DE4129687C2

DE4129687C2 - Vorrichtung zur Messung der Dicke dünner Schichten

Info

Publication number: DE4129687C2
Application number: DE4129687A
Authority: DE
Inventors: Helmut Fischer
Original assignee: Helmut Fischer GmbH and Co
Current assignee: Immobiliengesellschaft Helmut Fischer GmbH and Co KG
Priority date: 1991-09-08
Filing date: 1991-09-08
Publication date: 2002-11-14
Anticipated expiration: 2011-09-09
Also published as: US5193289A; GB2259367B; GB9215819D0; DE4129687A1; GB2259367A

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Messen der Dicke dünner Schichten gemäß dem Hauptanspruch.

Solche Schichtdicken liegen typischerweise zwischen 2 und 10 Mikrometer, können aber auch bis 100 Mikrometer reichen. Es bereitet Schwierigkeiten, Innenschichten von rohrförmigen Gegenständen zu messen, z. B. Zahnpastatuben, Lacktuben, Haarspraydosen, Konservendosen oder dergleichen. Allen diesen Gebrauchsgegenständen ist gemeinsam, daß ihre Wand nach innen zu durch eine Schicht geschützt werden muß. Die Wand bei Tuben ist häufig aus Aluminium, das nahezu Rein-Aluminium ist. Manchmal ist die Wand aber auch aus einem Eisenmetall. Manchmal erzeugt aber auch das Material selbst Schutzschichten, wie z. B. die Oxidschicht auf Leichtmetallen. Es ist bekannt, daß man das magnetische Meßprinzip verwendet, wie beispielsweise aus der DD 97 054. Die Lackschichten können auch solche sein, die elektrisch isolieren sollen. Die dünnen Schichten können auch aus Quarz, Bitumen oder einer sonstigen dünnen Schicht sein.

Insbesondere in solchen Gegenständen, die einen Durchmesser im unteren cm-Bereich haben, war es bislang kaum möglich, über die dünne Schicht auf der Innenseite Auskunft zu geben. Auch durch ein Gerät aus der Druckschrift DD 97 054 ist dies nicht möglich. Hinzu kommt noch, daß bei so dünnen Schichten die Gefahr besteht, daß sie durch das Aufsetzen der Sonde in ihrer Dicke beeinflußt werden können. Dies kann vom Durchstoßen der Schicht bis zu kraterartigen Vertiefungen gehen, wie man sie z. B. von Härtemessungen her kennt. Dort ist es tatsächlich notwendig, einen Probekörper in die Schicht zu pressen, während dies hier ja vermieden werden soll.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Messen der Dicke dünner Schichten von rohrförmigen Gegenständen zu schaffen, die zum einen die Zugänglichkeit einer Meßsonde in den Hohlraum von Gegenständen, die im unteren Zentimeterbereich im Durchmesser liegen, ermöglicht und zum anderen die Dicke der dünnen Schichten exakt mißt.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die aus dem Hauptanspruch ersichtlichen Merkmale gelöst. Bei einem Prototyp der Erfindung ist es gelungen, eine Wiederholgenauigkeit von 0,1 Mikrometer zu erzielen. Dabei muß das Bedienungspersonal lediglich die Tuben oder dergleichen Körper zwischen Schutzvorrichtung und Auflagevorrichtung mit dem zu messenden Wandbereich bringen, die Absenkvorrichtung entweder mechanisch oder von Hand bedienen und es ist lediglich notwendig, den Meßgegenstand erst dann zu entnehmen, wenn die Sonde ihre Ruhelage erreicht hat.

