JP3258118B2 - 帯状の試料の中心を検出する方法 - Google Patents
帯状の試料の中心を検出する方法Info
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- JP3258118B2 JP3258118B2 JP06052493A JP6052493A JP3258118B2 JP 3258118 B2 JP3258118 B2 JP 3258118B2 JP 06052493 A JP06052493 A JP 06052493A JP 6052493 A JP6052493 A JP 6052493A JP 3258118 B2 JP3258118 B2 JP 3258118B2
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
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- G—PHYSICS
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- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、蛍光Ｘ線膜厚測定装
置に関するものである。
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、第６図に示す装置構成で、試料を
試料テーブル６６に置きオペレータが試料テーブルを動
作させて、試料モニター部６５の十字線と試料の測定希
望部位を一致させることによって測定位置を合わせてい
た。また、測定しようとする試料が細いときは、通常広
い領域を見るために、低倍率の観察光学系を用いている
が、試料モニターによる位置合わせが困難なため、高倍
率光学系との切り換えシステムを採用するか、もしくは
試料の幅に対して十分狭い間隔でスキャン測定し、その
プロファイルから試料の中心を判断し、その位置の測定
結果を膜厚として採用していた。
試料テーブル６６に置きオペレータが試料テーブルを動
作させて、試料モニター部６５の十字線と試料の測定希
望部位を一致させることによって測定位置を合わせてい
た。また、測定しようとする試料が細いときは、通常広
い領域を見るために、低倍率の観察光学系を用いている
が、試料モニターによる位置合わせが困難なため、高倍
率光学系との切り換えシステムを採用するか、もしくは
試料の幅に対して十分狭い間隔でスキャン測定し、その
プロファイルから試料の中心を判断し、その位置の測定
結果を膜厚として採用していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の、試料モニター
を使った位置合わせでも、比較的大きな試料では実用上
十分な位置合わせが可能であった。しかし、近年の電子
部品の微小化に伴い、試料モニターの画像による位置合
わせでは画像の分解能の限界と、Ｘ線照射位置と試料モ
ニターの十字線の位置を合わせる調整の精度の問題か
ら、正確な位置合わせが困難になっていた。また、測定
前に測定位置を登録して、連続して自動測定をする場合
に、試料ステージが動作する際に、サンプルが動いてし
まった場合の許容量も、大幅に小さくなっているため、
正確に位置を合わせる機能の必要性が高まっていた。
を使った位置合わせでも、比較的大きな試料では実用上
十分な位置合わせが可能であった。しかし、近年の電子
部品の微小化に伴い、試料モニターの画像による位置合
わせでは画像の分解能の限界と、Ｘ線照射位置と試料モ
ニターの十字線の位置を合わせる調整の精度の問題か
ら、正確な位置合わせが困難になっていた。また、測定
前に測定位置を登録して、連続して自動測定をする場合
に、試料ステージが動作する際に、サンプルが動いてし
まった場合の許容量も、大幅に小さくなっているため、
正確に位置を合わせる機能の必要性が高まっていた。
【０００４】一方、低倍率の光学系で中心の位置を合わ
せることが困難な試料に対しては、高倍率の光学系に切
り換えるという方法は、システムが高価になってしまう
という問題があり、プロファイルから中心を決定する方
法では、１点の膜厚を測定するために、多くの時間を費
やしてしまうことになり、実用的ではなかった。
せることが困難な試料に対しては、高倍率の光学系に切
り換えるという方法は、システムが高価になってしまう
という問題があり、プロファイルから中心を決定する方
