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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Ansteuerung eines Messstativs zur Messung der Dicke dünner Schichten.
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Aus der
DE 10 2005 034 515 A1 ist ein Messstativ zur Aufnahme einer Messsonde bekannt geworden, welche zur Messung der Dicke dünner Schichten vorgesehen ist. Dieses Messstativ umfasst ein Gehäuse, in welchem ein Stößel auf und ab bewegbar geführt ist. An dessen zum Messobjekt weisenden Ende ist eine Aufnahme zur Anbringung der Messsonde vorgesehen. Die Auf- und Abbewegung des Stößels erfolgt über eine Antriebseinrichtung, welche von einem elektrischen Motor angesteuert wird. Die jeweiligen oberen und unteren Endpunkte der Auf- und Abbewegung des Stößels werden durch Detektoren erfasst. Die Auf- und Abbewegung wird durch eine Antriebseinrichtung erzeugt, welche eine Kurvenscheibe umfasst, die einen Schwenkhebel auf und ab bewegt. Hierzu ist eine Laufrolle an dem Schwenkhebel vorgesehen, der auf der Kurvenscheibe abrollt. Die Kurvenscheibe ist dabei derart ausgelegt, dass die Abwärtsbewegung der Messsonde von einer Ausgangsposition in eine Messposition zunächst im Eilgang und anschließend im Kriechgang erfolgt. Dieses Messstativ weist eine hohe Wiederholgenauigkeit auf und ist im Einsatz robust. Zur Durchführung einer Messung ist erforderlich, die Messsonde in der Höhe zur Messoberfläche des Messgegenstandes in Abhängigkeit des Arbeitshubes relativ genau vorzupositionieren, damit die Messsonde zumindest im Kriechgang auf die Messoberfläche aufsetzt. Steigende Anforderungen an die Flexibilität zur Durchführung der Messung und zur Reduzierung der Rüstzeiten erfordern eine Weiterentwicklung eines solchen sich in der Praxis bewährten Messstativs.
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Aus der
DE 100 13 048 A1 ist ein Verfahren zur Einstellung einer Lage eines Messgegenstandes bei einer Schichtdickenmessung mit Röntgenfluoreszenz bekannt.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Ansteuerung eines Messstativs mit einer Verfahrbewegung von zumindest einer Messsonde, insbesondere zur Messung der Dicke dünner Schichten, vorzuschlagen, bei welchem ein Aufsetzen der Messsonde auf der Messoberfläche zur Erzielung exakter Messwerte sowie eine hohe Wiederholgenauigkeit ermöglicht ist.
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Die Aufgabe wird durch ein Verfahren gelöst, bei dem in einer Bewegungsphase, während der die Verfahrgeschwindigkeit der Messsonde zum Messgegenstand in Abhängigkeit der Signaländerung der Messsonde verringert wird, nach einem Erreichen eines Referenzsignals, welches die Messposition der Messsonde für die berührungslose Messung bestimmt, die Messsonde stillgesetzt wird. Diese Ausgestaltung ermöglicht, dass die Messsonde einen definierten, insbesondere vorbestimmten, Abstand zur Messoberfläche des Messgegenstandes einnimmt, so dass im Anschluss daran eine berührungslose Schichtdickenmessung ermöglicht ist. Durch die Verbindung der Messsonde mit der Steuer- und Regeleinrichtung kann durch die Hinterlegung des Referenzsignals eine Voreinstellung getroffen werden, welche ermöglicht, dass unabhängig von der Höhe der Messoberfläche die Messsonde immer den selben vorbestimmten Abstand zur Messoberfläche des Messgegenstandes oder Trägermaterial des Messgegenstandes einnimmt und die Messsonde schwebend zum Messgegenstand angeordnet wird.
