JP3027046B2 - フェルール偏芯検査方法 - Google Patents
フェルール偏芯検査方法Info
- Publication number
- JP3027046B2 JP3027046B2 JP03348192A JP34819291A JP3027046B2 JP 3027046 B2 JP3027046 B2 JP 3027046B2 JP 03348192 A JP03348192 A JP 03348192A JP 34819291 A JP34819291 A JP 34819291A JP 3027046 B2 JP3027046 B2 JP 3027046B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ferrule
- center
- coordinate point
- eccentricity
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバーを相互に
接続するためのファイバー接続用治具（フェルール）の
偏芯を検査するためのフェルール偏芯検査方法に関す
る。
接続するためのファイバー接続用治具（フェルール）の
偏芯を検査するためのフェルール偏芯検査方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、細径の光ファイバーを相互に接
続するために、図９に示す如く、フェルールと呼ばれる
ファイバー接続用治具１０１が知られている。上記フェ
ルール１０１は、上記光ファイバーを通すための細径の
穴１０３をその軸方向に有しており、図１０に示す如く
に、相互に接続される２本の光ファイバー１０５、１０
７をそれぞれのフェルール１０１の穴１０３に入れ、そ
れぞれのフェルール１０１の一端面１０５まで挿入し、
それぞれのフェルール１０１の一端面同志を図示しない
接合機具で接触させるとともに、かしめを行ない、上記
フェルール１０１および光ファイバー１０５、１０７同
志を接続させるようになっている。
続するために、図９に示す如く、フェルールと呼ばれる
ファイバー接続用治具１０１が知られている。上記フェ
ルール１０１は、上記光ファイバーを通すための細径の
穴１０３をその軸方向に有しており、図１０に示す如く
に、相互に接続される２本の光ファイバー１０５、１０
７をそれぞれのフェルール１０１の穴１０３に入れ、そ
れぞれのフェルール１０１の一端面１０５まで挿入し、
それぞれのフェルール１０１の一端面同志を図示しない
接合機具で接触させるとともに、かしめを行ない、上記
フェルール１０１および光ファイバー１０５、１０７同
志を接続させるようになっている。
【０００３】従って、上述の如き使用目的を有するフェ
ルール１０１は、その軸方向の穴１０３が、フェルール
の外周に対して常に中心でなければならないものであっ
た。すなわち、２つのフェルールの穴が中心から大きく
ずれている場合、言い換えるならある一定量以上に偏芯
している場合、その２つのフェルールを使って２本のフ
ァイバーを接続すると、ファイバーの接続面も大きくず
れるため、その接続面を通して情報が十分に伝達されな
くなってしまうものであった。
ルール１０１は、その軸方向の穴１０３が、フェルール
の外周に対して常に中心でなければならないものであっ
た。すなわち、２つのフェルールの穴が中心から大きく
ずれている場合、言い換えるならある一定量以上に偏芯
している場合、その２つのフェルールを使って２本のフ
ァイバーを接続すると、ファイバーの接続面も大きくず
れるため、その接続面を通して情報が十分に伝達されな
くなってしまうものであった。
【０００４】例えば、フェルールの外径が２．５ｍｍ
で、穴の外径すなわちフェルールの内径が１２５μｍと
した場合、上記偏芯量は０．７μｍ以下でなければなら
ないものであった。
で、穴の外径すなわちフェルールの内径が１２５μｍと
した場合、上記偏芯量は０．７μｍ以下でなければなら
ないものであった。
【０００５】そのため、上記フェルールの製造工程等に
おいて上記フェルールの穴の偏芯を検査することが必要
となるものであり、従来においては以下に説明する如く
のフェルール偏芯検査方法が提案されている。
おいて上記フェルールの穴の偏芯を検査することが必要
となるものであり、従来においては以下に説明する如く
のフェルール偏芯検査方法が提案されている。
【０００６】従来のフェルール偏芯検査方法としては、
特殊な把持回転機構によってフェルールを把持し、その
