JPS5844848U - 半導体ウエハ−固定用治具 - Google Patents

半導体ウエハ−固定用治具

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JPS5844848U
JPS5844848U JP13998281U JP13998281U JPS5844848U JP S5844848 U JPS5844848 U JP S5844848U JP 13998281 U JP13998281 U JP 13998281U JP 13998281 U JP13998281 U JP 13998281U JP S5844848 U JPS5844848 U JP S5844848U
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JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor wafer
fixing jig
wafer fixing
abstract
magnetic material
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Pending
Application number
JP13998281U
Other languages
English (en)
Inventor
中島　正英
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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  • Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案によるウェハーホルダーの一実施例を
示したものであり、ａはその断面図、ｂはその平面図で
ある。第２図は第１図の押え板部分の拡大断面図である
。− １・・・・・・ウェハーホルダー基板（磁性体）、２・
・・・・・ウェハー、３・・・・・・押え板（永久磁石
）、ａ・・・・・・押え板の基板とくつつく部分の寸法
、ｂ・・・・・・押え板のウェハーを押える部分の寸法
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 磁性体で形成された基板に、磁石よりなる押え板を用い
    ることによって半導体ウェハーを固定することを特徴と
    する半導体ウェハー固定用治具。
JP13998281U 1981-09-21 1981-09-21 半導体ウエハ−固定用治具 Pending JPS5844848U (ja)

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JP13998281U JPS5844848U (ja) 1981-09-21 1981-09-21 半導体ウエハ−固定用治具

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Publication Number Publication Date
JPS5844848U true JPS5844848U (ja) 1983-03-25

Family

ID=29933157

Family Applications (1)

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JP13998281U Pending JPS5844848U (ja) 1981-09-21 1981-09-21 半導体ウエハ−固定用治具

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JP (1) JPS5844848U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0279036U (ja) * 1988-12-06 1990-06-18

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0279036U (ja) * 1988-12-06 1990-06-18

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