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Als Referenzsignal der Messsonde wird bevorzugt eine Referenzspannung voreingestellt, welche bei der bevorstehenden Messaufgabe in Abhängigkeit der Annäherungskennlinie der Messsonde einen vordefinierten Abstand bestimmt. Sofern beim Annähern der Messsonde an den Sollabstand ein Überfahren der exakten Sollposition erfolgen sollte, erfolgt eine Regelung des Verfahrweges der Messsonde, bis der vorbestimmte Abstand beziehungsweise das vordefinierte Referenzsignal, insbesondere die Referenzspannung, erfasst und somit der vorbestimmte Abstand eingenommen ist. Der vorbestimmte Abstand der Messsonde zum Messgegenstand ist bevorzugt bei der Messung der Dicke dünner Schichten dahingehend zu verstehen, dass ein Abstand zwischen der Messsonde und einer Oberfläche des Grundwerkstoffes beziehungsweise des Trägermaterials des beschichteten Messgegenstandes erfasst wird.
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Nach einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist die Messsonde in der Messposition berührungsfrei zur Messoberfläche des Messgegenstandes angeordnet. Ein bahnförmiger Messgegenstand wird kontinuierlich oder diskontinuierlich unter der Messsonde hindurchgeführt sowie eine Abstandsregelung der Messsonde zum Messgegenstand über das Referenzsignal der Messsonde in Abhängigkeit des durch die Messsonde erfassten Messsignals durchgeführt. Dies ermöglicht, dass Lacke oder pastöse Beschichtungen auf bahnförmigen Materialien erfasst werden können. Vorzugsweise kann durch einen Vergleich des erfassten Signals der Messsonde mit dem Referenzsignal eine Nachregelung der Messsonde ermöglicht werden, so dass die die Messsonde aufnehmende Aufnahme, welche auch den Abstandserfassungssensor oder weitere Sensoren/Sonden aufnimmt, in einem konstanten Abstand zum hindurchgeführten Messgegenstand gehalten und positioniert wird. Damit kann eine kontinuierliche Schichtdickenmessung einer auf dem bahnförmigen Material aufgetragenen Beschichtung ermöglicht werden. Prinzipiell ist es auch möglich, dass die Abstandsregelung über den Abstandserfassungssensor erfolgt.
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Nach einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung des Verfahrens ist vorgesehen, dass vor der ersten Messung, insbesondere der Schichtdickenmessung, ein Abstandserfassungssensor bei einer durch das Referenzsignal definierten Messposition der Messsonde zu einer Referenzfläche kalibriert wird. Dadurch ist es nicht erforderlich, dass der Abstandserfassungssensor in einer exakt definierten Position zur Messsonde an der Aufnahme vorgesehen ist. Vielmehr wird durch diese Kalibrierung diese verhältnismäßige Position des Abstandserfassungssensors zur Messsonde erfasst und bei der Ermittlung der Schichtdicke berücksichtigt werden. Dies ermöglicht, dass die Messsonde einen definierten Abstand zum Grundwerkstoff des Messgegenstandes erfasst, wohingegen der Abstandserfassungssensor einen Abstand zur Messoberfläche des Messgegenstandes ermittelt, so dass aus dieser Differenz die Schichtdicke ermittelt wird. Da die Messsonde jedoch Messsignale von Grundwerkstoffen des beschichteten Gegenstandes erfasst, kann darüber hinaus eine exaktere Positionierung der Messsonde in der Messposition erfolgen. Dieses Verfahren weist den Vorteil auf, dass nicht nur feste Beschichtungen auf einem Grundwerkstoff, sondern auch pastöse Beschichtungen, erfasst werden können.