後、１８０°回転させ、１台の光学顕微鏡によってフェ
ルールの穴の位置を検査し、上記穴のフェルール外周に
対する偏芯量を検出するものであった。すなわち、図１
１（ａ）の表示画面に示す如くに、上記光学顕微鏡上に
おけるフェルールの穴の仮想原点（Ｘｏ、Ｙｏ）を設定
し、その後上記把持回転機構によって把持されたフェル
ールの上記光学顕微鏡上における穴の中心点位置（Ｘ
1 、Ｙ1 ）を測定する（図１１（ｂ））。その後、上記
把持回転機構によってフェルールを１８０°回転させ、
回転させた後の上記光学顕微鏡上における穴の中心点位
置（Ｘ2 、Ｙ2 ）を測定する（図１１（ｃ））。そし
て、上記回転前の中心点位置（Ｘ1 、Ｙ1 ）および回転
後の中心点位置（Ｘ2 、Ｙ2 ）を式ｌ3 ＝（Ｘ1 −Ｘ
2 ）2 ＋（Ｙ1 −Ｙ2 ）2 ／２に代入して、偏芯量ｌ3
を検出しているものであった。
特殊な把持回転機構によってフェルールを把持し、その
後、１８０°回転させ、１台の光学顕微鏡によってフェ
ルールの穴の位置を検査し、上記穴のフェルール外周に
対する偏芯量を検出するものであった。すなわち、図１
１（ａ）の表示画面に示す如くに、上記光学顕微鏡上に
おけるフェルールの穴の仮想原点（Ｘｏ、Ｙｏ）を設定
し、その後上記把持回転機構によって把持されたフェル
ールの上記光学顕微鏡上における穴の中心点位置（Ｘ
1 、Ｙ1 ）を測定する（図１１（ｂ））。その後、上記
把持回転機構によってフェルールを１８０°回転させ、
回転させた後の上記光学顕微鏡上における穴の中心点位
置（Ｘ2 、Ｙ2 ）を測定する（図１１（ｃ））。そし
て、上記回転前の中心点位置（Ｘ1 、Ｙ1 ）および回転
後の中心点位置（Ｘ2 、Ｙ2 ）を式ｌ3 ＝（Ｘ1 −Ｘ
2 ）2 ＋（Ｙ1 −Ｙ2 ）2 ／２に代入して、偏芯量ｌ3
を検出しているものであった。
【０００７】しかしながら、上述の如く従来のフェルー
ル検査偏芯方法では、特殊な把持回転機構によって精度
良くフェルールを把持回転させなければならず、そのた
め上記把持回転機構が非常に大型化すると共に高価にな
るという欠点を有していた。すなわち、上記高精度の機
械的回転を実現するためには必然的に高いコストがかか
るという問題を有していた。また、回転工程を有してい
るため、測定時間が長くなってしまうという欠点をも有
していた。更に、上記従来のフェルール検査方法では、
回転動作を伴うため、前記０．７μｍ前後の偏芯量を精
度良く検出することが困難であった。
ル検査偏芯方法では、特殊な把持回転機構によって精度
良くフェルールを把持回転させなければならず、そのた
め上記把持回転機構が非常に大型化すると共に高価にな
るという欠点を有していた。すなわち、上記高精度の機
械的回転を実現するためには必然的に高いコストがかか
るという問題を有していた。また、回転工程を有してい
るため、測定時間が長くなってしまうという欠点をも有
していた。更に、上記従来のフェルール検査方法では、
回転動作を伴うため、前記０．７μｍ前後の偏芯量を精
度良く検出することが困難であった。
【０００８】
【発明の目的】本発明は、上述の如き従来の問題点に鑑
みてなされたものであり、その目的は、フェルールの回
転動作を伴わずに、低コストでフェルールの穴の偏芯量
を精度良く検出することができるフェルール偏芯検査方
法を提供することである。
みてなされたものであり、その目的は、フェルールの回
転動作を伴わずに、低コストでフェルールの穴の偏芯量
を精度良く検出することができるフェルール偏芯検査方
法を提供することである。
【０００９】
【発明の概要】上記の目的を達成するために、本発明の
特徴は、フェルール偏芯検査方法にして、前もって用意
された偏芯のないフェルールマスターゲージの穴の第１
の方向における第１の中心位置及び上記フェルールマス
ターゲージの穴の上記第１の方向と直交する第２の方向
における第２の中心位置を検出する工程と、上記第１及
び第２の中心位置を合成して基準中心座標点を得る工程
と、上記第１及び第２の中心位置を合成して基準中心座
標点を得る工程と、被測定フェルールの穴の上記第１の
方向における第３の中心位置及び上記被測定フェルール
の穴の上記第２の方向における第４の中心位置を検出す
る工程と、上記第３及び第４の中心位置を合成して測定
中心座標点を得る工程と、上記被測定フェルールの偏芯
量を検出するために上記基準中心座標点と上記測定中心
座標点との差を得る工程と、上記被測定フェルールの偏
芯量が前もって設定された許容値内であるか否かを判定
する工程とを具備している構成に存する。