法では、１点の膜厚を測定するために、多くの時間を費
やしてしまうことになり、実用的ではなかった。
【０００５】そこで、この発明の目的は、従来のこのよ
うな課題を解決するため、画像に頼らず、短時間で、正
確に測定位置を合わせる手段を提供することである。
うな課題を解決するため、画像に頼らず、短時間で、正
確に測定位置を合わせる手段を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、蛍光Ｘ線を検出可能な、等間隔で並んだ帯状の試料
または、周りの領域と蛍光Ｘ線的に区別が可能な帯状の
領域の中心を、第一に、試料または領域の配置されてい
るピッチに相当する範囲について、試料または領域の幅
程度の粗い間隔で、スキャン測定し、第二にその中でな
るべく測定開始点に近く、Ｘ線強度の強い位置を判断
し、第三にその位置と両隣の３点のデータのレンジを平
均値で割った値を用いて、第二段階でＸ線強度が大きい
と判断された点と帯状の試料または領域のおよその位置
関係を判断し、第三に上記判断を基に帯状の試料または
領域の周辺をその幅の半分程度の間隔で測定し、その位
置とＸ線強度のデータの重心を求め、第四にその重心に
対して、対象とする試料または領域から離れているため
無関係と判断されるデータをのぞき再び重心を計算し、
第五に、二回目の重心計算結果を基に試料または領域の
エッジ付近と推定される二点を測定し、そのデータを加
えて重心計算する事によって求める。
に、蛍光Ｘ線を検出可能な、等間隔で並んだ帯状の試料
または、周りの領域と蛍光Ｘ線的に区別が可能な帯状の
領域の中心を、第一に、試料または領域の配置されてい
るピッチに相当する範囲について、試料または領域の幅
程度の粗い間隔で、スキャン測定し、第二にその中でな
るべく測定開始点に近く、Ｘ線強度の強い位置を判断
し、第三にその位置と両隣の３点のデータのレンジを平
均値で割った値を用いて、第二段階でＸ線強度が大きい
と判断された点と帯状の試料または領域のおよその位置
関係を判断し、第三に上記判断を基に帯状の試料または
領域の周辺をその幅の半分程度の間隔で測定し、その位
置とＸ線強度のデータの重心を求め、第四にその重心に
対して、対象とする試料または領域から離れているため
無関係と判断されるデータをのぞき再び重心を計算し、
第五に、二回目の重心計算結果を基に試料または領域の
エッジ付近と推定される二点を測定し、そのデータを加
えて重心計算する事によって求める。
【０００７】
【作用】この発明の方法及び原理を図１を用いて説明す
る。１として、粗い間隔でスキャン測定をする。この
際、少なくとも１点は帯状の試料または領域の付近を測
定できていなければならなず、なおかつ、短時間で行う
ためになるべく少ない測定で済ませる必要がある。その
ため、測定範囲として帯状試料または領域のピッチから
Ｘ線ビームの幅を減じたものを用い、測定間隔として、
その半分の値を用いる。ただし、ピッチに対して帯状の
試料または領域の幅が細いときは、その幅にＸ線ビーム
の幅によるＸ線検出可能領域の広がりに相当する幅を加
えたものを用いる。この測定で、Ｘ線強度が最大となる
点を求めるが、その点がスキャン領域の端であった場
合、さらにその外側１点を測定する。こうして、Ｘ線強
度が最大となる点と、その両側の点のＸ線強度を得て、
２に進む。２では１で得たＸ線強度が最大の点とその両
側の点の、計３点のデータについてそのレンジを平均値
で割った値を計算する。
る。１として、粗い間隔でスキャン測定をする。この
際、少なくとも１点は帯状の試料または領域の付近を測
定できていなければならなず、なおかつ、短時間で行う
ためになるべく少ない測定で済ませる必要がある。その
ため、測定範囲として帯状試料または領域のピッチから
Ｘ線ビームの幅を減じたものを用い、測定間隔として、
その半分の値を用いる。ただし、ピッチに対して帯状の
試料または領域の幅が細いときは、その幅にＸ線ビーム
の幅によるＸ線検出可能領域の広がりに相当する幅を加
えたものを用いる。この測定で、Ｘ線強度が最大となる
点を求めるが、その点がスキャン領域の端であった場
合、さらにその外側１点を測定する。こうして、Ｘ線強
度が最大となる点と、その両側の点のＸ線強度を得て、
２に進む。２では１で得たＸ線強度が最大の点とその両
側の点の、計３点のデータについてそのレンジを平均値
で割った値を計算する。
【０００８】例えば、最大値を示した点が帯状の試料ま
たは領域の中心に近いところにあれば、残りの二点のＸ
線強度はほぼ０になり、レンジ／平均は３．０に近い値