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Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung des Verfahrens sieht vor, dass der Messsonde eine weitere, Strahlung aussendende Sonde zugeordnet wird, welche vorzugsweise zur Durchführung des Beta-Rückstreu-Verfahrens vorgesehen ist oder nach der Röntgenfluoreszenz-Methode betrieben wird. Bei der Kombination der Messsonde und der nach dem Beta-Rückstreu-Verfahren arbeitenden weiteren Sonde ist vorgesehen, dass die Messsonde dafür sorgt, dass die benachbart zur Messsonde angeordnete weitere Strahlung aussendende Sonde in einem konstanten Abstand zur Messoberfläche beziehungsweise zum Grundwerkstoff des Messgegenstandes gehalten wird. Durch das Beta-Rückstreu-Verfahren wird die Energie der Rückstrahlung erfasst. Durch einen Vergleich der ausgesendeten Strahlung und der Rückstrahlung kann das Flächengewicht der Beschichtung ermittelt und daraus die Dicke abgeleitet werden, da das Flächengewicht sich nach der Dicke der Beschichtung und dessen spezifischen Gewichtes bestimmt. Dabei ist bevorzugt die Beta-Strahlung derart zu wählen, dass die Beschichtung durchdrungen wird, die Beta-Strahlung zumindest teilweise in den Grundwerkstoff eindringt und an einer knapp unterhalb der Oberfläche des Grundwerkstoffes quasi ausgebildeten effektiv rückstreuenden Fläche reflektiert wird. Analoges gilt für eine Sonde zur Durchführung der Röntgenfluoreszenzmethode in Kombination mit der Messsonde.
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Die Erfindung sowie weitere vorteilhafte Ausführungsformen und Weiterbildungen derselben werden im Folgenden anhand der in den Zeichnungen dargestellten Beispiele näher beschrieben und erläutert. Die der Beschreibung und den Zeichnungen zu entnehmenden Merkmale können einzeln für sich oder zu mehreren in beliebiger Kombination erfindungsgemäß angewandt werden. Es zeigen:
- 1 eine perspektivische Darstellung eines Messstativs,
- 2 eine schematische Seitenansicht auf ein Gehäuse des Messstativs gemäß 1 mit einer Messsonde in einer Ausgangsposition,
- 3 eine perspektivische Ansicht auf eine Stirnseite des Gehäuses des Messstativs gemäß 1,
- 4 eine schematische Seitenansicht auf das Gehäuse des Messstativs mit einer Messsonde in einer Messposition,
- 5 eine schematische Detailansicht einer Schaltvorrichtung des Messstativs gemäß 1,
- 6 eine perspektivische Ansicht auf eine Rückwand des Gehäuses des Messstativs gemäß 1 mit einer daran angeordneten Gewichtsentlastungseinrichtung,
- 7a und b eine perspektivische Ansicht auf eine Aufnahme am Stößel in zwei verschiedenen Winkellagen und
- 8 eine schematische Ansicht einer Messanordnung zur berührungslosen Messung.
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In 1 ist perspektivisch ein Messstativ 11 dargestellt, in 2 eine Seitenansicht. Dieses Messstativ 11 umfasst einen Messtisch 12, auf welchem einzelne Messobjekte oder Messgegen-stände 14 unmittelbar aufgelegt werden können oder von einer Aufnahme 16 gehalten werden. Am Fuß des Messstativs 11 oder am Messtisch 12 ist eine senkrecht stehende Säule 17 vorgesehen, welche mit einer Gewindesäule 18 ein Gehäuse 19 höhenverstellbar aufnimmt. Durch die zwei zueinander benachbart angeordneten Säulen 17, 18 kann eine Parallelführung zur leichten Höhenverstellung gegeben sein. Eine Ausrichtung des Gehäuses 19 wird durch den Einstellmechanismus 20 ermöglicht. Über eine Stellschraube 21 kann die Höhe eingestellt werden. Zusätzlich ist ein Spannmechanismus 22 vorgesehen, um das Gehäuse 19 in der Höhe zum Messtisch 12 zu fixieren.
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Den Säulen 17, 18 gegenüberliegend ist am Gehäuse 19 ein Stößel 23 auf und ab bewegbar aufgenommen. Am unteren Ende des Stößels 23 ist eine Aufnahme 24 zur lösbaren Fixierung von Messsonden 26 oder Sensoren oder dergleichen vorgesehen. Die Aufnahme 24 kann alternativ auch zur Aufnahme von mehreren Messsonden 26 oder Sensoren ausgebildet sein. Die Messsonde 26 ist beispielsweise für die Messung der Dicke dünner Schichten vorgesehen. Diese Messsonde 26 weist ein Sensorelement mit einer Aufsetzkalotte auf, welche auf eine Messoberfläche des Messgegenstandes 14 aufsetzbar ist. Am gegenüberliegenden Ende der Messsonde 26 ist eine Anschlussleitung 27 vorgesehen, welche an einer nicht näher dargestellten separaten Messvorrichtung angeschlossen oder an einem nicht näher dargestellten Anschluss des Messstativs einer Steuer- und Regeleinrichtung an einer Stirnseite des Gehäuses 19 anschließbar ist.
