JPH11108793A

JPH11108793A - レンズ偏心測定方法およびレンズ偏心測定装置

Info

Publication number: JPH11108793A
Application number: JP28260297A
Authority: JP
Inventors: Yoshinori Murasugi; 芳徳村杉; Hitoshi Katsuyama; 均勝山; Toshiyuki Mizuno; 利幸水野; Yoshihiro Mizuno; 義弘水野
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1997-09-30
Filing date: 1997-09-30
Publication date: 1999-04-23

Abstract

(57)【要約】【課題】レンズの偏心角を高精度で測定する。【解決手段】レーザ光源１から発生したレーザ光Ｌ₁
をコリメータレンズ４によって平行化し、同心円チャー
ト５と被検レンズＲ₁ を経て対物レンズ８の下へ結像さ
せ、画像処理カメラ９によってモニタテレビ１０に投影
する。回転軸７ａによって被検レンズＲ₁ を回転させな
がら、その外径変位を測長装置１３によって計測して外
径中心を検出し、モニタテレビ１０上の同心円パターン
Ｐ₁ のずれ量（偏心量）を演算して偏心角を求める。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、各種の光学機器等
に搭載するレンズの光軸倒れ（偏心角）を測定するため
のレンズ偏心測定方法およびレンズ偏心測定装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】各種の光学機器等においては、レンズの
外径中心を組み立て基準としたときの光学系の光軸に対
して、レンズを透過してくる透過光の光軸倒れ（偏心
角）が光学機器等の光学性能を大きく左右する。従っ
て、レンズ加工後の品質検査等では、レンズの外径中心
や透過光の光軸の傾きを迅速かつ高精度で検出すること
が、極めて重要である。

【０００３】図１３は一従来例によるレンズ偏心測定装
置を示すもので、これは、光源ランプ１０１から発生さ
れた照明光Ｌ₀ の光路に、投影チャート１０２、コリメ
ータレンズ１０３、被検レンズＲ₀ 、対物レンズ１０
４、画像処理カメラ１０５等を配設し、投影チャート１
０２を透過した照明光Ｌ₀ をコリメータレンズ１０３に
よって平行化し、被検レンズＲ₀ と対物レンズ１０４を
経て画像処理カメラ１０５に投影して、その投影パター
ンＰ₀ をモニタテレビ１０６の画面で観察し、被検レン
ズＲ₀ の回転に伴なうモニタテレビ１０６上の投影パタ
ーンＰ₀ の変位を計測し、得られた計測値から偏心角を
算出する。

【０００４】詳しく説明すると、投影チャート１０２
は、モニタテレビ１０６上の投影パターンＰ₀ の１ピッ
チが例えば偏心角３０秒に相当するように描画されたパ
ルス列を有し、モニタテレビ１０６の画面に映し出され
た投影パターンＰ₀ は、予め画面の中央に設けられた測
定基準線１０６ａとともに観察される。

【０００５】被検レンズＲ₀ を保持するレンズホルダ１
０７は、図１４に示すように、被検レンズＲ₀ の外周部
を拘束するリング状の保持部材１０７ａにそれぞれ幅ａ
を有する一対の円弧状の切欠部１０７ｂを設けたもので
あり、各切欠部１０７ｂは、レンズホルダ１０７上の被
検レンズＲ₀ を保持部材１０７ａの外側から作業者が把
持して回転させることができるように構成されている。

【０００６】被検レンズＲ₀ の偏心角の測定は以下のよ
うに行なわれる。まず、図１３に示すハンドル１０８ａ
を操作して、対物レンズ１０４と画像処理カメラ１０５
を支持するテーブル１０８を矢印ｃで示すように上下動
させ、モニタテレビ１０６の画面に投影チャート１０２
の投影パターンＰ₀ を映し出す。図１５に示すように、
レンズホルダ１０７上の被検レンズＲ₀ の外周縁をレン
ズホルダ１０７の保持部材１０７ａの所定の部位に当接
してこれを回転基準ｄとし、作業者が指で被検レンズＲ
₀ を矢印ｆ，ｇで示す方向に押しながら、矢印ｅで示す
ように回転させる。

