JPS5961462U - 荷電粒子線のエネルギ−分析装置 - Google Patents
荷電粒子線のエネルギ−分析装置Info
- Publication number
- JPS5961462U JPS5961462U JP15664582U JP15664582U JPS5961462U JP S5961462 U JPS5961462 U JP S5961462U JP 15664582 U JP15664582 U JP 15664582U JP 15664582 U JP15664582 U JP 15664582U JP S5961462 U JPS5961462 U JP S5961462U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particle beam
- charged particle
- beam energy
- energy analyzer
- omega
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はオメガ型スペクトロメータの概略を示す図、第
２図は本考案の一例を示す断面図、第３図は第２図にお
ける主要部の斜視図である。 ７：オメガ型スペクトロメータ、８，９：粒子線通路、
１０，１１，１２：［石、１６．１９ニブリズム、１８
ニライトガイド。 第２図 第３図
２図は本考案の一例を示す断面図、第３図は第２図にお
ける主要部の斜視図である。 ７：オメガ型スペクトロメータ、８，９：粒子線通路、
１０，１１，１２：［石、１６．１９ニブリズム、１８
ニライトガイド。 第２図 第３図
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 荷電粒子線の通路に配置され、少くとも３個の分析
場により荷電粒子線をΩ形に偏向してそのエネルギーを
分離するオメガ型スペクトロメータを有する装置におい
て、前記オメガ型のスペクトロメータの仮想レンズ中心
又はその近傍に荷電粒子線の断面より小さな荷電粒子線
検知手段を設置してなる荷電粒子線のエネルギー分析装
置。 ２ 前記荷電粒子線検知手段は螢光部材と該螢光部材か
らの螢光を装置外に取出すライトガイドとよりなる実用
新案登録請求の範囲第１項記載の荷電粒子線のエネルギ
ー分析装置二゛′
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15664582U JPS5961462U (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | 荷電粒子線のエネルギ−分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15664582U JPS5961462U (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | 荷電粒子線のエネルギ−分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5961462U true JPS5961462U (ja) | 1984-04-21 |
Family
ID=30345583
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15664582U Pending JPS5961462U (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | 荷電粒子線のエネルギ−分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5961462U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6266553A (ja) * | 1985-09-13 | 1987-03-26 | カ−ル・ツアイス−スチフツング | オメガ形電子エネルギフイルタ |
-
1982
- 1982-10-15 JP JP15664582U patent/JPS5961462U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6266553A (ja) * | 1985-09-13 | 1987-03-26 | カ−ル・ツアイス−スチフツング | オメガ形電子エネルギフイルタ |
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