Die Erfindung wird nunmehr anhand eines Ausführungsbeispiels beschrieben. In der Zeichnung zeigen:

Fig. 1 eine räumliche Draufsicht auf die gesamte Vorrichtung nach der Erfindung mit einer Abdeckung für ihren linken Bereich,

Fig. 2 der linke Bereich im vergrößerten Maßstab ohne Abdeckung,

Fig. 3 die Draufsicht auf den linken Bereich im Maßstab 1 : 1,

Fig. 4 eine räumliche Ansicht gemäß dem Pfeil 4 in Fig. 3, gesehen von rechts oben,

Fig. 4A einen Schnitt längs der Linie 4A in Fig. 4

Fig. 5 eine räumliche Ansicht gemäß dem Pfeil 5 in Fig. 3, mit dem rechten Bereich von Fig. 3,

Fig. 6 eine vergrößerte Darstellung aus dem Mitten-Bereich von Fig. 4 in Draufsicht,

Fig. 7 einen abgebrochenen Schnitt gemäß den Pfeilen 77 in Fig. 1, jedoch ohne die Basis- und Positioniervorrichtung,

Fig. 8 einen Schnitt längs der Linie 88 in der Fig. 7, jetzt mit Basis- und Positioniervorrichtung,

Fig. 9 der abgebrochene Querschnitt durch ein Dämpfungsglied, wie es in Fig. 3 im linken Bereich verwendet wird.

Gemäß Fig. 1 ist eine Basis 11 am rechten Ende mit einer kaum nach oben ragenden, rechteckförmigen Wange 12 versehen, auf der sie dort steht und links mit einer ebenfalls rechteckförmigen, jedoch wesentlich weiter nach oben ragenden Wange 13 versehen, auf der die Basis 11 dort steht. Die Basis 11 umfasst ein flaches, waagrecht liegendes, steifes, stranggepreßtes Aluminiumrohr, wie dies z. B. aus Fig. 8 ersichtlich ist. Sowohl die Basis 11, als auch die Wangen 12, 13 sind aus einer Aluminium-Legierung. Auf der Basis 11, symmetrisch zu deren geometrischen Mittenebene 14 sind zwei Prismen 16, 17 vorgesehen, die aus Kunststoff sind, rechteckförmigen Querschnitt haben und jeweils eine aufeinander zu gerichtete Anlagefase 18, 19 haben. Je nach Durchmesser einer Tube 21 können diese Prismen 16, 17 von der Mittenebene 14 weg oder auf sie zu bewegt werden, wobei nicht dargestellte Mittel immer Parallelität zur Mittenebene 14 und Symmetrie hierzu erzwingen. Ist der Durchmesser der Tube 21 klein, dann sind die Prismen 16, 17 einander näher, als wenn der Durchmesser größer ist. Zwischen sich definieren sie einen Lufspalt 22, so daß die Tube 21 niemals auf der Basis 11 aufsitzt.

Auf dem Prisma 17 ist ein Zentimeter- Maßstab 24 vorgesehen. Eine massive Aluminiumwand 26 steht gemäß Fig. 1 links von den Prismen 16, 17, ist sehr steif und ist auch steif mit der Basis 11 an ihrer Unterseite verbunden. Sie ist so breit wie die Basis 11 und versteift diese weiterhin. Gemäß Fig. 1 ist vorne an der Aluminiumwand 26 eine Stahlstange 27 links starr eingespannt befestigt, die sich parallel zur Mittenebene 14 etwa in Höhe des Prismas 16 befindet. Sie ist etwas länger als der Maßstab 24 und ragt auch weiter nach rechts als dieser. Auf der Stahlstange 27 kann man eine Muffe 28 nach links oder rechts schieben. An der Muffe 28 ist ein Anschlaglineal 29 befestigt, das sich senkrecht zur Mittenebene 14 erstreckt, ein Messingrohr 31 überbrückt, bis zum Maßstab 24 reicht und für das Messingrohr 31 eine nach unten randoffene Ausnehmung 32 besitzt. Diese Ausnehmung 32 berührt das Rohr 31 nie. Als Verschiebe-Sperre dient eine Blattfeder 33, die unten am vorderen Bereich des Anschlaglineals 29 festgeschraubt ist, eine Ausnehmung hat, die wenig größer ist als der Durchmesser des kreiszylindrischen Stahlstabs 27 und gemäß Fig. 1 eine Vorspannung nach links hat. Die Blattfeder 33 klemmt sich und damit auch das Anschlaglineal 29 ohne Aufhebung der Vorspannung an der Stahlstange 27 fest, weil ihr Durchgangsloch nur wenig größer ist als der Durchmesser der Stahlstange 27. Drückt man zwischen Daumen und Zeigefinger die Blattfeder 33 nach rechts an den dortigen Bereich des Anschlaglineals 29, dann steht ihr Durchgangsloch auch wieder senkrecht zur Stahlstange 27 und ungestreift kann man nun die Blattfeder 33 und damit auch das Anschlaglineal 29 auf der Stahlstange 27 nach links und rechts schieben. Schlägt die Tube 21 in der gezeichneten Stellung am Anschlaglineal 29 an, so hat die Sonde 23 von dort einen Abstand von 17,5 cm, das heißt, daß man von außen sehen kann, in welcher Tiefe man in der Tube 21 mißt.