特徴は、フェルール偏芯検査方法にして、前もって用意
された偏芯のないフェルールマスターゲージの穴の第１
の方向における第１の中心位置及び上記フェルールマス
ターゲージの穴の上記第１の方向と直交する第２の方向
における第２の中心位置を検出する工程と、上記第１及
び第２の中心位置を合成して基準中心座標点を得る工程
と、上記第１及び第２の中心位置を合成して基準中心座
標点を得る工程と、被測定フェルールの穴の上記第１の
方向における第３の中心位置及び上記被測定フェルール
の穴の上記第２の方向における第４の中心位置を検出す
る工程と、上記第３及び第４の中心位置を合成して測定
中心座標点を得る工程と、上記被測定フェルールの偏芯
量を検出するために上記基準中心座標点と上記測定中心
座標点との差を得る工程と、上記被測定フェルールの偏
芯量が前もって設定された許容値内であるか否かを判定
する工程とを具備している構成に存する。
【００１０】
【実施例】以下、図面を参照して本発明を実施したフェ
ルール偏芯検査方法について説明する。なお、このフェ
ルール偏芯検査方法は、フェルールの回転動作なしでそ
の偏芯量を測定できるもので、以下の如きフェルール偏
芯検査装置を使用しているものである。
ルール偏芯検査方法について説明する。なお、このフェ
ルール偏芯検査方法は、フェルールの回転動作なしでそ
の偏芯量を測定できるもので、以下の如きフェルール偏
芯検査装置を使用しているものである。
【００１１】図１に示す如くに、本発明方法を実施する
ためのフェルール偏芯検査装置１は、フェルール３を非
常に精度良く回転なしで固定把持するためのワーククラ
ンプエアスライドチャック５と、上記チェック５に把持
されたフェルール３の穴の横方向Ｘにおける中心位置
（Ｘ1 ）を測定するための横方向Ｘに対しての分解能の
高い第１の高解像度ＣＣＤカメラ７と、上記チャック５
に把持されたフェルール３の穴の縦方向Ｙにおける中心
位置（Ｙ1 ）を測定するための縦方向Ｙに対しての分解
能の高い第２の高解像度ＣＣＤカメラ９と、上記第１お
よび第２のＣＣＤカメラ７、９にそれぞれ接続された第
１および第２のＣＲＴモニタ１１、１３と、上記チャッ
ク５に把持されたフェルール３の下方向からの光像を上
記第１および第２のＣＣＤカメラ７、９に導くための第
１および第２の対物レンズ１５、１７および第１および
第２のハーフプリズム１９、２１とを有しており、さら
に、上記第１のハーフプリズム１９を通して上記フェル
ールを下方向から照明する照明ランプ２３および初期調
節におけるチャック中心位置検出のための光学基準チャ
ート２５を照明するためのチャート灯光ランプ２７を有
している。
ためのフェルール偏芯検査装置１は、フェルール３を非
常に精度良く回転なしで固定把持するためのワーククラ
ンプエアスライドチャック５と、上記チェック５に把持
されたフェルール３の穴の横方向Ｘにおける中心位置
（Ｘ1 ）を測定するための横方向Ｘに対しての分解能の
高い第１の高解像度ＣＣＤカメラ７と、上記チャック５
に把持されたフェルール３の穴の縦方向Ｙにおける中心
位置（Ｙ1 ）を測定するための縦方向Ｙに対しての分解
能の高い第２の高解像度ＣＣＤカメラ９と、上記第１お
よび第２のＣＣＤカメラ７、９にそれぞれ接続された第
１および第２のＣＲＴモニタ１１、１３と、上記チャッ
ク５に把持されたフェルール３の下方向からの光像を上
記第１および第２のＣＣＤカメラ７、９に導くための第
１および第２の対物レンズ１５、１７および第１および
第２のハーフプリズム１９、２１とを有しており、さら
に、上記第１のハーフプリズム１９を通して上記フェル
ールを下方向から照明する照明ランプ２３および初期調
節におけるチャック中心位置検出のための光学基準チャ
ート２５を照明するためのチャート灯光ランプ２７を有
している。
【００１２】すなわち、第１のＣＣＤカメラ７の分解Ｓ
1 は、横方向Ｘにおいて、Ｓ1x＝２０４８となってお
り、縦方向Ｙにおいて、Ｓ1Y＝５１２となっており、第
２のＣＣＤカメラ９の分解能Ｓ2 は、横方向Ｘにおい
て、Ｓ2X＝５１２となっており、縦方向Ｙにおいて、Ｓ
2Y＝２０４８となっている。ここで、上記第１及び第２
のＣＲＴモニタ１１、１３は特別に設けなくてもよいも
のである。
1 は、横方向Ｘにおいて、Ｓ1x＝２０４８となってお
り、縦方向Ｙにおいて、Ｓ1Y＝５１２となっており、第
２のＣＣＤカメラ９の分解能Ｓ2 は、横方向Ｘにおい
て、Ｓ2X＝５１２となっており、縦方向Ｙにおいて、Ｓ
2Y＝２０４８となっている。ここで、上記第１及び第２
