JPH0581700U - 蛍光ｘ線膜厚測定装置 - Google Patents

蛍光ｘ線膜厚測定装置

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JPH0581700U
JPH0581700U JP021183U JP2118392U JPH0581700U JP H0581700 U JPH0581700 U JP H0581700U JP 021183 U JP021183 U JP 021183U JP 2118392 U JP2118392 U JP 2118392U JP H0581700 U JPH0581700 U JP H0581700U
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JP
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collimator
ray
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film thickness
sample
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Application number
JP021183U
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English (en)
Inventor
正則 高橋
Original Assignee
セイコー電子工業株式会社
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
    • G21K1/02—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators
    • G21K1/04—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators using variable diaphragms, shutters, choppers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
    • G01B15/02—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness

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  • Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 細長い形状に一次Ｘ線を照射するためのコリ
メータを細長い測定部位に一致させることを目的とす
る。 【構成】 一次Ｘ線ビームを細長い形に絞るためのコリ
メータと、そのコリメータを一次Ｘ線ビーム軸を中心に
回転、停止させる機能をもたせ、そしてコリメータの回
転角から一次Ｘ線照射位置を重畳させて、試料表面を観
察する表示装置より構成する。 【効果】 コリメータの開口形状が試料表面を観察する
表示装置に重畳されて表示されるため細長い測定部位に
容易に一次Ｘ線照射することができる。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この考案は蛍光Ｘ線を利用した膜厚測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
蛍光Ｘ線を利用して、微小部分の膜厚を測定する場合、励起のための一次Ｘ線 を測定対象の微小部分に照射する手段としてコリメータが使用されている。コリ メータは対象の大きさによって、何種類かの中から適当なものが選択される。コ リメータは通常、円形か正方形である。しかし、コリメータの開口面積が小さい と充分なＸ線強度が得られないため、細長い測定部位の場合には、より多くのＸ 線強度を得る目的で、長方形のコリメータを用いていた。
【０００３】 長方形のコリメータを用いる場合、細長い測定部位の長手方向とコリメータの 長手方向を完全に一致させるように試料を置き測定していた。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】
しかし、従来技術によると長方形のコリメータによってより多くのＸ線強度は 得られるが、実際の測定においては、測定部位の長手方向とコリメータの長手方 向を完全に一致させるように試料を置く必要のあること、一試料中に長手方向の 向きがそれぞれ異なる測定部位がある場合には一回一回試料をその測定部位の長 手方向をコリメータの長手方向に一致させるように回転させる必要があること等 、作業性が非常に悪いという課題があった。
【０００５】 そこでこの考案の目的は、従来のこのような作業性の悪さを解決するため、長 手方向がどのような方向を向いている測定部位に対しても簡単に位置決めができ る蛍光Ｘ線膜厚測定装置を得ることである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】 上記課題を解決するために、この考案は長方形の一次Ｘ線コリメータをその中 心点のまわりに１８０°の角度の任意な位置に自由に回転、停止することができ 、その向いている方向が試料観察装置で確認できるようにした、蛍光Ｘ線膜厚測 定装置を得ることである。
【０００７】
【作用】
