JPS6349684Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6349684Y2 JPS6349684Y2 JP1981198029U JP19802981U JPS6349684Y2 JP S6349684 Y2 JPS6349684 Y2 JP S6349684Y2 JP 1981198029 U JP1981198029 U JP 1981198029U JP 19802981 U JP19802981 U JP 19802981U JP S6349684 Y2 JPS6349684 Y2 JP S6349684Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- collimator
- jig
- fluorescent
- ray
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は蛍光Ｘ線膜厚計に於る測定点検出用
治具体に関し、特に、コリメータから照射される
Ｘ線が照射される位置を容易に正確に行なうため
の新規な改良に関するものである。
治具体に関し、特に、コリメータから照射される
Ｘ線が照射される位置を容易に正確に行なうため
の新規な改良に関するものである。
従来、用いられていた測定点検出装置において
は蛍光板にマークを設け、Ｘ線を照射した状態で
蛍光板の発光点を目視で測定していたが、精度が
とれないと同時に照射部と非照射部との境界が鮮
明でなかつたために、顕微鏡に印された十字目盛
とＸ線軸とを一致させることは困難であつた。
は蛍光板にマークを設け、Ｘ線を照射した状態で
蛍光板の発光点を目視で測定していたが、精度が
とれないと同時に照射部と非照射部との境界が鮮
明でなかつたために、顕微鏡に印された十字目盛
とＸ線軸とを一致させることは困難であつた。
この考案は以上のような欠点をすみやかに除去
するための極めて効果的な手段を提供することを
目的とするもので、測定に際し、XY試料台の上
に載置して使用するＶ字型凹部を有する治具体で
あつて、このＶ字型凹部に先細状のコリメータの
先端部を嵌合させ、コリメータから照射されるＸ
線の照射位置を検出するようにしたものである。
するための極めて効果的な手段を提供することを
目的とするもので、測定に際し、XY試料台の上
に載置して使用するＶ字型凹部を有する治具体で
あつて、このＶ字型凹部に先細状のコリメータの
先端部を嵌合させ、コリメータから照射されるＸ
線の照射位置を検出するようにしたものである。
以下、図面と共にこの考案による蛍光Ｘ線膜厚
計に於ける測定点検出用治具体の好適な実施例に
ついて詳細に説明する。
計に於ける測定点検出用治具体の好適な実施例に
ついて詳細に説明する。
第１図および第２図はこの考案が対象とする蛍
光Ｘ線膜厚計で符号１で示されるものはＸ線源で
あり、このＸ線源１からのＸ線はシヤツタに設け
られたコリメータ３を経てXY試料台４上の試料
５に照射されている。
光Ｘ線膜厚計で符号１で示されるものはＸ線源で
あり、このＸ線源１からのＸ線はシヤツタに設け
られたコリメータ３を経てXY試料台４上の試料
５に照射されている。
このXY試料台４は図面には示されていないが
XY駆動機構によりＸおよびＹ方向に移動可能に
設けられており、このXY駆動機構を作動させて
XY試料台４を移動させ、試料５の任意の部分に
Ｘ線を照射することができる。
XY駆動機構によりＸおよびＹ方向に移動可能に
設けられており、このXY駆動機構を作動させて
XY試料台４を移動させ、試料５の任意の部分に
Ｘ線を照射することができる。
前記シヤツター２の一端には前述したようにコ
リメータ３が一体に設けられていると共に、その
他端にはミラー６が設けられ、側部に配設された
顕微鏡７から見るとミラー６で反射された試料５
の面を見ることができる。又、試料５からの蛍光
Ｘ線は検出器７ａで検出するものである。
リメータ３が一体に設けられていると共に、その
他端にはミラー６が設けられ、側部に配設された
顕微鏡７から見るとミラー６で反射された試料５
の面を見ることができる。又、試料５からの蛍光
Ｘ線は検出器７ａで検出するものである。
まず、測定に先立つて、XYテーブル上にこの
考案のＶ字型凹部８を有する治具体９を載置し、
このＶ字型凹部８内に先細状のコリメータ３の先
端部３ａが嵌め込まれるようにXYテーブルを移
動し、治具体がコリメータのほぼ真下に来たとき
XYテーブルを上昇させる。この操作により、上
記治具体は、コリメータの先端部と治具体凹部の
テーパとでガイドされ、治具体の凹部中心とコリ
メータ中心が完全に一致するように動かされる。
この段階を示したのが第３図である。第３図から