【０００７】図１６は、このようにして被検レンズＲ₀
を回転させたときのモニタテレビ１０６の画面を示す。
回転開始前の投影パターンＰ₀ の測定基準線１０６ａの
中心ｎ１に位置する部位Ｐｅに着目して、この部位Ｐｅ
が、被検レンズＲ₀ が３６０度回転する間に破線で示す
円上をｎ１→ｎ２→ｎ３→ｎ４→ｎ１と移動するのを観
察する。被検レンズＲ₀ が１８０度回転したときの投影
パターンＰ₀ の部位Ｐｅの移動量を投影パターンＰ₀ の
パルスのピッチ数として目測し、図１６のように２ピッ
チであれば、前述のように１ピッチが偏心角３０秒に相
当するように設定されているため、ｋ（偏心角）＝３０
×２＝６０秒となる。

【０００８】図１７および図１８は偏心角ｋと結像面Ｑ
に結像する投影チャート１０２のパルス列の移動量ｒの
関係を説明するものである。図１７に示すように、被検
レンズＲ₀ の外周縁をレンズホルダ１０７の回転基準ｄ
に当接した状態で、矢印ｅの方向に被検レンズＲ₀ を１
８０度回転させたとき、被検レンズＲ₀ の光軸に傾きが
なければ、結像面Ｑ上のパルス列は移動しない。

【０００９】ところが、図１８に示すように、被検レン
ズＲ₀ の光軸が傾斜していると、被検レンズＲ₀ の回転
に伴なって結像面Ｑ上のパルス列は円ｎに沿って移動す
るため、被検レンズＲ₀ を１８０度回転させたときのパ
ルス列の移動量ｒを計測すれば、投影チャート１０２か
ら結像面Ｑまでの光路の長さに基づいて、被検レンズＲ
₀ の光軸の傾きすなわち偏心角ｋを求めることができ
る。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、被検レンズを指で回転させる作業が難
しいうえに、モニタテレビ上の投影パターンの移動量を
目測で計測するものであるために個人差が出やすい等の
未解決の課題がある。

【００１１】詳しく説明すると、被検レンズが例えばφ
１０以下の小径レンズであると、熟練した作業者でも指
で回すのが困難で、被検レンズの回転にムラが出るた
め、投影パターンの移動が不安定になり、測定誤差が大
きくなる。

【００１２】また、被検レンズの寸法等が変わると、図
１９に示すように投影パターン全体の大きさが変化する
ため、パルス数を読み違える等のトラブルが発生する。
加えて、投影パターンのパルス列の目盛幅が狭くなり過
ぎると、目測による誤差が大きくなって必要な精度を得
ることができない。

【００１３】さらに、図２０に示すように、モニタテレ
ビの画面で投影パターンがボケることによる測定誤差を
避けることができず、また、測定値に個人差が出やす
い。特に投影パターンが小さくなると、ボケによる精度
低下が著しく、個人差もより一層大きくなる。

【００１４】本発明は上記従来の技術の有する未解決の
課題に鑑みてなされたものであり、測定精度が極めて高
く、測定値の個人差が少なくて、しかも、小径のレンズ
でも測定精度が著しく低下することなく、測定作業が簡
単で、特別な技能等を必要とすることもないレンズ偏心
測定方法およびレンズ偏心測定装置を提供することを目
的とするものである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明のレンズ偏心測定方法は、回転手段によって
所定の軸のまわりに被検レンズを回転させ、前記軸に対
する前記被検レンズの外径中心の振れと前記被検レンズ
の透過光による投影パターンの振れをそれぞれ計測する
工程と、計測された外径中心の振れと投影パターンの振
れを演算処理することによって偏心角を検出する工程を
有することを特徴とする。

【００１６】被検レンズを回転させながらその外径変位
を測長手段によって計測することで前記被検レンズの外
径中心を検出するとよい。

【００１７】被検レンズの回転角度に基づいて投影パタ
ーンの変位を画像処理することで前記投影パターンの振
れを計測するとよい。

【００１８】また、本発明のレンズ偏心測定装置は、所
定の軸のまわりに被検レンズを回転させる回転手段と、
該回転手段の回転角度を検出する位相検出手段と、前記
被検レンズの外径変位を計測する測長手段と、前記被検
レンズの透過光によって投影チャートの投影パターンを
得る投影光学系と、前記投影パターンの変位を画像処理
する画像処理手段と、前記位相検出手段の出力と前記測
長手段の出力に基づいて前記被検レンズの外径中心の振
れを計測するとともに、前記位相検出手段の出力と前記
画像処理手段の出力に基づいて前記投影パターンの振れ
を計測する演算処理手段を有することを特徴とする。