になる。このことを用いて、レンジ／平均が３．０に近
ければ、最大値は、中心付近を捉えていると判断し、そ
うでなければ試料または領域のエッジ付近と判断する。
エッジ付近と判断された場合は３として、最大値の両側
に、初めのスキャン間隔の半分の幅だけ離れた２点を測
定する。４では２でＸ線強度が最大だった点が帯状の試
料の中心付近と判断された場合は、その点を仮中心と
し、そうでないときは、３で測定した２点のうちＸ線強
度が大きい方の点を仮中心とする。５においては、仮中
心とその両側に、初めのスキャン間隔の半分の間隔で２
点ずつ計５点のＸ線強度を求める。ただし、これまでの
測定でデータが得られている点についてはそのデータを
用いる。６においては、５で確保した五点の位置に対す
るＸ線強度のデータからその重心を求め、そこからの距
離によって、対象となる試料または領域に無関係と判断
されるデータを除き、７において再び重心を計算し、そ
の重心を基に、帯状の試料または領域の左右のエッジ付
近と推定される位置２点を測定する。そのデータを加え
て再び重心を計算した結果を求める中心としている。
たは領域の中心に近いところにあれば、残りの二点のＸ
線強度はほぼ０になり、レンジ／平均は３．０に近い値
になる。このことを用いて、レンジ／平均が３．０に近
ければ、最大値は、中心付近を捉えていると判断し、そ
うでなければ試料または領域のエッジ付近と判断する。
エッジ付近と判断された場合は３として、最大値の両側
に、初めのスキャン間隔の半分の幅だけ離れた２点を測
定する。４では２でＸ線強度が最大だった点が帯状の試
料の中心付近と判断された場合は、その点を仮中心と
し、そうでないときは、３で測定した２点のうちＸ線強
度が大きい方の点を仮中心とする。５においては、仮中
心とその両側に、初めのスキャン間隔の半分の間隔で２
点ずつ計５点のＸ線強度を求める。ただし、これまでの
測定でデータが得られている点についてはそのデータを
用いる。６においては、５で確保した五点の位置に対す
るＸ線強度のデータからその重心を求め、そこからの距
離によって、対象となる試料または領域に無関係と判断
されるデータを除き、７において再び重心を計算し、そ
の重心を基に、帯状の試料または領域の左右のエッジ付
近と推定される位置２点を測定する。そのデータを加え
て再び重心を計算した結果を求める中心としている。
【０００９】
【実施例】以下、リードフレームのリードの中心を検出
する場合を例として、図にしたがって説明する。まず、
リードが試料ステージの移動方向に対して、直角に置か
れ、リードの幅がピッチの半分程度である試料の場合に
ついて説明する。
する場合を例として、図にしたがって説明する。まず、
リードが試料ステージの移動方向に対して、直角に置か
れ、リードの幅がピッチの半分程度である試料の場合に
ついて説明する。
【００１０】第一に、ピッチの半分の間隔で３点のＸ線
強度を各１秒ずつ測定する。このとき３点のうち、Ｘ線
強度が最大の点が真ん中の点でないときは、その外側に
同じ間隔でもう一点測定する。第３図はＸ線強度が最大
だった点がリードの中心付近にあった場合を表してい
る。この場合は、レンジ／平均値はほぼ３．０となるた
めこのような状態と判断でき、図中の２２を仮中心とす
る。そして図中２１と２２を二分する点及び、２２と２
３を二分する点の二点を測定する。第４図は最大値を示
した点がリードのエッジ付近にあった場合を表してい
る。この場合は、レンジが狭くなるため、３１、３２、
３３のレンジ／平均は０に近くなり、リード３６、リー
ド３７の位置がこのような位置関係だと判断でき、図中
の３４、３５を測定し、Ｘ線強度の大きい方の点、この
例では３４を仮中心とする。そして、図中３１の左側に
ピッチの１／４の間隔で１点測定する。このようにし
て、仮中心とその両側２点ずつ、計５点のＸ線強度のデ
ータが揃う。第５図は、これらのデータを用いてリード
の中心を求める様子を模式的に示したものである。初め
に、Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５について重心ｇ１を
求める。この図において、Ｐ５は目的のリードに関係が
あると推定される距離Ｌ１よりも遠く隣のリードに関係
のあるデータである可能性が強いので、計算から除外す
る。そうして再び重心を計算したのがｇ２である。ｇ２
を基に、リードのエッジまでの距離と推定される長さＬ
２だけ離れた点Ｐ６とＰ７を測定し、これらのデータを
