と、このカセット本体のウェハ載置面に突設された基準
用突起と、前記カセット本体に設けられ前記ウェハの他
端部に係止してこれを弾性的に押圧しその切欠部を前記
基準用突起に当接させてこれを保持するクランパーとか
らなるウェハカセットにおいて、前記クランパーを前記
ウェハ載置面内で押圧方向と直交する方向へ所定量移動
自在に設けたことを特徴とするウェハカセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10484783U JPS6013738U (ja) | 1983-07-06 | 1983-07-06 | ウエハカセツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10484783U JPS6013738U (ja) | 1983-07-06 | 1983-07-06 | ウエハカセツト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6013738U true JPS6013738U (ja) | 1985-01-30 |
| JPH0423317Y2 JPH0423317Y2 (ja) | 1992-05-29 |
Family
ID=30246015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10484783U Granted JPS6013738U (ja) | 1983-07-06 | 1983-07-06 | ウエハカセツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6013738U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4912791A (ja) * | 1972-03-15 | 1974-02-04 | ||
| JPS5472477U (ja) * | 1977-10-31 | 1979-05-23 |
-
1983
- 1983-07-06 JP JP10484783U patent/JPS6013738U/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4912791A (ja) * | 1972-03-15 | 1974-02-04 | ||
| JPS5472477U (ja) * | 1977-10-31 | 1979-05-23 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0423317Y2 (ja) | 1992-05-29 |
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