上記のように構成された蛍光Ｘ線膜厚測定装置においては、その中心点のまわ りに１８０°の角度の任意な位置に止めることができるような長方形のコリメー タを設ける。さらにそのコリメータが向いている方向を試料観察装置で確認する ことにより、試料上で任意の方向を向いている細長い測定部位に対して容易に位 置合わせすることが可能となる。
【０００８】
【実施例】
以下に、この考案の実施例を図に基づいて説明する。 図１において、Ｘ線管１により発生した一次Ｘ線ａは長方形の開口を持つコリ メータ２によりビーム状に絞られ、試料観察のための鏡３を透過してＸ−Ｙ自動 試料台４に載せられた試料５に照射される。前記試料から発生した蛍光Ｘ線ｂは Ｘ線検出器６で検出され、後に続く図示しない信号処理系で処理され膜厚に変換 される。
【０００９】 一方、試料５の形状は鏡３を通しテレビカメラ７とＣＲＴ８を用いて前記ＣＲ Ｔ８上に表示される。このとき同時にレチクル９の像もハーフミラー１０を通し て試料像と重畳され前記ＣＲＴ８上に表示される。前記レチクル９には、前記コ リメータ２の方向を示す十字線と、前記コリメータ２の形状を示す線が刻されて いる。前記コリメータ２はコリメータ駆動モータ１１によって長方形の中心を中 心とし、長方形の面に垂直な軸のまわりを回転する。同様に前記レチクル９もレ チクル駆動モータ１２によって十字線の交点を中心とし十字線に垂直な軸のまわ りを回転する。
【００１０】 前記コリメータ駆動モータ１１と前記レチクル駆動モータ１２は、モータ制御 器１３によって同じ角度だけまわるように制御される。前記Ｘ−Ｙ自動試料台４ 上での前記一次Ｘ線ａのビームの中心位置と前記ＣＲＴ８に表示される前記レチ クル９の十字線の交点が一致するように、前記鏡３、レチクル９、ハーフミラー １０、テレビカメラ７よりなる光学系を調整し、さらに前記コリメータ２によっ て長方形に絞られた前記一次Ｘ線ａのビームの試料台上での長手方向の向きとそ の時、前記ＣＲＴ８上に表示される十字線の向きを一致させるように前記レチク ル９の角度と前記コリメータ２の角度を調整する。このように構成、調整された 蛍光Ｘ線膜厚測定装置で細長い測定部位の膜厚を測定しようとする場合、前記試 料５を載せた前記Ｘ−Ｙ自動試料台４を動かして測定したい部位をまず十字線の 交点に持ってくる。
【００１１】 次に前記コリメータ２を回転させ前記ＣＲＴ８上に表示された前記レチクル９ のコリメータ形状像あるいは十字線と測定部位の方向を一致させた後、膜厚測定 を開始すれば良い。 図２は図１と同様な実施例であるが、図２の場合は十字線とコリメータ形状像 を、前記図１のレチクル９、ハーフミラー１０、レチクル駆動モータ１２の代わ りに、電子的に発生させる十字線発生器１４を用いて前記ＣＲＴ８上に表示する ようにしたものである。
【００１２】
【考案の効果】
この考案は、以上説明したように長方形のコリメータを一次Ｘ線ビームの軸の まわりに回転させ任意の位置に停止できるようにし、さらにその長方形の長手方 向の向きを試料観察装置により確認できるような構成としたため、任意な方向を 向いた細長い測定部位の位置、方向合わせを容易にする効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案の実施例の斜視図を示す。
【図２】本考案の他の実施例の斜視図を示す。
【符号の説明】
１ Ｘ線管 ２ コリメータ ３ 鏡 ４ Ｘ−Ｙ自動試料台 ５ 試料 ６ Ｘ線検出器 ７ テレビカメラ ８ ＣＲＴ ９ レチクル １０ ハーフミラー １１ コリメータ駆動モータ １２ レチクル駆動モータ １３ モータ制御器 １４ 十字線発生器 ａ 一次Ｘ線 ｂ 蛍光Ｘ線

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 試料観察装置を備えた蛍光Ｘ線膜厚測定
    装置において、一次Ｘ線ビームを長方形に絞るためのコ
    リメータと、該コリメータを一次Ｘ線ビーム軸のまわり
    に回転、停止させる機能と該コリメータの回転角と該一
    次Ｘ線照射位置を試料観察と重畳させて観察あるいは表
    示する機能を有することを特徴とする蛍光Ｘ線膜厚測定
    装置。
JP021183U 1992-04-07 1992-04-07 蛍光ｘ線膜厚測定装置 Pending JPH0581700U (ja)

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JP021183U JPH0581700U (ja) 1992-04-07 1992-04-07 蛍光ｘ線膜厚測定装置
US08/044,363 US5299252A (en) 1992-04-07 1993-04-07 Fluorescent X-ray film thickness measuring apparatus

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JP021183U JPH0581700U (ja) 1992-04-07 1992-04-07 蛍光ｘ線膜厚測定装置

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JPH0581700U true JPH0581700U (ja) 1993-11-05

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