明らかなようにXYテーブル４上にはＶ字型凹部
８を有する治具体９が載置されて、おり、このＶ
字型凹部８内には先細状のコリメータ３の先端部
３ａが嵌めこまれている。この治具体９の下部に
はＶ字型凹部８に連続して貫通孔１０が形成され
ており、コリメータ３に形成された案内孔１１と
前記貫通孔１０とは同一軸線上に位置するもので
ある。
考案のＶ字型凹部８を有する治具体９を載置し、
このＶ字型凹部８内に先細状のコリメータ３の先
端部３ａが嵌め込まれるようにXYテーブルを移
動し、治具体がコリメータのほぼ真下に来たとき
XYテーブルを上昇させる。この操作により、上
記治具体は、コリメータの先端部と治具体凹部の
テーパとでガイドされ、治具体の凹部中心とコリ
メータ中心が完全に一致するように動かされる。
この段階を示したのが第３図である。第３図から
明らかなようにXYテーブル４上にはＶ字型凹部
８を有する治具体９が載置されて、おり、このＶ
字型凹部８内には先細状のコリメータ３の先端部
３ａが嵌めこまれている。この治具体９の下部に
はＶ字型凹部８に連続して貫通孔１０が形成され
ており、コリメータ３に形成された案内孔１１と
前記貫通孔１０とは同一軸線上に位置するもので
ある。
このように治具体９のＶ字型凹部８にコリメー
タ３の先端部３ａが完全に嵌まり込むようにすれ
ば、コリメータ３の案内孔１１と治具体９の貫通
孔１０との軸線が一致し、コリメータ３から照射
されるＸ線の軸線が正確にとらえられる。ここ
で、XYテーブルを下げシヤツタを切り替えれ
ば、ミラーが治具体の真下に来るので、ミラーを
介して顕微鏡により治具体の中心孔を観察するこ
とができる。
タ３の先端部３ａが完全に嵌まり込むようにすれ
ば、コリメータ３の案内孔１１と治具体９の貫通
孔１０との軸線が一致し、コリメータ３から照射
されるＸ線の軸線が正確にとらえられる。ここ
で、XYテーブルを下げシヤツタを切り替えれ
ば、ミラーが治具体の真下に来るので、ミラーを
介して顕微鏡により治具体の中心孔を観察するこ
とができる。
そこで、顕微鏡の十字線が治具体の孔のセンタ
ーに一致するように移動させてクランプする。そ
の後、治具体を取り除き、この十字線に試料を合
わせれば、試料上にＸ線軸と観察用光軸とが完全
に一致することになる。
ーに一致するように移動させてクランプする。そ
の後、治具体を取り除き、この十字線に試料を合
わせれば、試料上にＸ線軸と観察用光軸とが完全
に一致することになる。
この考案は、上述の治具体を用いることによ
り、Ｘ線軸と観察用光軸とを正確にしかも迅速に
一致することができるものである。
り、Ｘ線軸と観察用光軸とを正確にしかも迅速に
一致することができるものである。
第１図はこの考案に適用される蛍光Ｘ線膜厚計
の概略構成図、第２図は第１図の１部を示す側面
図、第３図は本考案の実施の状況を説明するため
の拡大断面図である。 １……Ｘ線源、２……シヤツタ、３……コリメ
ータ、４……XY試料台、５……試料、６……ミ
ラー、７……顕微鏡、７ａ……検出器、８……Ｖ
字型凹部、９……治具体、１０……貫通孔、１１
……案内孔。
の概略構成図、第２図は第１図の１部を示す側面
図、第３図は本考案の実施の状況を説明するため
の拡大断面図である。 １……Ｘ線源、２……シヤツタ、３……コリメ
ータ、４……XY試料台、５……試料、６……ミ
ラー、７……顕微鏡、７ａ……検出器、８……Ｖ
字型凹部、９……治具体、１０……貫通孔、１１
……案内孔。
Claims (1)
- 先細状のコリメ−タとミラ−とを備えたシヤツ
タ機構をもつ蛍光Ｘ線膜厚計の測定点検出に用い
る治具体であつて、上記治具体の上部はＶ字型凹
部を有し、先細状をなすコリメータの先端部と嵌
合し得る形状をなしており、かつ、上記凹部中心
から底部に到る貫通孔を備えていることを特徴と
する蛍光Ｘ線膜厚計に於ける治具体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19802981U JPS5897507U (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | 螢光ｘ線膜厚計に於ける治具体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19802981U JPS5897507U (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | 螢光ｘ線膜厚計に於ける治具体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5897507U JPS5897507U (ja) | 1983-07-02 |
| JPS6349684Y2 true JPS6349684Y2 (ja) | 1988-12-21 |