加えてもう一度重心ｇ３を計算し、その値を中心とす
る。
強度を各１秒ずつ測定する。このとき３点のうち、Ｘ線
強度が最大の点が真ん中の点でないときは、その外側に
同じ間隔でもう一点測定する。第３図はＸ線強度が最大
だった点がリードの中心付近にあった場合を表してい
る。この場合は、レンジ／平均値はほぼ３．０となるた
めこのような状態と判断でき、図中の２２を仮中心とす
る。そして図中２１と２２を二分する点及び、２２と２
３を二分する点の二点を測定する。第４図は最大値を示
した点がリードのエッジ付近にあった場合を表してい
る。この場合は、レンジが狭くなるため、３１、３２、
３３のレンジ／平均は０に近くなり、リード３６、リー
ド３７の位置がこのような位置関係だと判断でき、図中
の３４、３５を測定し、Ｘ線強度の大きい方の点、この
例では３４を仮中心とする。そして、図中３１の左側に
ピッチの１／４の間隔で１点測定する。このようにし
て、仮中心とその両側２点ずつ、計５点のＸ線強度のデ
ータが揃う。第５図は、これらのデータを用いてリード
の中心を求める様子を模式的に示したものである。初め
に、Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４、Ｐ５について重心ｇ１を
求める。この図において、Ｐ５は目的のリードに関係が
あると推定される距離Ｌ１よりも遠く隣のリードに関係
のあるデータである可能性が強いので、計算から除外す
る。そうして再び重心を計算したのがｇ２である。ｇ２
を基に、リードのエッジまでの距離と推定される長さＬ
２だけ離れた点Ｐ６とＰ７を測定し、これらのデータを
加えてもう一度重心ｇ３を計算し、その値を中心とす
る。
【００１１】次に、リードが試料ステージの移動方向に
対して、直角に置かれ、リードの幅がリードのピッチの
１／４程度である試料の場合について説明する。この場
合の、初めのスキャンの結果を模式的に表したのが第２
図である。単純にＸ線強度が最大の点は図中の１１であ
るが、目標とするリードは測定開始点１３に近い方であ
る可能性が強いので、最大値に対して、図中に点線で示
されるある一定の範囲内であれば測定開始点に近い方を
最大値として認識する。つまり第２図では１４を最大値
とする。この後は第一の実施例と同様にして、中心を求
める。
対して、直角に置かれ、リードの幅がリードのピッチの
１／４程度である試料の場合について説明する。この場
合の、初めのスキャンの結果を模式的に表したのが第２
図である。単純にＸ線強度が最大の点は図中の１１であ
るが、目標とするリードは測定開始点１３に近い方であ
る可能性が強いので、最大値に対して、図中に点線で示
されるある一定の範囲内であれば測定開始点に近い方を
最大値として認識する。つまり第２図では１４を最大値
とする。この後は第一の実施例と同様にして、中心を求
める。
【００１２】第三に、試料ステージの移動方向に対して
直角に置かれた単一の帯状試料の中心を求める場合を説
明する。この場合は、ピッチとして、試料の位置を検出
するのに十分な範囲を指定する。その後は、範囲と試料
の幅の比によって第一または第二の実施例と同様にし
て、中心を検出する。
直角に置かれた単一の帯状試料の中心を求める場合を説
明する。この場合は、ピッチとして、試料の位置を検出
するのに十分な範囲を指定する。その後は、範囲と試料
の幅の比によって第一または第二の実施例と同様にし
て、中心を検出する。
【００１３】第四に、試料が試料ステージの移動方向に
対して任意の角度に置かれている場合について説明す
る。この場合は、試料モニターの画像を細線化する処理
を行い、試料を直線として認識する。そして、その直線
の傾きを求め、その傾きに対して直角方向にスキャンを
行うようにすれば。第一、第二、及び第三の実施例と同
様にして中心を求めることができる。
対して任意の角度に置かれている場合について説明す
る。この場合は、試料モニターの画像を細線化する処理
を行い、試料を直線として認識する。そして、その直線
の傾きを求め、その傾きに対して直角方向にスキャンを
行うようにすれば。第一、第二、及び第三の実施例と同
様にして中心を求めることができる。
【００１４】
【発明の効果】この発明を、複数の測定位置を登録して
それらの点を自動的に連続測定する機能と組み合わせる
ことにより、リードフレームやＴＡＢ等の試料の測定に
おいて正確に希望の点の膜厚を測定できるようになり、
測定の信頼性が格段に向上する。そればかりでなく、測
定失敗点が減るので、それらの再測定に要した時間も節