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An einer Oberseite des Gehäuses 19 sind beispielsweise drei Bedienelemente 29, insbesondere Taster, vorgesehen, deren Funktion nachfolgend noch beschrieben wird.
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In 2 ist die Messsonde 26 in einer Ausgangsposition 31 angeordnet. Durch den Stößel 23 kann die Messsonde 26 abgesenkt und in eine Messposition 32 übergeführt werden, die in diesem Ausführungsbeispiel einer Aufsetzposition auf der Messoberfläche des Messgegenstandes 14 entspricht. Der zwischen der Ausgangsposition 31 und Messposition 32 liegende Abstand beziehungsweise Verfahrweg ist kleiner als ein Arbeitsbereich oder Hubweg des Stößels 23. Das Gehäuse 19 wird bevorzugt über die Stellschraube 21 derart zur Messoberfläche des Messgegenstandes 14 vorpositioniert, dass sich die Ausgangsposition 31 und die Messposition 32 innerhalb des Arbeitsbereiches des Stößels 23 befinden.
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In dem Gehäuse 19 ist zur Ansteuerung einer Verfahrbewegung ein elektrischer Motor 34 vorgesehen, der eine Antriebseinrichtung 35 antreibt, welche mit dem Stößel 23 verbunden ist. Die Antriebseinrichtung 35 umfasst ein Antriebselement 36, welches insbesondere als Zahnriemen ausgebildet ist. Dieses Antriebselement 36 ist durch eine obere und untere Umlenkrolle 37, 38 aufgenommen. Diese Umlenkrollen 37, 38 sind bevorzugt als Zahnwalzen ausgebildet und an die Kontur der Zähne des Zahnriemens angepasst. Durch die Auswahl des Zahnriemens und der Zahnwalze ist eine schlupffreie Übertragung der Antriebsbewegung ermöglicht. Die untere Umlenkrolle 37 ist unmittelbar an der Antriebsachse des Motors 34 befestigt. Die obere Umlenkrolle 38 ist an einer Drehachse vorgesehen, die Teil eines Weggebers 39 ist. Dieser Weggeber 39 ist als Rotations-Encoder, insbesondere als programmierbarer Rotations-Encoder, vorgesehen, der in Abhängigkeit der Verfahrbewegung der Messsonde 26 von der Ausgangsposition 31 zur Messposition 32 Impulse erfasst und diese erfassten Impulse an eine Steuer- und Regeleinrichtung weiterleitet.
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An dem Antriebselement 36 ist ein Koppelelement 41 vorgesehen, welches in 3 näher dargestellt ist. Entlang einer Führung 42, welche vorzugsweise zwei parallel zueinander ausgerichtete Führungselemente 43, insbesondere Führungsstangen, umfasst, wird das Koppelelement 41 geführt. Das Koppelelement 41 ist durch eine Klemmbefestigung mit dem Antriebselement 36 verbunden. Das Koppelelement 41 weist in der Draufsicht gesehen eine U-förmige Kontur auf, so dass innerhalb den beiden Schenkeln der U-förmigen Kontur das Antriebselement 36 geführt ist und die jeweiligen Schenkel an den Führungselementen 43 angreifen. An dem Koppelelement 41 ist bevorzugt eine Schaltfahne 45 vorgesehen, die mit einem Sensorelement oder einer Gabellichtschranke zusammenwirkt, welche an einer nicht näher dargestellten Leiterplatte angeordnet ist, welche auch Teil der Steuer- und Regeleinrichtung ist. Dadurch kann eine obere Endlage der Antriebseinrichtung 35 erfasst werden. Die Steuer- und Regeleinrichtung ist ebenfalls bevorzugt in dem Gehäuse 19 angeordnet und lediglich zur Darstellung der mechanischen Komponenten aus dem Gehäuse 19 entfernt.