Ein im Querschnitt U-förmiger Deckel 34 wird an seinen Rändern gemäß Fig. 1 links vom oberen Bereich der Wange 13 und rechts von der Aluminiumwand 26 gefaßt. Entfernt man ihn, so findet man Anordungen gemäß Fig. 2 bis 6. Eine geometrische Längsachse 36 erstreckt sich senkrecht zur Mittenebene 14. Ihr entspricht auch eine wirkliche, in der Mitte nicht durchgehende Achse 37, deren Enden zwei fluchtende Achsstummel 38, 39 sind, die kreiszylindrisch geschliffen sind und auf Ständern 41, 42 gelagert sind, die fest mit der Basis 11 verschraubt sind und senkrecht stehen. Am oberen Ende haben die aus Messing bestehenden Ständer 41, 42 eine prismatische Ausnehmung, die die Endbereiche der Achsstummel 38, 39 spielfrei aufnehmen, da die Prismenflächen Ebenen sind, die sich V-förmig nach oben öffnen. Im Verhältnis zur Breite der Basis 11 liegen diese Ständer 41, 42 und damit auch die Lagerstellen weit auseinander. In der Seitenansicht L-förmige Gegenständer 43, 44 sind mit ihrem senkrechten Steg in dessen unterem Bereich starr mit der Basis 11 verbunden. Sie stehen parallel zur Mittenebene 14. Sie sind in Hochrichtung außerordentlich biegesteif. In ihren waagrechten Schenkeln haben sie eine nach unten offene Sacklochbohrung 46, 47. In dieser steckt eine Druckfeder, die sich an der Decke der Sacklochbohrung abstützen kann und ein Druckstück nach unten auf die Endbereiche der Achsstummel 38, 39 drückt, dessen nach unten gerichtete Stirnfläche eben ist. Man erhält so eine hochgenaue, spiel freie Lagerung in bezug auf die geometrische Längsachse 36.