Family
ID=30111229
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19802981U Granted JPS5897507U (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | 螢光ｘ線膜厚計に於ける治具体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5897507U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6124883U (ja) * | 1984-07-20 | 1986-02-14 | 日立マクセル株式会社 | デイスクカ−トリツジ |
-
1981
- 1981-12-24 JP JP19802981U patent/JPS5897507U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6124883U (ja) * | 1984-07-20 | 1986-02-14 | 日立マクセル株式会社 | デイスクカ−トリツジ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5897507U (ja) | 1983-07-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6301007B1 (en) | Machine tool locator | |
| BRPI0711890A2 (pt) | método para determinação do ángulo de divergência entre uma imagem primária e uma imagem secundária gerada por uma vidraça, programa de computador, e método para determinação de um ángulo de divergência entre uma imagem primária e uma imagem secundária gerada por uma vidraça | |
| JPH0581700U (ja) | 蛍光ｘ線膜厚測定装置 | |
| JPS6349684Y2 (ja) | ||
| JPS6113130A (ja) | 光フアイバ集合体の検査装置 | |
| JPH09178404A (ja) | ネジ深さ測定具 | |
| CN115112109A (zh) | 一种船舶分段结构件垂直度检测装置及检测方法 | |
| EP0390478A1 (en) | X-ray apparatus for measuring film thickness | |
| CN113369681A (zh) | 一种激光焊接焦距的检测装置 | |
| JPS6352329B2 (ja) | ||
| JPH0125283Y2 (ja) | ||
| JPH03181848A (ja) | 半導体材料評価装置 | |
| DE4134689C1 (en) | Optically measuring contour of toroidal opaque object - registering shadows cast by light source using line or matrix camera taking into account distance from object and imaging scale | |
| JP2569718Y2 (ja) | レンズメータの被検レンズ光学中心位置表示装置 | |
| JPS628038A (ja) | 粒子解析装置 | |
| JPS6315546B2 (ja) | ||
| JP3787028B2 (ja) | 変位測定装置 | |
| SU1379617A1 (ru) | Способ контрол чистоты поверхности | |
| JPH0399237A (ja) | 蛍光体付き光検知器 | |
| JPH0733147Y2 (ja) | レンズ焦点位置測定具 | |
| WO2000000814A1 (en) | Contact angle measuring apparatus | |
| JPS5810638A (ja) | 鋼管内面検査装置 | |
| JPS6078309A (ja) | 螢光ｘ線膜厚計 | |
| JPH0741411U (ja) | スコアー部の残厚測定装置 | |
| JPH09273921A (ja) | 小径孔の内面検査装置 |