【００１９】投影光学系が、コリメータレンズによって
平行化された照明光を投影チャートに照射し、被検レン
ズを透過させた透過光によって投影パターンを得るよう
に構成されているとよい。

【００２０】投影チャートが同心円チャートであるとよ
い。

【００２１】所定の軸に対して被検レンズを大まかに芯
出しするための移動手段が設けられているとよい。

【００２２】

【作用】回転手段に被検レンズを保持させてこれを回転
させながら被検レンズの外径変位を計測し、外径中心を
検出して回転軸に対する振れを計測する一方で、レーザ
光等を同心円チャート等の投影チャートに照射し、被検
レンズを経て所定の結像面に結像させて得られる投影パ
ターンを画像処理することで、回転軸に対する投影パタ
ーンの振れを計測する。

【００２３】このようにして計測された被検レンズの外
径中心の振れと投影パターンの振れを演算処理すること
で、被検レンズの外径中心に対する結像位置のずれを算
出し、被検レンズの透過光の光軸の倒れすなわち偏心角
を求める。

【００２４】被検レンズを回転手段によって回転するも
のであるため、作業者が指で被検レンズを回転させた場
合のように被検レンズの回転が不安定になったり、ある
いは、被検レンズが小径であるときに特別な技能が必要
になったり、作業性が低下する等の心配はない。

【００２５】また、測長手段によって被検レンズの外径
中心を極めて正確に検出し、外径中心の振れや投影パタ
ーンの振れも演算処理手段によって自動的に算出される
ため、極めて高精度の計測を行なうことができる。投影
パターンのパルス数等を目測で計測する場合に比べて誤
差が少なくて、計測値の個人差もない。

【００２６】加えて、投影パターンを高感度のカメラに
よって画像処理することで、測定精度を大幅に向上でき
る。

【００２７】また、コリメータレンズによって平行化さ
れたレーザ光等の照明光を同心円チャートに照射し、被
検レンズを透過させることによって投影パターンを得る
ように構成された高性能な投影光学系を用いるものであ
るため、投影パターンの鮮明度が高く、その結果、測定
精度がより一層向上する。

【００２８】さらに、被検レンズの偏心角と外径中心を
同一計測工程において検出することができるという利点
もある。

【００２９】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００３０】図１は一実施の形態によるレンズ偏心測定
装置を示すもので、これは、レーザ光源１から発生され
た照明光であるレーザ光Ｌ₁ の光路に、投影光学系であ
るフイルタ２、エキスパンダ３、コリメータレンズ４、
投影チャートである同心円チャート５、位相検出手段で
ある位相センサ６、レンズホルダ７、対物レンズ８、画
像処理手段である画像処理カメラ９等を配設し、同心円
チャート５に描画された複数の同心円をレンズホルダ７
に保持された被検レンズＲ₁ によって画像処理カメラ９
の対物レンズ８に投影し、投影パターンである同心円パ
ターンＰ₁ をモニタテレビ１０上に映し出す。

【００３１】レンズホルダ７は図示しないモータによっ
て回転される回転手段である回転軸７ａに保持されてこ
れと一体的に回転する。回転軸７ａの回転中心（軸）は
レーザ光Ｌ₁ の光軸Ｌｅと一致するように配設される。
回転軸７ａの回転角度すなわち被検レンズＲ₁ の回転角
度は位相センサ６によって計測され、演算処理手段であ
る演算処理装置１１に導入される。

【００３２】被検レンズＲ₁ は、図２に示すように、レ
ンズホルダ７の上端に載置され、レンズホルダ７の中空
部Ｈ₁ を排気することによって得られる真空吸着力によ
って固定され、レンズホルダ７とともに回転する。被検
レンズＲ₁ が図２の（ａ）に示すように凸面レンズであ
っても、あるいは、同図の（ｂ）に示すように凹面レン
ズＲ₂ であっても、レンズホルダ７の中空部Ｈ₁ の真空
吸着力によって同様に安定保持することができる。

【００３３】レーザ光源１から発生されたレーザ光Ｌ₁
は、図３に示すように、フイルタ２によって光量調節を
行ない、エキスパンダ３によって拡大し、コリメータレ
ンズ４によって平行化されて同心円チャート５を透過
し、同心円チャート５の複数の同心円を被検レンズＲ₁
によって対物レンズ８の下に投影する。このような投影
光学系を用いることで、被検レンズＲ₁ と対物レンズ８
の間の任意の結像面Ｓ１，Ｓ２において同様に鮮明な同
心円パターンを得ることができる。

【００３４】対物レンズ８に結像する同心円パターンＰ
₁ を画像処理カメラ９によって画像処理し、モニタテレ
ビ１０の画面に映し出す。

【００３５】回転軸７ａの回転によって被検レンズＲ₁
が回転すると、モニタテレビ１０の画面の同心円パター
ンＰ₁ は、図４に破線で示すように、レーザ光Ｌ₁ の光
軸Ｌｅを中心とする円軌道に沿って移動する。後述する
ように、同心円パターンＰ₁の位相角αと円軌道の半径
等によって、被検レンズＲ₁ の透過光の結像位置を検出
できる（図１１参照）。

【００３６】レンズホルダ７に吸着された被検レンズＲ
₁ がレーザ光Ｌ₁ の光路から大きくはずれていると、同
心円パターンＰ₁ をモニタテレビ１０の画面の中心部１
０ａに映し出すことができない（図５参照）。このよう
な場合には、レンズホルダ７の側傍に配設された移動手
段である移送テーブル１２を駆動して被検レンズＲ₁の
位置を調節する大まかな芯出しを行なう。

【００３７】移送テーブル１２は、図６に示すように、
被検レンズＲ₁ の外周縁に係合自在であるＶ型移送板１
２ａと、該Ｖ型移送板１２ａをレーザ光Ｌ₁ の光軸方向
（Ｚ軸方向）に移動させる軸方向粗動移動用マイクロメ
ータ１２ｂと、光軸Ｌｅに直交する２軸の方向（Ｘ軸方
向、Ｙ軸方向）にそれぞれＶ型移送板１２ａを微動調節
する超微動移動用マイクロメータ１２ｃ，１２ｄを有す
る。Ｖ型移送板１２ａによって被検レンズＲ₁ の外周縁
を把持し、モニタテレビ１０の画面を見ながら軸方向粗
動移動用マイクロメータ１２ｂおよび超微動移動用マイ
クロメータ１２ｃ，１２ｄをそれぞれ駆動して、被検レ
ンズＲ₁ を移動させ、同心円パターンＰ₁ がモニタテレ
ビ１０の画面の中心部１０ａに入るように調節する。

【００３８】被検レンズＲ₁ を挟んで移送テーブル１２
の反対側には、被検レンズＲ₁ の外径中心を検出する測
長手段である測長装置１３が配設される。測長装置１３
は、被検レンズＲ₁ の外周縁（外径部）にプローブ（測
長測定子）１３ａを接触させ、回転軸７ａを駆動して被
検レンズＲ₁ を回転させながらプローブ１３ａの変位を
メータ１３ｂで読み取って演算処理装置１１へ導入す
る。

【００３９】プローブ１３ａを支持する調節台１３ｃ
は、図７の（ｃ）に示すように、粗動送り１３ｄと微動
送り１３ｅを有し、微動送り１３ｅに固定されたホルダ
１３ｆにプローブ１３ａが保持される。図７の（ａ）に
示すように、プローブ１３ａを被検レンズＲ₁ から離間
させた状態で被検レンズＲ₁ をレンズホルダ７上に載置
し、レンズホルダ７に安定保持させた状態で、（ｂ）に
示すように、粗動送り１３ｄを駆動してプローブ１３ａ
を被検レンズＲ₁ に急接近させる。続いて、メータ１３
ｂの指針を観測しながら、微動送り１３ｅを駆動してプ
ローブ１３ａを被検レンズＲ₁ の外周縁に接触させ、メ
ータ１３ｂの指針を任意の振れ以内に合わせる。

【００４０】このような大まかな芯出しを行なったうえ
で、回転軸７ａを回転させて、メータ１３ｂの出力と位
相センサ６の出力に基づいて外径中心を算出する。演算
処理装置１１における演算は以下のように行なわれる。

【００４１】位相センサ６によって被検レンズＲ₁ の回
転角度を計測しながら、その回転中心すなわちレーザ光
Ｌ₁ の光軸Ｌｅに対する外径変位を計測し、図８に示す
グラフを得る。最大振れの位置を基準位置０度として、
このときの振れ幅Ｍを求めれば、図９および図１０に示
すように、光軸Ｌｅに対する被検レンズＲ₁ の外径中心
の振れは、位相角０度で振れ量Ｍ／２と算出される。

【００４２】他方、前述のように、光軸Ｌｅに対する被
検レンズＲ₁ の結像位置のずれは、モニタテレビ１０上
の同心円パターンＰ₁ の変位に基づいて検出される。す
なわち、図１１に示すように、被検レンズＲ₁ が基準位
置０度の回転位置（位相）にあるときの同心円パターン
Ｐ₁ の位相角αと同心円パターンＰ₁ の軌道半径Ｔを求
める。

【００４３】被検レンズＲ₁ の基準位置（０度）におけ
る外径中心の振れ量Ｍ／２と、同心円パターンＰ₁ の振
れの位相角α、光軸Ｌｅからの振れ量Ｔから、図１２の
（ａ）に示すように、被検レンズＲ₁ の外径中心Ｖに対
する同心円パターンＰ₁ の偏心量Ｕを求める。詳しく説
明すると、基準位置０度において光軸ＬｅからＭ／２だ
け偏心した位置が外径中心Ｖであるから、この位置から
同心円パターンＰ₁ までの距離Ｕが偏心量となり、これ
は、以下のように算出される。

【００４４】

【数１】図１２の（ｂ）に示すように、同心円パターンＰ₁ の結
像面Ｎと被検レンズＲ₁ の離間距離Ｗとすれば偏心角≒
Ｚは以下のように算出される。

【００４５】

【数２】離間距離Ｗについては、一般的に５０〜１００ｍｍ程度
で計測を行なうため、±２ｍｍ程度の誤差があっても、
測定精度は大きな影響を受けることはない。

【００４６】例えば、離間距離Ｗが５０ｍｍであると
き、測定誤差が±２ｍｍであれば、その比率は２÷５０
×１００＝４％であるから、偏心角Ｚの測定値が５秒で
あれば誤差の影響度は０．２秒以下、偏心角Ｚの測定範
囲が１００秒であれば誤差の影響度は４．０秒以下であ
る。

【００４７】本実施の形態によれば、回転軸によって被
検レンズを回転させながら外径変位を自動的に検出して
外径中心を算出するとともに、同心円チャートを被検レ
ンズによって投影した同心円パターンの変位（偏心量）
を求めて演算処理することによって偏心角を検出するも
のであるため、従来例のように、被検レンズを指で回転
させたり、目測で被検レンズの投影パターンの変位を読
み取る必要がない。すなわち、高精度の回転軸を使用す
ることによって被検レンズの回転を安定させ、外径中心
を極めて高精度で検出できるうえに、高精度の投影光学
系と画像処理カメラを用いて同心円パターンの位置を正
確に計測できる。

【００４８】このように被検レンズの外径中心と結像位
置を極めて高精度で計測し、演算処理装置における演算
処理によって偏心角を算出するものであるから、偏心角
の測定精度は大幅に向上する。またすべて自動で行なわ
れるため、測定値の個人差はない。加えて、小径のレン
ズであっても、測定精度が低下することなく、測定作業
も極めて簡素化されるという特筆すべき長所がある。

【００４９】図１の装置を用いて偏心角を測定した場合
と従来例による装置を用いた場合を比較したところ、表
１に示す通りであった。

【００５０】

【表１】

【００５１】

【発明の効果】本発明は上述のように構成されているの
で、以下に記載するような効果を奏する。

【００５２】レンズの偏心角の計測を極めて高精度で行
なうことができるうえに、測定作業が簡単で特別な技能
を必要とすることなく、また、レンズが小径であっても
著しい測定誤差を生じるおそれもない。

【００５３】加えて、レンズを回転させる作業や計測値
を読み取る作業を自動的に行ない、演算処理によって偏
心角を求めるものであるから、計測値の信頼性が大幅に
向上し、測定値に個人差が出ることはない。

【００５４】さらに、レンズの偏心角と外径中心を同一
工程において検出できるという利点もある。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施の形態によるレンズ偏心測定装置を説明
する図である。

【図２】レンズホルダに吸着された被検レンズが凸面レ
ンズである場合と、凹面レンズである場合を示すもので
ある。

【図３】図１の装置の投影光学系を説明する図である。

【図４】モニタテレビ上の同心円パターンを説明する図
である。

【図５】モニタテレビ上に同心円パターンが映らない状
態を示す図である。

【図６】被検レンズの位置を調節する方法を説明する図
である。

【図７】被検レンズの外径変位を計測するプローブを調
節する方法を説明する図である。

【図８】被検レンズの外径の振れを示すグラフである。

【図９】被検レンズの外径変位から外径中心を得る方法
を説明する図である。

【図１０】図９の被検レンズとプローブを示す立面図で
ある。

【図１１】モニタテレビ上の同心円パターンの位置を説
明する図である。

【図１２】被検レンズの外径中心とモニタテレビ上の同
心円パターンの位置から被検レンズの偏心角を算出する
方法を説明する図である。

【図１３】一従来例を説明する図である。

【図１４】図１３の装置のレンズホルダを示す図であ
る。

【図１５】図１３の装置において被検レンズを回転させ
る方法を示す図である。

【図１６】図１３の装置のモニタテレビ上の投影パター
ンを説明する図である。

【図１７】図１３の光学系に対する被検レンズの位置を
説明する図である。

【図１８】図１３の光学系と被検レンズとその結像位置
を示す図である。

【図１９】被検レンズの大きさが変わったときのモニタ
テレビの画面の変化を示す図である。

【図２０】モニタテレビの画面で投影パターンがボケた
ときを説明する図である。

【符号の説明】

１レーザ光源４コリメータレンズ５同心円チャート６位相センサ７レンズホルダ７ａ回転軸９画像処理カメラ１０モニタテレビ１１演算処理装置１２移送テーブル１３測長装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者水野義弘東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転手段によって所定の軸のまわりに被
検レンズを回転させ、前記軸に対する前記被検レンズの
外径中心の振れと前記被検レンズの透過光による投影パ
ターンの振れをそれぞれ計測する工程と、計測された外
径中心の振れと投影パターンの振れを演算処理すること
によって偏心角を検出する工程を有するレンズ偏心測定
方法。
【請求項２】被検レンズを回転させながらその外径変
位を測長手段によって計測することで前記被検レンズの
外径中心を検出することを特徴とする請求項１記載のレ
ンズ偏心測定方法。
【請求項３】検出された被検レンズの外径中心と前記
被検レンズの回転角度に基づいて、前記外径中心の振れ
を計測することを特徴とする請求項２記載のレンズ偏心
測定方法。
【請求項４】被検レンズの回転角度に基づいて投影パ
ターンの変位を画像処理することで前記投影パターンの
振れを計測することを特徴とする請求項１ないし３いず
れか１項記載のレンズ偏心測定方法。
【請求項５】所定の軸のまわりに被検レンズを回転さ
せる回転手段と、該回転手段の回転角度を検出する位相
検出手段と、前記被検レンズの外径変位を計測する測長
手段と、前記被検レンズの透過光によって投影チャート
の投影パターンを得る投影光学系と、前記投影パターン
の変位を画像処理する画像処理手段と、前記位相検出手
段の出力と前記測長手段の出力に基づいて前記被検レン
ズの外径中心の振れを計測するとともに、前記位相検出
手段の出力と前記画像処理手段の出力に基づいて前記投
影パターンの振れを計測する演算処理手段を有するレン
ズ偏心測定装置。
【請求項６】投影光学系が、コリメータレンズによっ
て平行化された照明光を投影チャートに照射し、被検レ
ンズを透過させた透過光によって投影パターンを得るよ
うに構成されていることを特徴とする請求項５記載のレ
ンズ偏心測定装置。
【請求項７】投影チャートが、同心円チャートである
ことを特徴とする請求項５または６記載のレンズ偏心測
定装置。
【請求項８】所定の軸に対して被検レンズを大まかに
芯出しするための移動手段が設けられていることを特徴
とする請求項５ないし７いずれか１項記載のレンズ偏心
測定装置。