約することができる。
それらの点を自動的に連続測定する機能と組み合わせる
ことにより、リードフレームやＴＡＢ等の試料の測定に
おいて正確に希望の点の膜厚を測定できるようになり、
測定の信頼性が格段に向上する。そればかりでなく、測
定失敗点が減るので、それらの再測定に要した時間も節
約することができる。
【００１５】また、試料モニターによる位置合わせが、
困難な非常に細い試料でも、位置合わせが可能になる。
いままで、このような試料の膜厚を測定する際には、試
料の幅より十分細かい間隔でスキャン測定し、そのプロ
ファイルから判断して、中心と思われる点の膜厚を採用
していたが、例えば幅０．０４ミリメートル、ピッチ
０．１ミリメートルの試料を用いた場合、測定だけでか
なりの時間がかかり、さらに人間が判断して中心を求め
ていたのに対し、本発明を用いると、およそ１８秒程度
で、中心を求めることができた。さらに、本発明では途
中で人間の判断を要しないので、操作性が向上し、測定
が迅速正確に行える等、効果の大きさは、絶大である。
困難な非常に細い試料でも、位置合わせが可能になる。
いままで、このような試料の膜厚を測定する際には、試
料の幅より十分細かい間隔でスキャン測定し、そのプロ
ファイルから判断して、中心と思われる点の膜厚を採用
していたが、例えば幅０．０４ミリメートル、ピッチ
０．１ミリメートルの試料を用いた場合、測定だけでか
なりの時間がかかり、さらに人間が判断して中心を求め
ていたのに対し、本発明を用いると、およそ１８秒程度
で、中心を求めることができた。さらに、本発明では途
中で人間の判断を要しないので、操作性が向上し、測定
が迅速正確に行える等、効果の大きさは、絶大である。
【図１】帯状の試料の中心を求める手順の流れ図
【図２】第一段階の測定で最大値を決定する模式図
【図３】最大値がリードの中心付近の場合の測定位置と
測定値の関係
測定値の関係
【図４】最大値がリードのエッジ付近の場合の測定位置
と測定値の関係
と測定値の関係
【図５】測定点と各種補正を行った場合の重心位置の関
係
係
【図６】本発明を用いる装置構成概略図
６５ 試料モニター ６６ 試料ステージ Ｐ１〜Ｐ７ 測定点 ｇ１〜ｇ３ 重心 Ｌ１ 対象となる試料に関係があるデータが、含まれる
と推定される範囲 Ｌ２ 中心からリードのエッジまでの距離
と推定される範囲 Ｌ２ 中心からリードのエッジまでの距離
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−66407（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−1910（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−210213（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−119351（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 15/00 - 15/08 G01N 23/00 - 23/227 H01J 37/26 - 37/295
Claims (3)
- 【請求項１】 制御可能で少なくとも左右または上下に
試料を移動する試料テーブルと、Ｘ線照射位置が確認可
能な試料モニター部と、Ｘ線発生部と、Ｘ線検出部と、
情報入力及び表示を行う操作部と、装置全体を制御する
装置制御部から構成される蛍光Ｘ線膜厚測定装置を用い
て、試料ステージの移動方向と直角に配置された、蛍光
Ｘ線を検出可能な、等間隔で並んだ帯状の試料または、
周りの領域と蛍光Ｘ線的に区別が可能な帯状の領域の中
心を、第一に、試料または領域の配置されているピッチ
に相当する範囲について、試料または領域の幅程度の粗
い間隔で、スキャン測定し、第二にその中でなるべく測
定開始点に近く、Ｘ線強度の強い位置を判断し、第三に
その位置と両隣の３点のＸ線強度のレンジを平均値で割
った値を用いて、第二段階でＸ線強度が大きいと判断さ
れた点と帯状の試料または領域のおよその位置関係を判
断し、第三に上記判断を基に帯状の試料または領域の周
辺をその幅の半分程度の間隔で測定し、その位置とＸ線
強度のデータの重心を求め、第四にその重心に対して、
対象とする試料または領域から離れているため無関係と
判断されるデータを除き再び重心を計算し、第五に、二
回目の重心計算結果を基に試料または領域のエッジ付近