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Der Stößel 23 und die Antriebseinrichtung 35 sind durch einen Freilauf 51 (3) miteinander gekoppelt. Dieser Freilauf 51 wird durch eine am Koppelelement 41 angeordnete Abstützfläche 52 einerseits und eine Anlagefläche 53 andererseits gebildet. Durch das Eigengewicht des Stößels 23 liegt die Anlagefläche 53 auf der Abstützfläche 52 auf. Diese Anlagefläche 53 ist bevorzugt an einem Schlitten 54 vorgesehen, der bevorzugt an der Führung 42 auf und ab bewegbar geführt ist. Der Schlitten 54 weist einen Aufnahmeabschnitt 56 auf, über den der Stößel 23 mit dem Schlitten 54 lösbar gekoppelt ist. Durch das Aufliegen des Stößels 23 auf der Antriebseinrichtung 35 wird während einer Verfahrbewegung der Messsonde 26, die durch den Motor 34 angetrieben wird, unmittelbar nach dem Aufsetzen der Messsonde 26 auf einer Messoberfläche des Messgegenstandes 14 ein Nachlaufen des Motors 34 und somit ein weiteres Absenken des Koppelelementes 41 ermöglicht, ohne dass die Antriebskraft auf den Stößel 23 und somit auf die Messsonde 26 übertragen wird. Diese entkoppelte Position des Freilaufs 51 ist in 4 dargestellt.
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Der Freilauf 51 umfasst bevorzugt eine Schaltvorrichtung 58, welche aktiviert wird, sobald ein Abheben der Anlagefläche 53 von der Abstützfläche 52 erfolgt. Hierfür weist die Schaltvorrichtung 58 eine erste Komponente 59 auf, die an dem Schlitten 54 beziehungsweise Stößel 23 angeordnet ist und eine zweite Komponente 60, die mit dem Koppelelement 41 beziehungsweise der Antriebseinrichtung 35 in Verbindung steht. Bevorzugt ist die erste Komponente 59 als Gabellichtschranke und die zweite Komponente 60 als Schaltfinger oder Schaltfahne 45 ausgebildet. Sobald der Freilauf 51 aktiviert wird, wird die zweite Komponente 60 aus der ersten Komponente 59 herausgeführt und ein Schaltsignal an die Steuer- und Regeleinrichtung abgegeben. Diese Position ist strichliniert in 5 dargestellt. An dem Schlitten 54 ist bevorzugt eine Leiterplatte angeordnet, welche das Schaltsignal der Gabellichtschranke, die an der Leiterplatte befestigt ist, verarbeitet und an die Steuer- und Regeleinrichtung weiterleitet. Die hierfür erforderlichen Steuerleitungen sind bevorzugt an einer Führungsstange 62 befestigt, welche in einer Führung nahe der Gewindesäule 18 auf und ab bewegbar ist. Die Führungsstange 62 ist an einem Ende fest mit dem Schlitten 54 verbunden. Gegenüberliegend weist die Führungsstange ein Roll- oder Gleitlager auf, welches in der Führung auf und ab bewegbar ist. Durch diese Führungsstange 62 wird eine mögliche auf den Stößel 23 wirkende radiale Antriebskraft eliminiert.
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Eine Lagerstelle 64 zur Lagerung der Antriebsachse des Motors 34 dient gleichzeitig als Anschlag für eine Verfahrbewegung der Antriebseinrichtung 35 nach unten.
