JPS61167845A - 放射線による被測定物の組成分析方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ｌ産業上の利用分野」 本発明は放射線を利用した非破壊測定手段により被測定
物の組成を分析する方法に関する。

Ｉ従来の技術」 不透明な物体の組成濃度、組成分布等を放射線照射によ
り非破壊的に測定するとき、その線源としてアイソトー
プ（Ｇａ、　Ｚｒ、　Ｇｏ）などのγ線、あるいは白色
Ｘ線を用い、放射線照射系から出射した放射線を被測定
物に照射し、その透過線の強度を検出系で測定解析する
ようにしている。

ところで、アイソトープによる非破壊的測定法はアイソ
トープの入手が困難であること、その強度が弱いかまた
は強すぎること、さらに半減期が短いこと等々の理由に
より工業化がむずかしいとされている。

そのため、白色Ｘ線を用いる方法が普及しており、この
方法では、放射線照射系と被測定物とを相対移動させる
スキャンニングによりビーム状の放射線を被測定物の全
幅に照射し、透過線検出系により特定エネルギの強度を
正確に求めた後、その測定データをもとにした多層分割
法、アーベル変換法等の計算法により被測定物の組成分
布を求めている。− この際、放射線幅は０．５〜１ｍ−程度の一定値とし、
その照射時間は１５〜３０秒程度と程度いる。

１発明が解決しようとする問題点１ 上述したＸ線を用いる方法では放射線幅が０．５〜１層
前２大きいためＩＪＩ定データ上、被測定物のエツジ部
がどこにあるかが不明となり、その結果高精度の組成分
析が困難となっている。

逆に放射線幅を小さくした場合、エネルギ強度の測定に
時間がかかりすぎ、実用性を欠いたものになってしまう
。

このように、従来例では分析精度、測定時間のいずれか
一方を犠牲にしなければならない不都合が生じている。

本発明は上記の問題点に鑑み、放射線による被測定物の
組成分析方法において、分析精度、測定時間を共に満足
させることのできる方法を提供しようとするものである
。

ｆ問題点を解決するための手段Ａ 本発明は、放射線発生装置からの放射線を被測定物に照
射し、その透過線を放射線検出装置で測定解析すること
により、被測定物の組成を分析する方法において、被測
定物のエツジ部には、放射線幅を小さくして当該放射線
を照射し、被測定物における両エツジ部間の中間部には
、放射線幅を前記よりも大きくして当該放射線を照射す
ることを特徴としている。

！作用ｊ 本発明方法の場合、所望被測定物の組成を分析する際の
放射線照射時、その被測定物のエツジ部には、放射線幅
を小さくして放射線を照射するから、測定データ上、当
該エツジ部が明瞭に把握でき、したがって分析精度が向
上する。

しかも放射線幅の小さい放射線を照射するのは上記エツ
ジ部だけであり、被測定物の大部分を占める中間部（一
方のエツジ部と他方のエツジ部との間）には、前述した
よりも大きい放射線幅の放射線を照射するから、測定時
間が長くならず、測定時の実用性が保持できる。

１実　施　例ｊ 以下本発明方法の実施例につき１図面を参照して説明す
る。

第１図において、１は所望の線源を備えた放射線発生装
置、２．３はコリメータ、４は例えば半導体からなる検
出器、５はマルチチャンネル型からなる波高分析器、８
は電子計算機である。

上記において、コリメータ２．３は放射線、透過線等を
所望の幅に絞りこむための既知のスリットを有するだけ
でなく、そのスリット幅が調整できるステップ駆動式の
モータを備えている。

互いに接続され検出器４と波高分析器５とは放射線検出
装置７を構成しており、その波高分析器５には前記電子
計算機８が接続されている。

上述した各装置、各機器は、第１図のごとく所定の光軸
上に所定の順序で配置され、かつ、コリメータ２，３間
に不透明な被測定物８が介在されるようになっている。

被測定物８の具体的１例として、酸化ケイ素と酸化ゲル
マニウムとからなる光フアイバ用の多孔質母材をあげる
ことができ、当該被測定物８はステップ駆動式のモータ
８を備えた走査機構１０により放射線照射方向と直交す
る方向へ走査されるようになっている。

本発明方法では放射線発生装置ｌから出射した放射線を
コリメータ２に通し、さらにコリメータ２から被測定物
８へ照射させるとともに、該被測定物８を透過した後の
放射線すなわち透過線をコリメータ３、検出器礁、波高
分析器５へ順次通して被測定物８の組成分析を行ない、
こうして得られた測定データを電子計算機８にて解読す
る。