と推定される二点を測定し、そのデータを加えて重心計
算する事によって求める方法。 - 【請求項２】 請求項１で記述した方法において、単一
の帯状の試料または領域について、ピッチとして希望探
索範囲を指定することによって、それらの中心を求める
方法。 - 【請求項３】 請求項１及び２で記述した方法におい
て、試料モニターの帯状の試料または領域の画像を、画
像処理にて細線化する事により、その角度を検知し、そ
の方向と直角にスキャンする事によって、ステージ移動
方向に対して任意の角度で置かれた帯状の試料または領
域の中心を求める方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06052493A JP3258118B2 (ja) | 1993-03-19 | 1993-03-19 | 帯状の試料の中心を検出する方法 |
| KR1019940005384A KR100288330B1 (ko) | 1993-03-19 | 1994-03-17 | 밴드형상영역의중심을서치하는방법 |
| GB9405402A GB2276448B (en) | 1993-03-19 | 1994-03-18 | Method of searching the centre of a band shaped region |
| US08/210,387 US5425066A (en) | 1993-03-19 | 1994-03-18 | Method of finding the center of a band-shaped region |
| TW083102365A TW233340B (ja) | 1993-03-19 | 1994-03-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06052493A JP3258118B2 (ja) | 1993-03-19 | 1993-03-19 | 帯状の試料の中心を検出する方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06273146A JPH06273146A (ja) | 1994-09-30 |
| JP3258118B2 true JP3258118B2 (ja) | 2002-02-18 |
Family
ID=13144793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06052493A Expired - Lifetime JP3258118B2 (ja) | 1993-03-19 | 1993-03-19 | 帯状の試料の中心を検出する方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5425066A (ja) |
| JP (1) | JP3258118B2 (ja) |
| KR (1) | KR100288330B1 (ja) |
| GB (1) | GB2276448B (ja) |
| TW (1) | TW233340B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7894312B2 (en) | 2005-04-25 | 2011-02-22 | Panasonic Corporation | Automatic gain control circuit and signal reproducing device |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2964137B2 (ja) * | 1997-04-08 | 1999-10-18 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 試料中心を検出できる蛍光ｘ線分析装置 |
| RU2180439C2 (ru) | 2000-02-11 | 2002-03-10 | Кумахов Мурадин Абубекирович | Способ получения изображения внутренней структуры объекта с использованием рентгеновского излучения и устройство для его осуществления |
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