JP2000088773A - Ｘ線撮像による画像寸法計測装置 - Google Patents
Ｘ線撮像による画像寸法計測装置Info
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- JP2000088773A JP2000088773A JP10258789A JP25878998A JP2000088773A JP 2000088773 A JP2000088773 A JP 2000088773A JP 10258789 A JP10258789 A JP 10258789A JP 25878998 A JP25878998 A JP 25878998A JP 2000088773 A JP2000088773 A JP 2000088773A
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被破壊検査を目的に利用されるＸ線検査装置
では、撮像された試料の欠陥等の寸法を計測することが
求められていたが、一般のＸ線透過画像では前途の理由
からこれを正確に求めることが出来なかった。本発明で
は、Ｘ線断層画像の撮像技術を応用することで、Ｘ線画
像による測長機能を実現する。 【解決手段】 Ｘ線を発生するためのＸ線発生部と、Ｘ
線透視画像を撮像するためのイメージインテンシファイ
アとレンズシステム及びテレビカメラシステムからなる
撮像部と、撮像する試料の位置及び撮像拡大倍率を変え
るためのマニュピレータを持つＸ線検査装置で、かつＸ
線断層画像を得る手段を持ち、断層撮像面とＸ線発生点
と撮像面の距離関係がマニュピレータの移動により変化
し、その距離関係を移動機構に用意されたエンコーダ，
リニアスケール等の位置読取り機構から得られる情報か
ら求めることが出来る装置において、断層画像に映った
試料の寸法をその画像から計測するＸ線断層画像撮像装
置。
では、撮像された試料の欠陥等の寸法を計測することが
求められていたが、一般のＸ線透過画像では前途の理由
からこれを正確に求めることが出来なかった。本発明で
は、Ｘ線断層画像の撮像技術を応用することで、Ｘ線画
像による測長機能を実現する。 【解決手段】 Ｘ線を発生するためのＸ線発生部と、Ｘ
線透視画像を撮像するためのイメージインテンシファイ
アとレンズシステム及びテレビカメラシステムからなる
撮像部と、撮像する試料の位置及び撮像拡大倍率を変え
るためのマニュピレータを持つＸ線検査装置で、かつＸ
線断層画像を得る手段を持ち、断層撮像面とＸ線発生点
と撮像面の距離関係がマニュピレータの移動により変化
し、その距離関係を移動機構に用意されたエンコーダ，
リニアスケール等の位置読取り機構から得られる情報か
ら求めることが出来る装置において、断層画像に映った
試料の寸法をその画像から計測するＸ線断層画像撮像装
置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は被破壊検査の分野で
定着しているＸ線検査装置に関するものである。
定着しているＸ線検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線の透過画像では、Ｘ線発生点と試
料、Ｘ線発生点と撮像面の距離の比率で試料が拡大され
て撮像されるために、試料に厚さがあると内層物のある
位置により１枚のＸ線透過画像中に映し出された内でも
拡大倍率が異なるため、正確に寸法の計測をすることが
出来ない。特に、Ｘ線焦点寸法１０μｍ以下の幾何学的
にＸ線透視画像の拡大倍率を大きくする事を特徴とする
Ｘ線検査装置では、試料をＸ線発生点に近づけ幾何学的
なＸ線透視画像の拡大倍率を数十倍から１０００倍程度
にまでしており試料の厚さによる１枚のＸ線透過画像中
で拡大率の差が顕著に現れてくる。
料、Ｘ線発生点と撮像面の距離の比率で試料が拡大され
て撮像されるために、試料に厚さがあると内層物のある
位置により１枚のＸ線透過画像中に映し出された内でも
拡大倍率が異なるため、正確に寸法の計測をすることが
出来ない。特に、Ｘ線焦点寸法１０μｍ以下の幾何学的
にＸ線透視画像の拡大倍率を大きくする事を特徴とする
Ｘ線検査装置では、試料をＸ線発生点に近づけ幾何学的
なＸ線透視画像の拡大倍率を数十倍から１０００倍程度
にまでしており試料の厚さによる１枚のＸ線透過画像中
で拡大率の差が顕著に現れてくる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】被破壊検査を目的に利
用されるＸ線検査装置では、撮像された試料の欠陥等の
寸法を計測することが求められていたが、一般のＸ線透
過画像では前途の理由からこれを正確に求めることが出
来なかった。本発明では、Ｘ線断層画像の撮像技術を応
用することで、Ｘ線画像による測長機能を実現するもの
である。
用されるＸ線検査装置では、撮像された試料の欠陥等の
寸法を計測することが求められていたが、一般のＸ線透
過画像では前途の理由からこれを正確に求めることが出
来なかった。本発明では、Ｘ線断層画像の撮像技術を応
