JPS58112906U - Ｘ線膜厚装置 - Google Patents

Ｘ線膜厚装置

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JPS58112906U
JPS58112906U JP1041582U JP1041582U JPS58112906U JP S58112906 U JPS58112906 U JP S58112906U JP 1041582 U JP1041582 U JP 1041582U JP 1041582 U JP1041582 U JP 1041582U JP S58112906 U JPS58112906 U JP S58112906U
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JP
Japan
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film thickness
ray
sample
ray film
thickness device
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Application number
JP1041582U
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English (en)
Inventor
金子　政夫
Original Assignee
セイコーインスツルメンツ株式会社
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Publication date
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  • Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は軸合せ用具図でａは上面図、ｂは正面図、第２
図はこの考案による螢光Ｘ線装置の構成図、第３図は軸
合せ用具のキャリブレーション要領図、第′４図は軸合
せ用具のキャリブレーション時の出力図、第５図は軸合
せ用具の軸合せ時の出力図である。 １・・・・・・Ｘ線受光素子アレー、２・・・・・・十
字線、３・・・・・・Ｘ線管、４・・・・・・コリメー
タ、５・・・・・・光学スコープ、６・・・・・・軸合
せ用具用スリット。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. Ｘ線を試料に照射して発生した螢光Ｘ線を検出する事に
    より試料の膜厚を測定する装置において、上端部に十字
    線を形成したＸ線受光素子アレーの軸合せ用具を備え、
    この軸合せ用具で、試料の測定点を決める光学スコープ
    の光軸とＸ線管よりのＸ線軸を一致せしめるようにした
    ことを特徴とするＸ線膜厚装置。
JP1041582U 1982-01-28 1982-01-28 Ｘ線膜厚装置 Pending JPS58112906U (ja)

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JP1041582U JPS58112906U (ja) 1982-01-28 1982-01-28 Ｘ線膜厚装置

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JPS58112906U true JPS58112906U (ja) 1983-08-02

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ID=30023064

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JP1041582U Pending JPS58112906U (ja) 1982-01-28 1982-01-28 Ｘ線膜厚装置

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