のＣＲＴモニタ１１、１３は特別に設けなくてもよいも
のである。
【００１３】そして、上記フェルール偏芯検査装置１
は、さらに、図２に示す如くに、上記第１のＣＣＤカメ
ラ７の分解能の高い横方向Ｘにおける中心位置（Ｘ）と
上記第２のＣＣＤカメラ９の分解能の高い縦方向Ｙにお
ける中心位置（Ｙ）とを後述する如くの方法で合成し、
上記第３のＣＲＴモニタ３１上に表示するとともに、後
述するフェルールマスターゲージによる平均基準中心座
標点と被測定フェルールによる測定平均中心座標点とを
比較し、その両者の差Ｚが前もって決められた許容値Ｎ
内であるか否かを判定するためのカメラコントローラ３
３、コンピュータシステム３５、およびボード類３７を
内部回路として有している。すなわち、上記合成方法と
しては、上記横方向Ｘにおける中心位置（Ｘ）をＸ座標
値とし、上記縦方向における中心位置（Ｙ）をＹ座標値
として中心座標点（Ｘ、Ｙ）を得ているものである。ま
た、上記コンピュータシステム３５は、図示の如くに専
用のＣＲＴを有しているものである。また、図３に示す
如くに、上記フェルールを非常に精度良く回転なしで固
定なしで固定把持するためのワーククランプエアスライ
ドチャック５は、その内部に外部からの空気圧によって
可動する弾性部材４１を有しており、その弾性部材４１
に空気圧により直接均等な膜弾性変形を生じさせ、その
高精度な復元性を利用して、その複数の把持爪４３を動
作させて上記フェルール３を把持するものである。すな
わち、図３において点線で示す如くに、弾性部材４１に
空気圧を加えて弾性変形させ、被把持状態として、フェ
ルールを把持爪４３の間に挿入し、その後、実線で示す
如くに、空気圧を零として弾性部材４１を復元させ、把
持爪４３によってフェルール３を把持する様になってい
る。上記チャック５によれば、把持のくり返り精度は
０．２５μｍ以下となるものである。
は、さらに、図２に示す如くに、上記第１のＣＣＤカメ
ラ７の分解能の高い横方向Ｘにおける中心位置（Ｘ）と
上記第２のＣＣＤカメラ９の分解能の高い縦方向Ｙにお
ける中心位置（Ｙ）とを後述する如くの方法で合成し、
上記第３のＣＲＴモニタ３１上に表示するとともに、後
述するフェルールマスターゲージによる平均基準中心座
標点と被測定フェルールによる測定平均中心座標点とを
比較し、その両者の差Ｚが前もって決められた許容値Ｎ
内であるか否かを判定するためのカメラコントローラ３
３、コンピュータシステム３５、およびボード類３７を
内部回路として有している。すなわち、上記合成方法と
しては、上記横方向Ｘにおける中心位置（Ｘ）をＸ座標
値とし、上記縦方向における中心位置（Ｙ）をＹ座標値
として中心座標点（Ｘ、Ｙ）を得ているものである。ま
た、上記コンピュータシステム３５は、図示の如くに専
用のＣＲＴを有しているものである。また、図３に示す
如くに、上記フェルールを非常に精度良く回転なしで固
定なしで固定把持するためのワーククランプエアスライ
ドチャック５は、その内部に外部からの空気圧によって
可動する弾性部材４１を有しており、その弾性部材４１
に空気圧により直接均等な膜弾性変形を生じさせ、その
高精度な復元性を利用して、その複数の把持爪４３を動
作させて上記フェルール３を把持するものである。すな
わち、図３において点線で示す如くに、弾性部材４１に
空気圧を加えて弾性変形させ、被把持状態として、フェ
ルールを把持爪４３の間に挿入し、その後、実線で示す
如くに、空気圧を零として弾性部材４１を復元させ、把
持爪４３によってフェルール３を把持する様になってい
る。上記チャック５によれば、把持のくり返り精度は
０．２５μｍ以下となるものである。
【００１４】次に、上記フェルール偏芯検査装置を使用
したフェルール偏芯検査方法について図４のフローチャ
ートを参照して説明する。
したフェルール偏芯検査方法について図４のフローチャ
ートを参照して説明する。
【００１５】まず、ステップ４０１において初期調節と
して、上記チャック５の中心位置を検出するとともに、
その位置のアライメントを行なう。すなわち、前記照明
ランプ２３およびチャート灯光ランプ２７を動作させ、
光学基準チャート２５によってアライメントを行ない、
それと同時に、前記第３のＣＲＴモニタ３１上のスケー
ルによるキャリブレーションを行ない、チャック中心位
置の設定を行なう。
して、上記チャック５の中心位置を検出するとともに、
その位置のアライメントを行なう。すなわち、前記照明
ランプ２３およびチャート灯光ランプ２７を動作させ、