用することで、Ｘ線画像による測長機能を実現するもの
である。
【０００４】本発明の原理について説明すると、Ｘ線断
層撮像装置による断層撮像面とＸ線発生点と撮像面の距
離関係を試料テーブル機構またはＸ線発生装置（Ｘ線
管）または撮像装置の移動機構に用意されたエンコー
ダ，リニアスケール等の位置読取り機構から得られる情
報により判別し、この情報から装置の幾何学拡大倍率
を、また予め求められた撮像系による拡大率を合わせ
て、撮像画像の画素寸法を求める事により、Ｘ線による
試料内部の撮像画像で画像計測を行い、試料内の任意の
部位の寸法を求める事が出来る。この原理を図２に示
す。また、試料を画像に対して水平方向に移動させた２
枚のＸ線による試料内部の撮像画像の２点間の距離を求
める事が可能となる。
層撮像装置による断層撮像面とＸ線発生点と撮像面の距
離関係を試料テーブル機構またはＸ線発生装置（Ｘ線
管）または撮像装置の移動機構に用意されたエンコー
ダ，リニアスケール等の位置読取り機構から得られる情
報により判別し、この情報から装置の幾何学拡大倍率
を、また予め求められた撮像系による拡大率を合わせ
て、撮像画像の画素寸法を求める事により、Ｘ線による
試料内部の撮像画像で画像計測を行い、試料内の任意の
部位の寸法を求める事が出来る。この原理を図２に示
す。また、試料を画像に対して水平方向に移動させた２
枚のＸ線による試料内部の撮像画像の２点間の距離を求
める事が可能となる。
【０００５】図２に示すように、Ｘ線透視画像による拡
大は幾何学的なものでＸ線の発生点と透視画像の撮像面
との距離ＦＦＤと、発生点と試料との距離ＦＯＤの比に
よって決まるものである。
大は幾何学的なものでＸ線の発生点と透視画像の撮像面
との距離ＦＦＤと、発生点と試料との距離ＦＯＤの比に
よって決まるものである。
【０００６】幾何学的倍率はＦＦＤ／ＦＯＤである。
【０００７】
【実施例】以下この発明の一実施例を図１より説明す
る。図１は、ラミノグラフィ方式によるＸ線断層画像撮
像装置の概略の構成をモデル化して示したもので、１は
Ｘ線を発生させるためのＸ線管であり、２にＸ線が発生
するＸ線発生点を、３にＸ線が円錐状に照射されること
を模擬的に示す。また、４には撮像面中心位置とＸ線発
生点を結ぶＸ線の光軸を示す。５は試料テーブルであ
り、回転機構と、幾何学拡大を行うためのＸ線の光軸４
に沿った移動機構、断層面を変える為の回転面に垂直方
向の移動機構及び試料の撮像位置を変えるための回転面
に平行方向の移動機構を持ち、６は、回転機構の回転中
心線を示す。７は撮像装置であり、８が撮像面、９がＸ
線蛍光物質であり、Ｘ線のエネルギーの強弱を可視光に
変換する機能を有する。１０が像回転プリズムで、１１
が蓄積カメラであり試料テーブルの回転機構とこの画像
回転プリズム、蓄積カメラの作用によりＸ線断層画像を
得ることが出来る。１２が断層面であり、Ｘ線の光軸４
と試料テーブルの回転軸の交点を含む回転面に平行な平
面を言い、この試料面が断層画像として１３のテレビモ
ニタに表示される。１４が各移動軸に設けられた座標検
出用のエンコーダユニットであり、各軸の座標を１３が
示す制御ユニットで正確に把握することが出来る。断層
面１２は、Ｘ線の光軸４上に存在し、この断層面１２上
では、Ｘ線の撮像による幾何学拡大倍率が等しいことか
ら、断層面１２のＸ線の光軸上での座標が求められるこ
とにより、予め設計された撮像系の倍率とあわせて画素
サイズが分かり、断層画像内での任意の２点間の距離、
任意の部位の面積等、大きさを算出可能としている。
る。図１は、ラミノグラフィ方式によるＸ線断層画像撮
像装置の概略の構成をモデル化して示したもので、１は
Ｘ線を発生させるためのＸ線管であり、２にＸ線が発生
するＸ線発生点を、３にＸ線が円錐状に照射されること
を模擬的に示す。また、４には撮像面中心位置とＸ線発
生点を結ぶＸ線の光軸を示す。５は試料テーブルであ
り、回転機構と、幾何学拡大を行うためのＸ線の光軸４
に沿った移動機構、断層面を変える為の回転面に垂直方
向の移動機構及び試料の撮像位置を変えるための回転面
に平行方向の移動機構を持ち、６は、回転機構の回転中
心線を示す。７は撮像装置であり、８が撮像面、９がＸ
線蛍光物質であり、Ｘ線のエネルギーの強弱を可視光に
変換する機能を有する。１０が像回転プリズムで、１１
が蓄積カメラであり試料テーブルの回転機構とこの画像
回転プリズム、蓄積カメラの作用によりＸ線断層画像を
得ることが出来る。１２が断層面であり、Ｘ線の光軸４
と試料テーブルの回転軸の交点を含む回転面に平行な平
面を言い、この試料面が断層画像として１３のテレビモ
ニタに表示される。１４が各移動軸に設けられた座標検
出用のエンコーダユニットであり、各軸の座標を１３が
示す制御ユニットで正確に把握することが出来る。断層
面１２は、Ｘ線の光軸４上に存在し、この断層面１２上
では、Ｘ線の撮像による幾何学拡大倍率が等しいことか
ら、断層面１２のＸ線の光軸上での座標が求められるこ
とにより、予め設計された撮像系の倍率とあわせて画素
サイズが分かり、断層画像内での任意の２点間の距離、
