JPS6356556U - - Google Patents

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JPS6356556U
JPS6356556U JP15082086U JP15082086U JPS6356556U JP S6356556 U JPS6356556 U JP S6356556U JP 15082086 U JP15082086 U JP 15082086U JP 15082086 U JP15082086 U JP 15082086U JP S6356556 U JPS6356556 U JP S6356556U
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の概略構成図、第２
図は試料ステージおよび測定手段の概略斜視図、
第３図は表面分析の動作のフローチヤート、第４
図は試料の測定順序を説明するための平面図であ
る。 １……試料、１０……試料ステージ、１２……
測定手段、１８……駆動制御手段。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 荷電粒子線で試料を励起し、該試料から発生す
    る特性Ｘ線に基づいて、試料の表面の元素の濃度
    分布を測定する表面分析装置において、 取り付けられた試料を三次元方向に移動させる
    試料ステージと、 該試料ステージによつて移動される前記試料に
    ついて、特性Ｘ線の測定点よりも先行した点の分
    析高さを測定する測定手段と、 該測定手段による分析高さの測定データが入力
    されるとともに、これに並行して前記特性Ｘ線の
    測定点においては、既に測定された分析高さのデ
    ータに基づいて、前記試料ステージを駆動して分
    析高さの補正を行なう駆動制御手段とを備えるこ
    とを特徴とする表面分析装置。
JP15082086U 1986-09-30 1986-09-30 Expired - Lifetime JPH0511642Y2 (ja)

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JP15082086U JPH0511642Y2 (ja) 1986-09-30 1986-09-30

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Publication Number Publication Date
JPS6356556U true JPS6356556U (ja) 1988-04-15
JPH0511642Y2 JPH0511642Y2 (ja) 1993-03-23

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JP15082086U Expired - Lifetime JPH0511642Y2 (ja) 1986-09-30 1986-09-30

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JP (1) JPH0511642Y2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011243487A (ja) * 2010-05-20 2011-12-01 Hitachi Ltd 荷電粒子線装置
WO2012093474A1 (ja) * 2011-01-05 2012-07-12 Isobe Shinichiro 多光源顕微鏡

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011243487A (ja) * 2010-05-20 2011-12-01 Hitachi Ltd 荷電粒子線装置
WO2012093474A1 (ja) * 2011-01-05 2012-07-12 Isobe Shinichiro 多光源顕微鏡

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JPH0511642Y2 (ja) 1993-03-23

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