光学基準チャート２５によってアライメントを行ない、
それと同時に、前記第３のＣＲＴモニタ３１上のスケー
ルによるキャリブレーションを行ない、チャック中心位
置の設定を行なう。
【００１６】次に、実際の被測定フェルールの測定を行
なう前に、偏心の基準となるフェルールマスターゲージ
による平均基準中心座標点（Ｘｏ、Ｙｏ）の検出を行な
う。すなわち、チャック５によって前もって用意された
偏心のわかっているフェルールマスターゲージを把持
し、図５に示す如くに、上記フェルールマスターゲージ
の中心座標点を複数回（１５回以内）測定する。ここ
で、上記夫々の測定値は第１のＣＣＤカメラ７の分解能
の高い横方向Ｘにおける中心位置（Ｘｏ）と第２のＣＣ
Ｄカメラ９の分解能の高い縦方向Ｙにおける中心位置
（Ｙｏ）とを合成したものである（ステップ４０３〜４
０９）。そして、さらに前記第３のＣＲＴモニタ３１上
において観測しながら、その複数個の測定結果の平均値
が前記コンピュータシステム３５によって計算され、最
終的な平均基準中心座標点（Ｘｏ、Ｙｏ）が得られる
（ステップ４１１）。これにより、０．０９μｍ／ｄｏ
ｔ分解による中心座標点が得られる。ここで、実際のフ
ェルールのスケールとモニタ１１、１３、３１上のスケ
ールとは比例関係にあるため、比例係数を得るために図
６に示す如くの撮像スケールをモニタ上に表示させ、そ
れを基準データとすれば上記中心位置座標点を容易に求
めることができる。
なう前に、偏心の基準となるフェルールマスターゲージ
による平均基準中心座標点（Ｘｏ、Ｙｏ）の検出を行な
う。すなわち、チャック５によって前もって用意された
偏心のわかっているフェルールマスターゲージを把持
し、図５に示す如くに、上記フェルールマスターゲージ
の中心座標点を複数回（１５回以内）測定する。ここ
で、上記夫々の測定値は第１のＣＣＤカメラ７の分解能
の高い横方向Ｘにおける中心位置（Ｘｏ）と第２のＣＣ
Ｄカメラ９の分解能の高い縦方向Ｙにおける中心位置
（Ｙｏ）とを合成したものである（ステップ４０３〜４
０９）。そして、さらに前記第３のＣＲＴモニタ３１上
において観測しながら、その複数個の測定結果の平均値
が前記コンピュータシステム３５によって計算され、最
終的な平均基準中心座標点（Ｘｏ、Ｙｏ）が得られる
（ステップ４１１）。これにより、０．０９μｍ／ｄｏ
ｔ分解による中心座標点が得られる。ここで、実際のフ
ェルールのスケールとモニタ１１、１３、３１上のスケ
ールとは比例関係にあるため、比例係数を得るために図
６に示す如くの撮像スケールをモニタ上に表示させ、そ
れを基準データとすれば上記中心位置座標点を容易に求
めることができる。
【００１７】次に、実際の被測定フェルールの測定平均
中心座標点（Ｘ1 、Ｙ1 ）の測定が行なわれる。すなわ
ち、チャック５によって、被測定フェルールが把持さ
れ、上記被測定フェルールの中心座標点が数回測定され
る。ここで、上記それぞれの測定値は、第１のＣＣＤカ
メラ７の分解能の高い横方向Ｘにおける中心位置
（Ｘ1）と第２のＣＣＤカメラ９の分解能の高い縦方向
Ｙにおける中心位置（Ｙ1 ）とが前記コンピュータシス
テム３５によって合成されたものである（ステップ４１
３〜４１９）。そして、さらに、その複数個の測定結果
の平均値がコンピュータシステム３５によって計算さ
れ、最終的な測定平均座標点（Ｘ1 、Ｙ1 ）が得られる
（ステップ４２１）。
中心座標点（Ｘ1 、Ｙ1 ）の測定が行なわれる。すなわ
ち、チャック５によって、被測定フェルールが把持さ
れ、上記被測定フェルールの中心座標点が数回測定され
る。ここで、上記それぞれの測定値は、第１のＣＣＤカ
メラ７の分解能の高い横方向Ｘにおける中心位置
（Ｘ1）と第２のＣＣＤカメラ９の分解能の高い縦方向
Ｙにおける中心位置（Ｙ1 ）とが前記コンピュータシス
テム３５によって合成されたものである（ステップ４１
３〜４１９）。そして、さらに、その複数個の測定結果
の平均値がコンピュータシステム３５によって計算さ
れ、最終的な測定平均座標点（Ｘ1 、Ｙ1 ）が得られる
（ステップ４２１）。
【００１８】次に、図７に示す如くに、前記コンピュー
タシステム３５によって、上記平均基準中心座標点（Ｘ
ｏ、Ｙｏ）と上記測定平均中心座標点（Ｘ1 、Ｙ1 ）と
の差Ｚが、図７中の式に従って得られる（ステップ４２
３）。
タシステム３５によって、上記平均基準中心座標点（Ｘ
ｏ、Ｙｏ）と上記測定平均中心座標点（Ｘ1 、Ｙ1 ）と
の差Ｚが、図７中の式に従って得られる（ステップ４２
３）。
【００１９】次に、前記コンピュータシステム３５によ