任意の部位の面積等、大きさを算出可能としている。
【０００８】
【発明の効果】本発明により、Ｘ線断層画像の撮像技術
を応用することで、Ｘ線画像による測長機能を実現し、
非常に有効な測定器を提供することができる。
を応用することで、Ｘ線画像による測長機能を実現し、
非常に有効な測定器を提供することができる。
【図１】本発明の実施例を説明する検査装置の概略構成
のモデル図。
のモデル図。
【図２】本発明が、対象とするＸ線検査装置の概略構成
とＸ線による幾何学拡大撮像の仕組みを示す説明図。
とＸ線による幾何学拡大撮像の仕組みを示す説明図。
１：電子ビーム、２：ターゲット、３：Ｘ線照射窓、
４：試料、：イメージインテンシファイア、６：テレビ
カメラ、７：Ｘ線防護キャビン、８：散乱Ｘ線、９：透
過Ｘ線、１０：Ｘ線、１１：フード機構。
４：試料、：イメージインテンシファイア、６：テレビ
カメラ、７：Ｘ線防護キャビン、８：散乱Ｘ線、９：透
過Ｘ線、１０：Ｘ線、１１：フード機構。
Claims (4)
- 【請求項１】 Ｘ線を発生するためのＸ線発生部と、Ｘ
線透視画像を撮像するためのイメージインテンシファイ
アとレンズシステム及びテレビカメラシステムからなる
撮像部と、撮像する試料の位置及び撮像拡大倍率を変え
るためのマニュピレータを持つＸ線検査装置で、かつＸ
線断層画像を得る手段を持ち、断層撮像面とＸ線発生点
と撮像面の距離関係がマニュピレータの移動により変化
し、その距離関係を移動機構に用意されたエンコーダ，
リニアスケール等の位置読取り機構から得られる情報か
ら求めることが出来る装置において、断層画像に映った
試料の寸法をその画像から計測するＸ線断層画像撮像装
置。 - 【請求項２】 請求項１項記載のＸ線発生部がＸ線焦点
寸法１０μｍ以下のＸ線源で有り、幾何学的にＸ線透視
画像の拡大倍率を大きくする事を特徴とするＸ線断層画
像撮像装置。 - 【請求項３】 請求項１項及び２項記載のＸ線断層画像
を得る手段としてラミノグラフィ方式を採用したＸ線断
層画像撮像装置。 - 【請求項４】 請求項３項記載のＸ線断層画像を得る手
段として、断層画像を得るために、試料テーブルの回転
機構とこれと同期してＸ線像を回転するための機構を持
ち、蓄積型カメラまたは、画像のフレーム積分機能を有
したラミノグラフィ方式を採用したＸ線断層画像撮像装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10258789A JP2000088773A (ja) | 1998-09-11 | 1998-09-11 | Ｘ線撮像による画像寸法計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10258789A JP2000088773A (ja) | 1998-09-11 | 1998-09-11 | Ｘ線撮像による画像寸法計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000088773A true JP2000088773A (ja) | 2000-03-31 |
Family
ID=17325104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10258789A Pending JP2000088773A (ja) | 1998-09-11 | 1998-09-11 | Ｘ線撮像による画像寸法計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000088773A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006292462A (ja) * | 2005-04-07 | 2006-10-26 | Shimadzu Corp | コンピュータ断層撮影装置 |
| US9500670B2 (en) | 2012-12-12 | 2016-11-22 | Universitat Basel | Method and device for controlling a scanning probe microscope |
-
1998
- 1998-09-11 JP JP10258789A patent/JP2000088773A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006292462A (ja) * | 2005-04-07 | 2006-10-26 | Shimadzu Corp | コンピュータ断層撮影装置 |
| US9500670B2 (en) | 2012-12-12 | 2016-11-22 | Universitat Basel | Method and device for controlling a scanning probe microscope |
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