つぎに、より具体的な上記組成分析例について説明する
。

放射線発生装置ｌｌとしてはＭａｘ３５０ｋＶ、２５ｍ
Ａ（７）白色Ｘ線源を用いた。

被測定物８はこれを直径４軸騰の前記多孔質母材とした
。

コリメータ２．３のスリット幅を調整するためのステッ
プモータ、および走査機構１０のステップモータは、そ
れぞれミニマム１０鉢１１にてインチングできるものを
用いた。

さらに波高分析器５は９０ｋｅマｔ　ＥｌＯｋｌ！ｖの
各チャンネル部のエネルギ強度を測定するものとし、そ
の測定データを電子計算機６で演算処理することにより
上記被測定物８のＧｅ、　Ｓｉ分布を求めることとした
。

かかる設定条件での組成分析を行なうとき、放射線の照
射は被測定物８の一方のエツジ部８ａから開始するが、
該エツジ部８ａへの放射線照射時にはスリット長さが一
定（８■■）であるコリメータ２．３のスリット幅をス
テップ駆動により０．１腸−とした後、この放射線絞り
こみ状態において、被測定物８を走査機構１０により第
１図の矢印方向へ数回ステップ移動させる。

この際の被測定物８のステップ移動量は３回＝５０＃Ｌ
腸である。

つづいて被測定物８の中間部８ｃへ放射線を照射するが
、このときはコリメータ２．３のスリット幅をり１■■
とじて前記よりも大キくシ、かかる放射線照射状態にお
いて、被測−宝物８を走査機構ｌＯにより前記矢印方向
へステップ移動させる。

この際の被測定物８のステップ移動量は１回あたり　５
００ル腸である。

上記中間部８Ｃへ放射線照射を終えた後、引きつづき被
測定物８の他方のエツジ部８ｂへ放射線を照射するが、
この際の放射線照射は前記エツジ部８ａの場合と同様に
行なう。

第２図は上記放射線の照射状況を示し、第３図は上記測
定に基づく組成分析結果、すなわち被測定物８のＳｉ中
におけるＧｅ濃度分布を示している。

上述した具体例では、被測定物８のエツジ部の測定に３
分間要し、その中間部の測定に１５〜２０秒要したが、
その合計時間は４分を大幅に下回り、所望の分析作業が
きわめて短い時間で終了した。

また、被測定物８のエツジ部もきわめて明瞭にとらえら
れ、その外径を十分に把握することができた。

Ｉ発明の効果」 以上説明した通り１本発明方法によると３は、放射線照
射により被測定物の組成を非破壊的に分析するとき、被
測定物のエツジ部には、放射線幅を小さくして当該放射
線を照射し、被測定物の中間部には、放射線幅を前記よ
りも大きくして当該放射線を照射するから、分析精度の
高度化、測定時間の短縮化をいずれも満足させることが
でき、また、被測定物の走査量とそのエツジ検出とを対
応させることにより、当該被測定物の外径あるいは輻貝
なども精度よく求めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法の１実施例を略示した説明図、第２
図は同上における放射線の照射状況を示した説明図、第
３図は本発明方法における分析結果の１例を示した説明
図である。 １　＠・・拳・放射線発生装置 ２．３　・−・コリメータ ４　・・・・拳検出器（放射線検出装置用）５　拳・・
・・波高分析器（放射線検出装置用）６　・・・φ・電
子計算機 ７・・・・・放射線検出装置 ８　拳・・番・被測定物 ８ａ、８ｂ−・会被測定物のエツジ部 ８Ｇ＠１１１１・・被測定物の中間部 ９　・・・・會モータ（走査機構用） １０・・Φ・拳被測定物用の走査機構 代理人　弁理士　　斎　藤　義　雄 第を図 舒 音声 方 岡 第２図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 放射線発生装置からの放射線を被測定物に照射し、その
   透過線を放射線検出装置で測定解析することにより、被
   測定物の組成を分析する方法において、被測定物のエッ
   ジ部には、放射線幅を小さくして当該放射線を照射し、
   被測定物における両エッジ部間の中間部には、放射線幅
   を前記よりも大きくして当該放射線を照射することを特
   徴とする放射線による被測定物の組成分析方法。