って上記差Ｚが前もって設定された許容値Ｎ内であるが
否かが判定され（ステップ４２５）、Ｚ≦Ｎの場合、コ
ンピュータシステムによって上記第３のＣＲＴモニタ３
１上に”ＯＫ”の表示がなされ（ステップ４２７）、Ｚ
＞Ｎの場合、上記第３のＣＲＴモニタ３１上に”ＮＧ”
の表示がなされる（ステップ４２９）。ここで、上記許
容値Ｎは、この実施例の場合、０．５μｍあるいは０．
７μｍとなっている。許容値Ｎ＝０．７とし、Ｚ≦０．
７とした場合には、原理的には０．０９μｍ／ｄｏｔで
判定可能であり、図７に示す如くに、Ｘ1 、Ｙ1 いずれ
かが８以上となるが、いずれも６以上となるかによって
判定できるものである。また、上記判定結果、すなわち
フェルールの良、不良および検査数量は、上記コンピュ
ータシステム３５によって分類表示、保存できるもので
ある。また、上述した実施例においては”ＯＫ”、”Ｎ
Ｇ”の判定表示をコンピュータシステム３５によって行
っていたが、他の実施例として使用者の目視によって判
定を直接的に行うこともできる。
って上記差Ｚが前もって設定された許容値Ｎ内であるが
否かが判定され（ステップ４２５）、Ｚ≦Ｎの場合、コ
ンピュータシステムによって上記第３のＣＲＴモニタ３
１上に”ＯＫ”の表示がなされ（ステップ４２７）、Ｚ
＞Ｎの場合、上記第３のＣＲＴモニタ３１上に”ＮＧ”
の表示がなされる（ステップ４２９）。ここで、上記許
容値Ｎは、この実施例の場合、０．５μｍあるいは０．
７μｍとなっている。許容値Ｎ＝０．７とし、Ｚ≦０．
７とした場合には、原理的には０．０９μｍ／ｄｏｔで
判定可能であり、図７に示す如くに、Ｘ1 、Ｙ1 いずれ
かが８以上となるが、いずれも６以上となるかによって
判定できるものである。また、上記判定結果、すなわち
フェルールの良、不良および検査数量は、上記コンピュ
ータシステム３５によって分類表示、保存できるもので
ある。また、上述した実施例においては”ＯＫ”、”Ｎ
Ｇ”の判定表示をコンピュータシステム３５によって行
っていたが、他の実施例として使用者の目視によって判
定を直接的に行うこともできる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明方法によれ
ば、エアスライドチャックによってフェルールを精度良
く回転なしで固定把持し、その把持されたフェルールの
穴の中心位置を第１および第２のＣＣＤカメラで撮像
し、第１のカメラの分解棒の高い横方向における中心位
置（Ｘ）と第２のカメラの分解能の高い縦方向における
中心位置（Ｙ）とを合成し、その合成された結果を測定
値としているため、フェルールの回転動作を伴わずに、
低コストでしかも高速にフェルールの穴の偏芯量を精度
良く検出できるものである。
ば、エアスライドチャックによってフェルールを精度良
く回転なしで固定把持し、その把持されたフェルールの
穴の中心位置を第１および第２のＣＣＤカメラで撮像
し、第１のカメラの分解棒の高い横方向における中心位
置（Ｘ）と第２のカメラの分解能の高い縦方向における
中心位置（Ｙ）とを合成し、その合成された結果を測定
値としているため、フェルールの回転動作を伴わずに、
低コストでしかも高速にフェルールの穴の偏芯量を精度
良く検出できるものである。
【００２１】すなわち、本発明によれば、コスト的には
従来の装置では２０００万円以上要していたものを１０
００万円程度に抑えることができ、測定速度の点では従
来２０秒〜数分要していたものを２秒以下に抑えること
ができ、更に精度の点では従来最高で０．２μｍ／ｄｏ
ｔであったものを０．１μｍ／ｄｏｔとすることができ
る。
従来の装置では２０００万円以上要していたものを１０
００万円程度に抑えることができ、測定速度の点では従
来２０秒〜数分要していたものを２秒以下に抑えること
ができ、更に精度の点では従来最高で０．２μｍ／ｄｏ
ｔであったものを０．１μｍ／ｄｏｔとすることができ
る。
【図１】本発明方法を実施したフェルール偏芯検査装置
の概略構成図である。
の概略構成図である。
【図２】図１に示すフェルール偏芯検査装置の内部回路
を示す概略構成図である。
を示す概略構成図である。
【図３】図１に示すエアスライドチャックの動作説明図
である。
である。
【図４】本発明を実施したフェルール偏芯検査方法のフ
ローチャート図である。
ローチャート図である。
【図５】偏芯の基準となるフェルールマスターゲージに
よる平均基準中心座標点の検出説明図である。
よる平均基準中心座標点の検出説明図である。
【図６】図１に示すモニタ上に表示される撮像スケール