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In 6 ist an einer Rückseite 67 des Gehäuses 19 eine Gewichtsentlastungseinrichtung 68 vorgesehen. Diese Gewichtsentlastungseinrichtung 68 kann dann angebracht werden, wenn die Aufnahme 24 mehrere Messsonden 26 oder Sensoren oder größere und schwerere Messsonden 26 oder dergleichen aufnimmt. Diese Gewichtsentlastungseinrichtung 68 bewirkt, dass die zumindest eine Messsonde 26 mit einer nur geringen Eigengewichtskraft auf der Messoberfläche aufsitzt. Die Gewichtsentlastungseinrichtung 68 ist über eine Lagerachse 71 an der Rückwand 67 befestigt und nimmt schwenkbar einen Hebelarm 72 auf. An einem Ende des Hebelarmes 72 ist ein Befestigungsstift 74 vorgesehen, der an dem Stößel 23 angreift und eine Durchgangsbohrung 73 in der Rückseite 67 durchdringt. Der Befestigungsstift 74 ist in einer Langlochausnehmung 75 des Hebelarmes 72 befestigt, so dass während der Schwenkbewegung des Hebelarmes 72 eine Ausgleichsbewegung ermöglicht ist. Gegenüberliegend ist an dem Hebelarm 72 zumindest ein Massenkörper 77 vorgesehen. Dieser kann in Abhängigkeit der aufzunehmenden Last durch die Aufnahme 24 entlang dem Hebelarm 72 verfahrbar sein. Darüber hinaus kann der Massenkörper 77 austauschbar an dem Hebelarm 72 vorgesehen sein, so dass größere oder kleinere Massenkörper 77 daran angebracht werden können. Bevorzugt ist diese Gewichtsentlastungseinrichtung 68 durch einen Deckel abgedeckt und geschützt.
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In den 7a und 7b ist eine Aufnahme 24 dargestellt, welche beispielsweise eine Messsonde 26 und eine weitere Sonde oder einen Sensor aufnimmt. Im Ausführungsbeispiel ist ein Abstandserfassungssensor 80 dargestellt. Die Aufnahme 24 ist durch eine Verdrehführung 89, welche im Gehäuse 19 einen Stößel 23 umgibt, ausgebildet und ermöglicht, dass die Aufnahme 24 in einer ersten Winkellage 81 und in einer zweiten Winkellage 82 anordenbar ist. Bevorzugt kann die jeweilige Winkellage 81, 82 durch eine lösbare Rasterung selbsthaltend fixiert sein. Dadurch wird ermöglicht, dass sowohl die Messsonde 26 als auch der Abstandserfassungssensor 80 wahlweise in eine Position unmittelbar oberhalb der Messoberfläche des Messgegenstandes 14 übergeführt werden können. Beispielsweise kann dadurch zunächst über den Abstandserfassungssensor 80 eine Entfernungsmessung zur Messoberfläche des Messgegenstandes 14 erfolgen und anschließend in Abhängigkeit des erforderlichen Verfahrweges die Messsonde 26 verfahren sowie eine entsprechende Verfahrbewegung zum sanften Aufsetzen auf der Messoberfläche angesteuert werden.
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Ein solches Messstativ 11 wird bevorzugt für die Schichtdickenmessung eingesetzt. Die Schichtdickenmessung kann durch ein magnetinduktives Verfahren oder ein Wirbelstromverfahren durchgeführt werden. Der Einsatz des jeweiligen Verfahrens ist abhängig von dem Grundwerkstoff und den zu messenden Schichten. Das magnetinduktive Verfahren wird beispielsweise bei nichtmagnetischen Schichten auf ferromagnetischen Grundwerkstoffen eingesetzt. Bei elektrisch nicht leitenden Schichten auf Nichteisenmetallen wird das Wirbelstromverfahren durchgeführt.
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Alternativ kann das Messstativ 11 auch für weitere Messaufgaben eingesetzt werden. Die Aufnahme 24 ist lösbar am Stößel 23 angeordnet, so dass entsprechend den Messelementen eine daran angepasste Aufnahmen24 an dem Stößel 23 anordenbar sind.
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Insbesondere bei der Messung der Dicke dünner Schichten werden solche Messstative 11 eingesetzt, da durch eine manuelle Messung mit einer Messsonde 26 ein Aufsetzen der Messsonde 26 auf der Messoberfläche mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten oder Kräften und eine Beschädigung der Oberfläche des Messgegenstandes 14 als auch eine Verfälschung der Messwerte erfolgt.
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Das Messstativ 11 ermöglicht die Durchführung eines Verfahrens zur berührungslosen Messung von Schichtdicken auf Materialbahnen, die unterhalb der Messsonde 26 hindurch geführt werden:
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Die Messsonde 26 wird wie im vorstehend beschriebenen Verfahren wiederum an die Steuer- und Regeleinrichtung angeschlossen. In der Steuer- und Regeleinrichtung wird ein Referenzsignal, insbesondere eine Referenzspannung, abgespeichert, welches einem definierten Abstand der Messsonde 26 zur Messoberfläche des Messgegenstandes entspricht. Dieses Referenzsignal bzw. diese Referenzspannung gibt die Messposition 32 der Messsonde 26 für die berührungslose Messung vor, wie in 8 dargestellt ist. Zur Durchführung einer Messung wird die Messsonde 26 aus der Ausgangsposition 31 nach unten verfahren, bis durch die Messsonde 26 ein Steuersignal ausgegeben wird, welches dem Referenzsignal entspricht. Zur Einnahme der exakten Position kann eine Regelung erfolgen, so dass beim Überfahren der exakten Messposition 32 ein Hin- und Herfahren vorgesehen ist, bis die exakte Messposition 32 eingenommen wird. Im Anschluss daran kann eine berührungsfreie Schichtdickenmessung vorgenommen werden.
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Benachbart zur Messsonde 26 ein Abstandsentfernungssensor 80 an der Aufnahme 24 des Stößels 23 positioniert sein. Dieser kann den Abstand zwischen der Messposition 32 und der Messoberfläche 83 erfassen. Durch die Messsonde 26 wird bevorzugt der Abstand zwischen der Messposition 32 und einer Oberfläche 84 eines Grundwerkstoffs 85 des Messgegenstandes 26 erfasst. Die Differenz zwischen beiden Werten unter Einbeziehung eines vorherigen Korrekturwertes, der durch Kalibrierung von Messsonde 26 zum Abstandserfassungssensor 80 ermittelt wurde, ergibt die ermittelte Schichtdicke. Insbesondere eignet sich dieses Verfahren zur Messung von bahnförmigen, beschichteten Materialien, welche unter der Messsonde 26 und dem Abstandserfassungssensor 80 gemäß Pfeil 86 hindurchgeführt werden. Bevorzugt kann durch dieses Verfahren auch eine pastöse Beschichtung, insbesondere ein Flüssigkeitsfilm oder eine noch nicht vollständig getrocknete Beschichtung, auf einem Trägermaterial beziehungsweise Grundwerkstoff 85 erfasst werden. Des Weiteren ist bei diesem Verfahren bevorzugt vorgesehen, dass bei einem bahnförmigen Material, welches zumeist nicht ideal eben ist, die Steuer- und Regeleinrichtung von der Messsonde 26 Steuersignale erfasst und mit dem Referenzsignal vergleicht. Die Messsonde 26 erfasst dabei den Abstand zwischen deren Messposition 32 und der Oberfläche 84 des Grundwerkstoffes 85. Sofern eine Abweichung von dem vorgegebenen Referenzmaterial ermittelt wird, wird der Motor 34 angesteuert, um den Stößel 23 auf und ab zu bewegen, so dass die Abweichung ausgeglichen wird. Dadurch werden sowohl die Messsonde 24 als auch der Abstandserfassungssensor 80 quasi schwebend über der hindurchgeführten Materialbahn gehalten. Alternativ zu dieser Ansteuerung kann vorgesehen sein, dass der vorbestimmte Abstand der Messsonde 26 und des Abstandssensors 80 zum Messgegenstand 24 nicht durch die Messsonde 26 erfasst und geregelt wird, sondern durch den Abstandssensor 80. Dabei wird die Messoberfläche 83 der Beschichtung als Referenz für die Positionierung der Messsonde 26 und des Abstandserfassungssensors 80 zugrunde gelegt.
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Es versteht sich, dass anstelle der vorbeschriebenen Messsonde auch weitere Messinstrumente oder Messvorrichtungen eingesetzt werden können und von der Erfindung mit umfasst sind.