Damit diese Lagerung keine Kräfte senkrecht zur geometrischen Längsachse 36 aufnehmen muß, sind außen senkrecht stehende Pfosten 48, 49 aus Stahl vorgesehen, die bis in die Höhe der geometrischen Längsachse 36 ragen, von den Enden der Achsstummel 38, 39 nur mit einer geringen Spieldistanz entfernt sind und so verhindern, daß sich die Achsstummel 38, 39 und die mit Ihnen verbundenen Teile zu weit nach links oder rechts von der geometrischen Mittenebene 14 bewegen können. Mit den Achsstummeln 38, 39 verbunden ist ein Klemmkörper 51, der einen Waagebalken 52 klemmt, und zwar so, daß die geometrische Mittenachse 53 des Waagebalkens 52 in der Mittenebene 14 liegt und durch die geometrische Längsachse 36 geht. Der Waagebalken 52 kann beim Ausführungsbeispiel um 1°15' geschwenkt werden. Der Waagebalken 52 umfaßt ein durchgehendes Messingröhrchen mit einem Außendurchmesser von 3 mm. Die Längsachse 36 teilt den Waagebalken 52 in einen langen Arm 56 und einen kurzen Arm 57 auf. Gemäß Fig. 6 ist im Bereich eines Hohlraums im Klemmkörper 51 im Waagebalken 52 seitlich, in der Ansicht von Fig. 3 von unten eine kleine Längsausnehmung 58 vorgesehen, durch die eine abgeschirmte Messleitung 59 in den Arm 56 eingeführt ist. Im Bereich des koaxialen Hohlraums 61 wird der Waagebalken 52 nicht geführt. Vielmehr geschieht dies in zwei, gemäß Fig. 6 nach unten gerichteten und nach oben randoffenen halbrunden Ausnehmungen 62, 63, die von unten das kreiszylindrische Röhrchen genau zur Hälfte umgreifen. Der Hohlraum 61, die Ausnehmungen 62, 63 und im wesentlichen horizontal verlaufende Stufen 64, 66 sind in den walzen förmigen Grundkörper 67 eingearbeitet. Ferner Madengewinde 68, 69, in die Madenschrauben eingeschraubt sind und so den Grundkörper 67 starr mit den Achststummeln 38, 39 verbinden. Ferner hat der Grundkörper Gewinde-Sackloch bohrungen 71, 72. Mit Schrauben 73, 74 kann man von oben auf den Grundkörper 67 eine Klemmplatte 76 schrauben, die etwa halbrunde Gestalt hat und von oben den Waagebalken 52 in die halbschalenförmigen Ausnehmungen 62, 63 drückt, jedoch ohne das Messingröhrchen zu zerdrücken. Außerdem kompensiert diese Konstruktion denjenigen Steifigkeitsverlust, der durch die Längsausnehmung 58 zwischen den Armen 56, 57 entstanden ist.

An seinem Ende trägt der Arm 56 die Sonde 23 und deren Miniaturspülchen sind auf nicht dargestellte Weise mit der Meßleitung 59 verbunden. Das Messingrohr 31 ist in seinem freien Endbereich mit einer schwarzen Kunststoffhülse 77 verbunden, die normalerweise nicht abnehmbar ist und diese wiederum ist in Fig. 7 nach rechts hin mit einem roten Stopfen 78 verschlossen, der ebenfalls aus Kunststoff ist. Damit ist im Bereich der Sonde 23 nichts, was ihr Meßergebnis verfälschen könnte. In Fig. 7 ist der Arm 56 in seiner Ruhelage gezeichnet. Damit er nach unten austreten kann, hat unten die Kunststoffhülse 77 rechts und links symmetrisch zur Mittenebene 14 ein kleines Loch 79, so daß bei abgesenktem Arm 56 die Sonde auf einer Lackschicht 81 der Aluminiumwand 82 definiert aufsitzen kann. In Fig. 7 ist sowohl die Dicke der Lackschicht 81, als auch der Aluminiumwand 82 bei weitem übertrieben dargestellt und auch noch in Fig. 8 ist in dieser Richtung übertrieben worden.

Wenn der Waagebalken 52 sich gemäß Fig. 2 im Urzeigersinn schwenkt, dann trifft die Spitze der Sonde 23 auf die Oberfläche der Lackschicht 81 auf und wird dort mit einer kleinen Kraft dagegen gepreßt, wobei der Arm 56 sich geringfügig durchbiegt und nicht mehr auf der ganzen Länge koaxial zur Mitten achse 53 verläuft.

Für den Absenkvorgang vorgesehen ist eine Taste 83, die ihre unterste Begrenzung hat, wenn sie auf der Oberseite der Basis 11 anschlägt. Normalerweise ist sie jedoch in ihrer oberen Lage. Sie ist über einen Stahlhebel 84 durch die Aluminium wand 26 in einer entsprechend großen Ausnehmung geführt. Der Stahlhebel 84 ist mit seinem Außengewinde 86 in eine Stahlscheibe 87 eingeschraubt, die um eine geometrische Längsachse 88 um etwa 15° schwenkbar ist. Die Stahlscheibe 87 ist starr auf eine Querachse 89 aufgeschraubt, deren Schwenkachse die geometrische Längsachse 88 ist und die senkrecht zur Mittenebene 14 steht. Die Querachse 89 verläuft unterhalb des Arms 56 und zwar soweit unterhalb, daß sich beide niemals berühren. In ihren beiden Endbereichen ist die Querachse 89 durch zwei Lagerböcke 91, 92 gelagert, die Querbohrungen senkrecht zur Mittenebene 14 haben und starr mit der Basis 11 verbunden sind. Im Ruhezustand hat die Querachse 89 die in den Figuren ausgezogen gezeichnete Lage. Diese wird bestimmt durch eine Anschlag schraube 93, die senkrecht von oben in den gemäß Fig. 1 hinteren Bereich der Aluminiumwand 26 eingeschraubt ist. Je weiter die Anschlagschraube 93 nach oben heraus geschraubt ist, desto weiter läßt sich der Stahlhebel 84 nach oben schwenken. Dafür, daß er oben bleibt, sorgt eine Druck-Wendelfeder 94, die sich unten auf der Basis 11 abstützt und oben gegen eine Verbreiterung 96 drückt, die an dem Stahlhebel 84 knapp hinter der Aluminiumwand 26 am Stahlhebel 84 festgeschraubt ist. Diese Verbreiterung 96 steuert auch einen elektrischen Schalter 97, der an der Aluminiumwand 26 innen angeschraubt ist. Steht der Stahlhebel 84 oben, dann verhindert der Schalter 97 eine Messung.

Zwischen den Lagerböcken 91, 92 hat die sonst kreiszylindrische Querachse 89 eine Fase die in der Ansicht von Fig. 2 etwa nach 10.30 Uhr gerichtet ist. Auf diesem Bereich und symmetrisch zur Mittenebene 14 sind zwei Gabelzinken 99, 111 vorgesehen, die aus Nichteisen-Metall, wie Messing, sind, länglich rechteckige Klötzchen darstellen, in Seitenansicht deckungsgleich sind, miteinander etwa nach 14.30 Uhr weisen, gleich lang sind und im wesentlichen parallel zur Mittenebene 14 stehen. Durch Madenschrauben 112, 113, die auf die Fase 18 drücken, sind sie winkelmäßig gleichmäßig zur Lage der Querachse 89 und damit auch fixiert. In den einander zugekehrten Endbereichen tragen die Gabelzinken 99, 111 in Seitenansicht deckungsgleiche Fassungsbohrungen 114, 116 und in diesen sitzen kreiszylindrische Permanentmagnete 117, 118, deren Feld senkrecht zur Mitten ebene 14 steht, wo es aus den planen Stirnflächen austritt, die senkrecht zur Mittenebene 14 stehen. Im Bereich zwischen den Permanentmagneten 117, 118 ist auf den Arm 56 ein Klötzchen 119 aufgeschoben, das eine passende Durchgangsbohrung für den Arm 56 besitzt und auf ihm mit einer Feststellschraube 121 festgestellt ist. In seinen äußeren, zur Mittenebene 14 parallelen Flächen sind zwei Permanentmagnete 122, 123 eingelassen, die gleich groß sind wie die Permanentmagnete 117, 118, die eine Feldaustrittsfläche parallel zur Mittenebene 14 haben und jeweils einen Lufspalt von 4 mm haben. Die Polung ist dabei so, daß 117 und 122 sich anziehen und 118 und 123 sich anziehen. Man erreicht dadurch eine Kraftkopplung. Drückt man die Taste 83 nach unten, dann senken sich die Permanentmagnete 117, 118 und 122, 123 folgen ihnen nach unten. Umgekehrt gilt das gleiche. Man hat hier also die Taste 83 von der Sonde 23 kraftmäßig entkoppelt, bringt aber am Ende des Absenkvorgangs eine ausreichende, aber nicht zu hohe Kraft auf, damit die Spitze der Sonde 23 einerseits genügend schnell, aber andererseits ohne die Lackschicht 81 zu beschädigen, auf dieser aufsitzt. Die Vorrichtung lenkt den Waagebalken 52 nicht aus der Mittenebene 14 aus, sondern erzwingt genügend sanft lediglich eine Auf- und Abbewegung in der Ebene 14. Je kleiner der Luftspalt ist, desto größer sind auch die Anziehungskräfte (im Quadrat des Abstands), so daß man durch den Abstand der Permanentmagnete 122, 117 und 123, 118 diejenige Kraft bestimmen kann, mit der die Spitze der Sonde 23 aufsitzt. Um den Arm 56 nicht zu verdrillen, sollten die beteiligten Permanent magnete gleich stark sein.

Damit die Sonde 23 genügend langsam und sanft absetzt (die kinetische Energie ist = m/2.v²), ist ein die Bewegung dämpfendes Dämpfungsglied 124 vorgesehen. Durch dessen Mittenebene geht auch die Mittenebene 14. Es ist im linken Bereich der Basis 11 untergebracht, die dort eine Bohrung 126 aufweist, und ein dort festgeschraubter Fassungsring 127 faßt auf nicht dargestellte Weise das Dämpfungsglied 124. Dessen Kolbenstange 128 ist mit einem Hakenglied 129 fest verbunden, in dessen Hakenöffnung ein Querschnitt des Arms 57 liegt. Um Relativbewegungen zwischen Hakenglied 129 und Arm 57 zu verhindern, ist eine von oben hereingeschraubte Madenschraube 131 vorgesehen. Das Dämpfungsglied 124 umfaßt einen Zylinder 132 aus Glas, dessen oberer Boden ein Loch hat, so daß die Kolbenstange 128 diesen durchqueren kann. Unten hat die Kolbenstange 128 einen Kolben 133, der aus graphitiertem Kohlenstaub besteht und wegen eines Gelenks 134 auch nicht verkantet. Drückt man auf die Taste 83, dann will der Kolben 133 nach oben, der Raum 136 will sich vergrößern und wie schnell Luft in ihn nachfließen kann, bestimmt eine Düsenschraube 137.

Zum Gewichtsausgleich ist auf dem Ende des Arms 57 ein Gegengewicht 138 festgeschraubt.

Die Erfindung ist zahlreicher Variationen fähig. Zum Beispiel könnte der Waagebalken 52 auch aus Titan sein, was die Masse des Systems noch einmal heruntersetzen würde. Alle Vorkehrungen, die einerseits die Masse des Systems heruntersetzen, andererseits aber die Steifigkeit der bewegten Massen im notwendigen Rahmen lassen, sind willkommen. Ferner sind alle Maßnahmen willkommen, die die Geschwindigkeit der Sonde 23, vor allem beim Aufsetzen, herabsetzen. Man könnte hier also auch progressive Dämpfungsglieder verwenden, die gerade am Ende der Bewegung am meisten dämpfen.

Claims

1. Vorrichtung zum Messen der Dicke einer dünnen Schicht auf der Innenwand eines rohrförmigen Gegenstandes (21); die folgende Merkmale aufweist:

a) eine Sonde (23), die in den rohrförmigen Gegenstand (2) einführbar ist.
b) eine elektrische Leitung zur Sonde (23),
c) eine biegesteife Basis (11),
d) eine Befestigungsvorrichtung (26), die starr mit der Basis (11) verbunden ist, wobei die Befestigungsvorrichtung (26) eine lange Schutzvorrichtung (31) trägt, die innen einen Schutzraum aufweist, und
e) zwischen der Schutzvorrichtung (31) und der Basis (11) eine Auflagevor richtung (11, 17, 28) vorgesehen ist, wobei ein Zwischenraum (22) zwi schen der Schutzvorrichtung (31) und der Auflagevorrichtung (11, 17, 18) gebildet ist,
f) einen Waagebalken (52), der mind. einen Arm (56) aufweist, der mind. teilweise im Schutzraum verläuft und die Sonde (23) trägt,
g) ein Waagebalken-Lager (43, 44, 37), das den Arm (56) lagert, wobei
h) an dem Waagebalken (52) eine Absenkvorrichtung (83, 98, 99, 111), mit der die Sonde (23) aus dem Schutzraum heraus langsam auf die dünne Schicht absenkbar ist, und
i) ein Bewegungsdämpfungsglied (124) angreifen.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Basis (11) ein stranggepreßtes Metallrohr ist, das an seiner Oberseite eine länglich rechteckige Ebene aufweist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Metallrohr ein Rechteckrohr ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Befesti gungsvorrichtung (26) zumindest teilweise eine steife Wand ist, die starr mit der Basis (11) verbunden ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzvor richtung (31) auf einer längeren Strecke in der Befestigungsvorrichtung (26) spielfrei gefaßt ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Wand die Schutzvorrichtung (31) faßt und die Wand mindestens teilweise so dick ist wie die Fassungslänge.

7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzvor richtung (31) lösbar in der Befestigungsvorrichtung (26) gehaltert ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzvor richtung (31) in Richtung Sonde (23) aus der Befestigungsvorrichtung (26) herausziehbar ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Befesti gungsvorrichtung (26) einen Schlitz (139) hat, den ein erster Arm (56) zu mindest bei abgenommener Schutzvorrichtung (31) passieren kann.

10. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzvor richtung (31) ein Hohlprofil ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Hohlprofil als eine Rinne, ein Rohr oder ein rundes Rohr ausgebildet ist.

12. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzvor richtung (31) über das Ende des ersten Arms (56) hinausragt.

13. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzvor richtung (31) eine Ausnehmung (79) hat, die vom ersten Arm (56) minde stens teilweise durchquert werden kann.

14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß lediglich eine Ausnehmung (79) zum Durchtritt der Sonde (23) vorgesehen ist.

15. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzvor richtung (31) mindestens überwiegend aus einem Nichteisenmetall ist.

16. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzvor richtung mindestens überwiegend aus Messing oder aus einem Leichtmetall ist.

17. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzvor richtung (31) im Bereich der Sonde (23) mind. überwiegend aus einem elek trisch nicht leitenden Material ist, und daß dort die Ausnehmung (79) für den Durchtritt der Sonde (23) ist:

18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß das Material Kunststoff ist.

19. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Endbereich der Schutzvorrichtung (31) mindestens teilweise eine Kontrastfarbe trägt.

20. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Arm (56) länger als ein zweiter Arm (57) ist.

21. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Arme (56, 57) einstückig sind.

22. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens der erste Arm (56) zumindest teilweise hohl ist und eine elektrische Leitung (59) für die Sonde (23) trägt.

23. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest der erste Arm (56) ein Röhrchen ist.

24. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest der erste Arm (56) zumindest überwiegend aus einem elektrisch nicht leitenden Material ist.

25. Vorrichtung nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest der erste Arm zumindest überwiegend aus Messing oder aus einem Leichtmetall ist.

26. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Arm (56) länger als 10 cm, insbesondere 25 cm ± 10 cm, lang ist.

27. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrische Leitung (59) im Bereich des Waagebalken-Lagers (43, 44, 37) zu dem Waa gebalken (52) tritt.

28. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Waagebal ken-Lager (43, 44, 37) starr mit dem Waagebalken (52) verbunden ist.

29. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Waagebal ken-Lager (43, 44, 37) zwei senkrecht zum Waagebalken (52) stehende La gerstellen (48, 49) hat, die entsprechend der Breite der Basis weit voneinan der entfernt sind.

30. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Waagebal ken-Lager (43, 44, 37) mindestens zwei Klemmschalen (51, 76) zur Klem mung des Waagebalkens (52) aufweist.

31. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in der Mitte des Waagebalken-Lagers (43, 44, 37) ein Loch (58) im Röhrchen ist, durch das die elektrische Leitung (59) in das Röhrchen eintritt.

32. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Absenkvor richtung im Bereich von 5° bis 0,5° (Altgrad), insbesondere von 1°, +2°, -0,5°, absenkt.

33. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest zum Absenken eine am Waagebalken (52) angreifende Krafterzeugungsvorrich tung vorgesehen ist.

34. Vorrichtung nach Anspruch 33, dadurch gekennzeichnet, daß die Krafterzeu gungsvorrichtung die Magnetkraft verwendet.

35. Vorrichtung nach Anspruch 34, dadurch gekennzeichnet, daß es die Kraft von Permanentmagneten (117, 122, 118, 123) ist.

36. Vorrichtung nach Anspruch 35, dadurch gekennzeichnet, daß es die magne tische Schwerkraft von Permanentmagneten (117, 122, 118, 123) ist.

37. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Krafterzeu gungsvorrichtung zumindest im wesentlichen symmetrisch zum Waagebal ken (52) am Waagebalken (52) angreift.

38. Vorrichtung nach Anspruch 36, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest ein erster Magnet (117, 118) und ein Gegenkörper im Anziehungsbereich des Magneten (117, 118) relativ zueinander im wesentlichen parallel zur Schwenkbewegung des Waagebalkens (52) bewegbar ist, wobei einer von ihnen am Waagebalken (52) befestigt ist.

39. Vorrichtung nach Anspruch 38, dadurch gekennzeichnet, daß auch der Ge genkörper ein zweiter Magnet (122, 123) ist, der in Anziehungsrichtung ge polt ist.

40. Vorrichtung nach Anspruch 39, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Magnete (117, 118) am Waagebalken (52) und zwei Magnete (122, 123) an einer auf- und ab beweglichen Gabel (99, 111) vorgesehen sind, deren Zinken zumin dest im wesentlichen parallel zur Schwenkrichtung des Waagebalkens (52) sind.

41. Vorrichtung nach Anspruch 38, dadurch gekennzeichnet, daß der Gegenkör per vom Magneten (117, 118) eine mittlere Entfernung, insbesondere 1 bis 15 mm, vorzugsweise 4 mm + 60%-40%, aufweist.

42. Vorrichtung nach Anspruch 40, dadurch gekennzeichnet, daß die Zinken auf einer Achse (98) sitzen, die willkürlich um einen Winkelbetrag schwenkbar ist, der größer als die absenkende Schwenkbewegung ist, die zum Aufsetzen der Sonde (23) auf den Meßgegenstand erforderliche Kraft aber nie abreißen läßt.

43. Vorrichtung nach Anspruch 42, dadurch gekennzeichnet, daß die Achse (98) mit einem manuell bedienbaren Betätigungshebel verbunden ist, und daß ein erster Anschlag vorgesehen ist, der eine Bewegung der Zinken zumindest in Absenkrichtung des ersten Arms (56) über das Abreißen der Kraft hinaus verhindert.

44. Vorrichtung nach Anspruch 43, dadurch gekennzeichnet, daß ein zweiter Anschlag vorgesehen ist, der das maximale Anheben des ersten Arms (56) bestimmt.

45. Vorrichtung nach Anspruch 44, dadurch gekennzeichnet, daß die Achse (98) unterhalb des Waagebalkens (52) sitzt.

46. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Absenkvor richtung (83, 98, 99, 111) am ersten Arm (56) angreift.

47. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Dämpfungs glied (124) ein Luft-Dämpfungsglied ist.

48. Vorrichtung nach Anspruch 47, dadurch gekennzeichnet, daß es ein Kol ben/Zylinder/Luftdämpfungsglied ist.

49. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Dämpfungs glied (124) am zweiten Arm (57) angreift.

50. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß am zweiten Arm (57) ein Gegengewicht (138) befestigt ist.