を示す画面図である。
を示す画面図である。
【図７】基準中心座標点（Ｘｏ、Ｙｏ）と測定平均中心
座標点との差Ｚに関する説明図である。
座標点との差Ｚに関する説明図である。
【図８】上記差Ｚが許容値Ｎ内であるか否かの例を示す
説明図である。
説明図である。
【図９】フェルールの構造を示す斜視図である。
【図１０】図９に示すフェルールにより光ファイバーが
接続される様子を示す説明図である。
接続される様子を示す説明図である。
【図１１】（ａ）（ｂ）及び（ｃ）は従来のフェルール
偏芯検査システムの動作説明図である。
偏芯検査システムの動作説明図である。
１ フェルール偏芯検査装置 ３、１０１ フェルール ５ チャック ７、９ 第１および第２のＣＣＤカメラ １１、１３ 第１および第２のＣＲＴモニタ １５、１７ 第１および第２の対物レンズ １９、２１ 第１および第２のハーフプリズム ２３ 照明ランプ ２５ チャート ２７ チャート灯光ランプ ３１ 第３のＣＲＴモニタ ３３ カメラコントローラ ３５ コンピュータシステム ３７ ボード類
Claims (3)
- 【請求項１】 フェルール偏芯検査方法にして、前もっ
て用意された偏芯のないフェルールマスターゲージの穴
の第１の方向における第１の中心位置及び上記フェルー
ルマスターゲージの穴の上記第１の方向と直交する第２
の方向における第２の中心位置を検出する工程と、上記
第１及び第２の中心位置を合成して基準中心座標点を得
る工程と、上記第１及び第２の中心位置を合成して基準
中心座標点を得る工程と、被測定フェルールの穴の上記
第１の方向における第３の中心位置及び上記被測定フェ
ルールの穴の上記第２の方向における第４の中心位置を
検出する工程と、上記第３及び第４の中心位置を合成し
て測定中心座標点を得る工程と、上記被測定フェルール
の偏芯量を検出するために上記基準中心座標点と上記測
定中心座標点との差を得る工程と、上記被測定フェルー
ルの偏芯量が前もって設定された許容値内であるか否か
を判定する工程とを具備していることを特徴とするフェ
ルール偏芯検査方法。 - 【請求項２】 上記第１及び第２の中心位置を検出する
工程が複数回行われ、上記基準中心座標点を得る工程
が、上記複数の第１及び第２の中心位置を合成した結果
の平均をとる様に構成され、上記第３及び第４の中心位
置を検出する工程が複数回行われ、上記測定中心座標点
を得る工程が、上記複数の第３及び第４のの中心位置を
合成した結果の平均をとるように構成されていることを
特徴とする請求項１記載のフェルール偏芯検査方法。 - 【請求項３】 上記第１の方向が横方向であり、上記第
２の方向が縦方向であることを特徴とする請求項１に記
載のフェルール偏芯検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03348192A JP3027046B2 (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | フェルール偏芯検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03348192A JP3027046B2 (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | フェルール偏芯検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05196452A JPH05196452A (ja) | 1993-08-06 |
| JP3027046B2 true JP3027046B2 (ja) | 2000-03-27 |
Family
ID=18395369
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03348192A Expired - Fee Related JP3027046B2 (ja) | 1991-12-04 | 1991-12-04 | フェルール偏芯検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3027046B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002243411A (ja) * | 2001-02-16 | 2002-08-28 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 寸法測定方法及び装置 |
| CN103591909B (zh) * | 2013-10-12 | 2016-03-02 | 酒泉钢铁(集团)有限责任公司 | 激光对中仪的简易校准方法 |
-
1991
- 1991-12-04 JP JP03348192A patent/JP3027046B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05196452A (ja) | 1993-08-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109342189B (zh) | 一种拉扭组合多轴断裂实验系统及实验方法 | |
| US6624891B2 (en) | Interferometric-based external measurement system and method | |
| JP3435019B2 (ja) | レンズ特性測定装置及びレンズ特性測定方法 | |
| JP2001194133A (ja) | 円筒形部品の同軸度測定方法及び測定装置 | |
| CN111044262A (zh) | 近眼显示光机模组检测装置 | |
| JP3027046B2 (ja) | フェルール偏芯検査方法 | |
| JP3012726B2 (ja) | フェルール偏芯検査装置 | |
| CN110470250B (zh) | 一种零件表面平面度的检测装置及检测方法 | |
| US5625457A (en) | Method and apparatus for non-contact measurement of relative displacement | |
| JPS61221632A (ja) | 単心光コネクタフエル−ル偏心測定方式 | |
| US8027530B2 (en) | Apparatus and method for optically surveying and/or examining a welding componentry | |
| JP2521736B2 (ja) | 顕微鏡調整検査装置 | |
| EP0819958A1 (en) | Determination of angular position of weak axial asymmetries of optical fibers and alignment of and splicing fibers | |
| Patterson et al. | High frequency quantitative photoelasticity applied to jet engine components | |
| JPH11337320A (ja) | 眼内レンズ用自動投影機検査装置およびそれを用いた眼内レンズ検査方法 | |
| AU616573B2 (en) | Hardness testing machine incorporating an image analysis system | |
| CN211696890U (zh) | 近眼显示光机模组检测装置 | |
| JP3350272B2 (ja) | 材料試験装置 | |
| JP3217434B2 (ja) | 円筒ワークの同心度測定装置 | |
| JP5317619B2 (ja) | 偏芯量測定方法 | |
| JP4644983B2 (ja) | 光コネクタの端面形状測定方法及び装置 | |
| JPH08233545A (ja) | 穴形状測定方法および測定装置 | |
| JP3213642B2 (ja) | レンズ性能評価方法および装置 | |
| JPH11108793A (ja) | レンズ偏心測定方法およびレンズ偏心測定装置 | |
| JPH06130251A (ja) | 光コネクタのコア偏心測定方法および光コネクタ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080128 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090128 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100128 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110128 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |