JP2505042B2 - レンズ偏心測定装置 - Google Patents
レンズ偏心測定装置Info
- Publication number
- JP2505042B2 JP2505042B2 JP1046290A JP4629089A JP2505042B2 JP 2505042 B2 JP2505042 B2 JP 2505042B2 JP 1046290 A JP1046290 A JP 1046290A JP 4629089 A JP4629089 A JP 4629089A JP 2505042 B2 JP2505042 B2 JP 2505042B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- photodetector
- incident
- holder shaft
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レンズ心取機のためのレンズ偏心測定装置
に関する。
に関する。
〔従来の技術〕 レンズ心取機においては、両面を球面又は平面に研削
したレンズの外周をレンズの光軸を中心とする円に加工
する前に、レンズの光軸をレンズホルダ軸に一致させる
ための心出しを行なわなければならない。
したレンズの外周をレンズの光軸を中心とする円に加工
する前に、レンズの光軸をレンズホルダ軸に一致させる
ための心出しを行なわなければならない。
そのために、従来のレンズ心取機では、レンズ心出し
をするためにレンズホルダ軸端に被検レンズを取付けて
回転させ、光源からの光を被検レンズに反射させてスク
リーン上にその像を写し出し、レンズ偏心状態を見て判
断していた。かかる構成に関しては、例えば特開昭47−
26142号公報に開示されており、かかる技術を第８図を
用いて簡単に説明する。即ち、図において１で示すの
は、レンズホルダ２に支承された被検レンズで、この被
検レンズ１の上面３の中心には、光源４、ピンホール開
口を有するマスク５、及びレンズ６より構成される光学
的投射装置７により、マスク５内のピンホールの像８が
形成されるようになっている。そして、被検レンズ１か
らの反射ビームは、レンズ９、ピンホール開口を有する
第２のマスク10、及び位置感知光電セル11より構成され
る光学的検出装置12内に入射せしめるように設定してあ
り、位置感知光電セル11で得た信号を処理してオシロス
コープ等に表示させることにより、偏心の大きさを外部
的に観察するものである。
をするためにレンズホルダ軸端に被検レンズを取付けて
回転させ、光源からの光を被検レンズに反射させてスク
リーン上にその像を写し出し、レンズ偏心状態を見て判
断していた。かかる構成に関しては、例えば特開昭47−
26142号公報に開示されており、かかる技術を第８図を
用いて簡単に説明する。即ち、図において１で示すの
は、レンズホルダ２に支承された被検レンズで、この被
検レンズ１の上面３の中心には、光源４、ピンホール開
口を有するマスク５、及びレンズ６より構成される光学
的投射装置７により、マスク５内のピンホールの像８が
形成されるようになっている。そして、被検レンズ１か
らの反射ビームは、レンズ９、ピンホール開口を有する
第２のマスク10、及び位置感知光電セル11より構成され
る光学的検出装置12内に入射せしめるように設定してあ
り、位置感知光電セル11で得た信号を処理してオシロス
コープ等に表示させることにより、偏心の大きさを外部
的に観察するものである。
又、特開昭60−259365公報には、第９図にて示すごと
き技術が開示されている。この構成を簡単に説明する
と、図に示すように、フレーム20に円筒状の第一レンズ
チャック軸すなわち下軸21が回転可能に支承されてお
り、第一レンズチャック軸21の上方にこれと同心に第二
レンズチャック軸すなわち上軸22が回転可能にかつ上下
に摺動可能に支持されている。レーザーの光路が第一レ
ンズチャック軸21の軸心上を通るようにレーザー光源23
がフレーム20の下部に配置されている。第二レンズチャ
ック軸22の上方にあるフレーム20の上部には、レーザー
光源23の光路上に、受光面上のレーザーの光点の位置を
ｘ−ｙ座標電圧に変換し出力する光点位置検出器24が取
りつけられている。なお、25で示すのは被検レンズ、26
で示すのは光点集光用光学系、27で示すのは演算表示装
置である。
き技術が開示されている。この構成を簡単に説明する
と、図に示すように、フレーム20に円筒状の第一レンズ
チャック軸すなわち下軸21が回転可能に支承されてお
り、第一レンズチャック軸21の上方にこれと同心に第二
レンズチャック軸すなわち上軸22が回転可能にかつ上下
に摺動可能に支持されている。レーザーの光路が第一レ
ンズチャック軸21の軸心上を通るようにレーザー光源23
がフレーム20の下部に配置されている。第二レンズチャ
ック軸22の上方にあるフレーム20の上部には、レーザー
光源23の光路上に、受光面上のレーザーの光点の位置を
ｘ−ｙ座標電圧に変換し出力する光点位置検出器24が取
りつけられている。なお、25で示すのは被検レンズ、26
で示すのは光点集光用光学系、27で示すのは演算表示装
置である。
上記構成においては、第一レンズチャック軸21の上
に、上方および下方球面を研削したレンズ25を載せてレ
ーザー光源23からレーザーを投射すると、レーザー光が
レンズ25を透過して光点が光点位置検出器24に投影され
る。そして、光点位置検出器24から光点のx,y座標値が
演算表示装置27に入力され、これらの入力を装置27が演
算してレンズ位置の補正量指令値γ′および補正方向指
令値−θを求めるものである。
に、上方および下方球面を研削したレンズ25を載せてレ
ーザー光源23からレーザーを投射すると、レーザー光が
レンズ25を透過して光点が光点位置検出器24に投影され
る。そして、光点位置検出器24から光点のx,y座標値が
演算表示装置27に入力され、これらの入力を装置27が演
算してレンズ位置の補正量指令値γ′および補正方向指
令値−θを求めるものである。
上記従来技術においては、それぞれ次のような問題点
を有するため満足できるものではなかった。
を有するため満足できるものではなかった。
即ち、第８図にて示す特開昭47−26142号公報開示の
レンズ偏心測定機では、光学系が極めて大きくなるため
にレンズ偏心測定機を心取機スピンドルとは別の部分に
取り付けなければならず、そのために心取機装置全体が
極めて大きくなるという問題点があった。
レンズ偏心測定機では、光学系が極めて大きくなるため
にレンズ偏心測定機を心取機スピンドルとは別の部分に
取り付けなければならず、そのために心取機装置全体が
極めて大きくなるという問題点があった。
又、第９図にて示すごとき特開昭60−259365号公報開
示のレンズ偏心測定機（レーザ光透過形）は、レンズ25
の両面に光を透過させての測定のために、片面単独での
偏心測定ができず、従って、レンズ25の光軸がスピンド
ル中心軸からずれている場合、レンズ25が傾いているの
か、あるいは横にずれているのか判断できないという問
題点がある。又、この装置を用いて偏心測定する場合に
は、透過形なのでレーザ光を２つのスピンドル（第1,第
２レンズチャック軸）21,22内に通さなければならず、
そのために、片側のスピンドル部に例えばレンズ真空吸
着装置（図示せず）を取り付ける場合には、スピンドル
内部を真空に保ち、かつレーザ光を透過させうる構成と
しなければならない。従って、スピンドルにおけるレン
ズホルダ部の他端部にガラスカバーを取付ける必要性が
生じる等、装置の構成が極めて複雑化するとともに大型
化し、さらにコスト高になるという問題点もあった。
示のレンズ偏心測定機（レーザ光透過形）は、レンズ25
の両面に光を透過させての測定のために、片面単独での
偏心測定ができず、従って、レンズ25の光軸がスピンド
ル中心軸からずれている場合、レンズ25が傾いているの
か、あるいは横にずれているのか判断できないという問
題点がある。又、この装置を用いて偏心測定する場合に
は、透過形なのでレーザ光を２つのスピンドル（第1,第
２レンズチャック軸）21,22内に通さなければならず、
そのために、片側のスピンドル部に例えばレンズ真空吸
着装置（図示せず）を取り付ける場合には、スピンドル
内部を真空に保ち、かつレーザ光を透過させうる構成と
しなければならない。従って、スピンドルにおけるレン
ズホルダ部の他端部にガラスカバーを取付ける必要性が
生じる等、装置の構成が極めて複雑化するとともに大型
化し、さらにコスト高になるという問題点もあった。
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みなされたもの
であって、小型かつ安価な構成にてレンズの偏心をイン
ラインで測定可能とし、レンズ心取りの良品率の向上を
図りうるとともに、保持したレンズの横ずれ、傾きを判
断することのできるレンズ偏心測定装置を提供すること
を目的とする。
であって、小型かつ安価な構成にてレンズの偏心をイン
ラインで測定可能とし、レンズ心取りの良品率の向上を
図りうるとともに、保持したレンズの横ずれ、傾きを判
断することのできるレンズ偏心測定装置を提供すること
を目的とする。
上記問題点を解決するために、本発明に係るレンズ偏
心測定装置は、回転自在に支承された第１レンズホルダ
軸と、前記第１レンズホルダ軸と同一軸線上に配置さ
れ、前記第１レンズホルダ軸と協同して被検レンズを保
持自在の中空の第２レンズホルダ軸と、その出射光が前
記各レンズホルダ軸の軸線上を通るように配設された光
源と、前記光源からの出射光束を平行光にするためのコ
リメートレンズと、前記コリメートレンズからの光束を
前記被検レンズの被検面にピントが合うように前記第２
レンズホルダ軸内に配備された集光レンズと、前記集光
レンズと前記コリメートレンズとの間に配設されたビー
ムスプリッタと、このビームスプリッタを介して前記被
検レンズへ入射する入射光束を受けるためのホトディテ
クタと、前記ビームスプリッタを介して前記被検レンズ
からの反射光束を受けるためのホトディテクタと、前記
反射光束を受けるホトディテクタへ入射する光束を所定
の開口径にするための絞りと、前記ホトディテクタで得
られた入射光束および反射光束の情報を電気信号に変換
して被検レンズへの入射光束の断面積と反射光束の断面
積の比を演算処理する装置とより構成している。
心測定装置は、回転自在に支承された第１レンズホルダ
軸と、前記第１レンズホルダ軸と同一軸線上に配置さ
れ、前記第１レンズホルダ軸と協同して被検レンズを保
持自在の中空の第２レンズホルダ軸と、その出射光が前
記各レンズホルダ軸の軸線上を通るように配設された光
源と、前記光源からの出射光束を平行光にするためのコ
リメートレンズと、前記コリメートレンズからの光束を
前記被検レンズの被検面にピントが合うように前記第２
レンズホルダ軸内に配備された集光レンズと、前記集光
レンズと前記コリメートレンズとの間に配設されたビー
ムスプリッタと、このビームスプリッタを介して前記被
検レンズへ入射する入射光束を受けるためのホトディテ
クタと、前記ビームスプリッタを介して前記被検レンズ
からの反射光束を受けるためのホトディテクタと、前記
反射光束を受けるホトディテクタへ入射する光束を所定
の開口径にするための絞りと、前記ホトディテクタで得
られた入射光束および反射光束の情報を電気信号に変換
して被検レンズへの入射光束の断面積と反射光束の断面
積の比を演算処理する装置とより構成している。
またこの場合において、前記ビームスプリッタの回転
によって、入射光束を受けるためのホトディテクタが反
射光束を受けるためのホトディテクタを兼ねるようにし
てもよい。
によって、入射光束を受けるためのホトディテクタが反
射光束を受けるためのホトディテクタを兼ねるようにし
てもよい。
［作用］ 上記構成においては、光源から出射された光がコリメ
ートレンズを介して平行光となり、さらに集光レンズを
介して被検レンズの被検面にピントが合うように入射さ
れる。一方、被検レンズに入射する入射光束をホトディ
テクタで受けておく。そして、被検レンズからの反射光
は、ビームスプリッタ、所定の開口径を有する絞りを介
してホトディテクタに入射させ、このホトディテクタで
得られた情報および前記入射光束を受けたホトディテク
タの情報がそれぞれ電気信号に変換されて演算処理部に
入力され、それぞれの情報から反射光束の断面積と被検
レンズへ入射させた入射光束の断面積が求められ、その
比から被検レンズの偏心が演算処理される。
ートレンズを介して平行光となり、さらに集光レンズを
介して被検レンズの被検面にピントが合うように入射さ
れる。一方、被検レンズに入射する入射光束をホトディ
テクタで受けておく。そして、被検レンズからの反射光
は、ビームスプリッタ、所定の開口径を有する絞りを介
してホトディテクタに入射させ、このホトディテクタで
得られた情報および前記入射光束を受けたホトディテク
タの情報がそれぞれ電気信号に変換されて演算処理部に
入力され、それぞれの情報から反射光束の断面積と被検
レンズへ入射させた入射光束の断面積が求められ、その
比から被検レンズの偏心が演算処理される。
上記において、被検レンズの偏心がある場合には、反
射光束が絞りの開口により遮られてホトディテクタに入
射する光束が減少することになり、この際、集光レンズ
により光束を被検面にピントが合うように入射している
ので、被検面の偏心により反射光束のズレ量が拡大され
て絞りに達することから、偏心検出の分解能が向上する
ことになる。
射光束が絞りの開口により遮られてホトディテクタに入
射する光束が減少することになり、この際、集光レンズ
により光束を被検面にピントが合うように入射している
ので、被検面の偏心により反射光束のズレ量が拡大され
て絞りに達することから、偏心検出の分解能が向上する
ことになる。
以下、図面を用いて本発明の実施例について詳細に説
明する。
明する。
（第１実施例） 第１図は、本発明に係るレンズ偏心測定装置30の第１
実施例を示すものである。
実施例を示すものである。
図において31で示すのは心取機フレームで、この心取
機フレーム31には円筒状の第１レンズホルダ軸32が軸受
33を介して支承してある。又、第１レンズホルダ軸32の
軸線と同一軸線上には、第１レンズホルダ軸32に対して
進退自在（即ち、軸線方向に往復移動自在）であり、か
つ、軸心回りに回転自在に支承された第２レンズホルダ
軸34が配設してある。そして、第1,第２のレンズホルダ
軸32,34の各ベルチャック部35,36にて、被検レンズ37を
ベルチャック保持しうるようになっている。
機フレーム31には円筒状の第１レンズホルダ軸32が軸受
33を介して支承してある。又、第１レンズホルダ軸32の
軸線と同一軸線上には、第１レンズホルダ軸32に対して
進退自在（即ち、軸線方向に往復移動自在）であり、か
つ、軸心回りに回転自在に支承された第２レンズホルダ
軸34が配設してある。そして、第1,第２のレンズホルダ
軸32,34の各ベルチャック部35,36にて、被検レンズ37を
ベルチャック保持しうるようになっている。
第1,第２のレンズホルダ軸32,34の軸線延長上には、
レーザ光源38が配設してあり、レーザ光源38からの出射
光は、被検レンズ37とレーザ光源38との間に配設したコ
リメートレンズ39,ビームスプリッタ40を介して被検レ
ンズ37に入射されるようになっている。コリメートレン
ズ39は、レーザ光源38からの出射光（レーザ光）が第２
レンズホルダ軸34の軸線上を平行に通るようにするため
のものである。第２レンズホルダ軸34内には、絞り41,
集光レンズ42が配設してあり、コリメートレンズ39,ビ
ームスプリッタ40を経て第２レンズホルダ軸34内に入射
されたレーザ光が、絞り41,集光レンズ42を介して被検
レンズ37のレンズ表面（図において右側の表面）にピン
トが合わされるように移動可能に配設してある。ビーム
スプリッタ40の上下両側には、レーザ光源38からの入射
光を受けるための第１のホトディテクタ43と、被検レン
ズ37の表面からの反射光を受けるための第２のホトディ
テクタ44とが配設してある。そして、各ホトディテクタ
43,44は、各ホトディテクタ43,44からの情報を演算処理
し表示するための演算表示装置45と接続してある。演算
表示装置45は、ホトディテクタ43に入射される入射光束
の断面積を絞り41に入射する光束の断面積に変換すると
ともに、絞り41を通過する反射光束の断面積を記憶し、
両断面積の比をとることによって偏心を測定しうるよう
に設定してある。
レーザ光源38が配設してあり、レーザ光源38からの出射
光は、被検レンズ37とレーザ光源38との間に配設したコ
リメートレンズ39,ビームスプリッタ40を介して被検レ
ンズ37に入射されるようになっている。コリメートレン
ズ39は、レーザ光源38からの出射光（レーザ光）が第２
レンズホルダ軸34の軸線上を平行に通るようにするため
のものである。第２レンズホルダ軸34内には、絞り41,
集光レンズ42が配設してあり、コリメートレンズ39,ビ
ームスプリッタ40を経て第２レンズホルダ軸34内に入射
されたレーザ光が、絞り41,集光レンズ42を介して被検
レンズ37のレンズ表面（図において右側の表面）にピン
トが合わされるように移動可能に配設してある。ビーム
スプリッタ40の上下両側には、レーザ光源38からの入射
光を受けるための第１のホトディテクタ43と、被検レン
ズ37の表面からの反射光を受けるための第２のホトディ
テクタ44とが配設してある。そして、各ホトディテクタ
43,44は、各ホトディテクタ43,44からの情報を演算処理
し表示するための演算表示装置45と接続してある。演算
表示装置45は、ホトディテクタ43に入射される入射光束
の断面積を絞り41に入射する光束の断面積に変換すると
ともに、絞り41を通過する反射光束の断面積を記憶し、
両断面積の比をとることによって偏心を測定しうるよう
に設定してある。
次に、上記構成に基づいて被検レンズ37の偏心を測定
する作用について説明する。
する作用について説明する。
まず、レーザ光源38からレーザ光を出射させる。出射
されたレーザ光はコリメートレンズ39を経て平行光とな
り、ビームスプリッタ40を経て第２レンズホルダ軸34内
に入射され、絞り41,集光レンズ42を経て被検レンズ37
の右側表面にピントが合された状態に入射される。又、
被検レンズ37への入射光は、ビームスプリッタ40を介し
て第１のホトディテクタ43に入射される。
されたレーザ光はコリメートレンズ39を経て平行光とな
り、ビームスプリッタ40を経て第２レンズホルダ軸34内
に入射され、絞り41,集光レンズ42を経て被検レンズ37
の右側表面にピントが合された状態に入射される。又、
被検レンズ37への入射光は、ビームスプリッタ40を介し
て第１のホトディテクタ43に入射される。
又、被検レンズ37からの反射光は、絞り41を通過し、
ビームスプリッタ40にて入射光と分けられて第２のホト
ディテクタ44に入射される。第１のホトディテクタ43に
入射された入射光と、第２のホトディテクタ44に入射さ
れた反射光束とは、演算表示装置45に入力され、第１の
ホトディテクタ43への入射光束の断面積は、絞り41に入
射する光束の断面積に変換される。そして、演算表示装
置45にて、絞り41に入射する光束の断面積に変換された
断面積と、第２のホトディテクタ44に入射された反射光
束の断面積の比を求めることにより、偏心を測定するこ
とができる。
ビームスプリッタ40にて入射光と分けられて第２のホト
ディテクタ44に入射される。第１のホトディテクタ43に
入射された入射光と、第２のホトディテクタ44に入射さ
れた反射光束とは、演算表示装置45に入力され、第１の
ホトディテクタ43への入射光束の断面積は、絞り41に入
射する光束の断面積に変換される。そして、演算表示装
置45にて、絞り41に入射する光束の断面積に変換された
断面積と、第２のホトディテクタ44に入射された反射光
束の断面積の比を求めることにより、偏心を測定するこ
とができる。
又、集光レンズ42の焦点を被検レンズ37の光入射側球
面とその反対側の球面に合せた場合の偏心を測定し、比
較することにより、それらの偏心が同じ場合には被検レ
ンズ37が横ずれを生じていると、又、異なる場合には傾
いていると判断することができる。
面とその反対側の球面に合せた場合の偏心を測定し、比
較することにより、それらの偏心が同じ場合には被検レ
ンズ37が横ずれを生じていると、又、異なる場合には傾
いていると判断することができる。
次に、上記偏心測定作用の原理を第２図〜第４図を用
いて説明する。なお、図中、各構成部は第１図と同一で
あるので、その構成部の説明は省略する。
いて説明する。なお、図中、各構成部は第１図と同一で
あるので、その構成部の説明は省略する。
測定時において、例えば第２図にて示すように、被検
レンズ37の光入射側球面の半径R1の中心O1がεだけ第１
レンズホルダ軸32の軸線より傾いているとすると、絞り
41を通り、集光レンズ42に入射する光は第１レンズホル
ダ軸32の軸線に対して２εだけずれて反射していくこと
になる。このとき、集光レンズ42の焦点距離をｆとする
と、絞り41の位置の断面上で第１レンズホルダ軸32軸線
からの反射光中心点へのずれｘは、ｘ＝ftan2εで表わ
すことができ、光束の傾きが入射時よりも反射時に大き
くなってズレ量が拡大されて得られるので分解能が向上
されている。このとき、絞り41を通り、被検レンズ37が
偏心のない場合でのホトディテクタで受ける反射光束の
断面積Ｓ、被検レンズ37の光軸が第１レンズホルダ軸32
の軸線よりεだけ傾いている場合でのホトディテクタで
受ける反射光束の断面積をS1、絞りの開口径をＤ、この
光学系のカットオフをx0とすると、S1/Sは次の関係式で
与えられる。
レンズ37の光入射側球面の半径R1の中心O1がεだけ第１
レンズホルダ軸32の軸線より傾いているとすると、絞り
41を通り、集光レンズ42に入射する光は第１レンズホル
ダ軸32の軸線に対して２εだけずれて反射していくこと
になる。このとき、集光レンズ42の焦点距離をｆとする
と、絞り41の位置の断面上で第１レンズホルダ軸32軸線
からの反射光中心点へのずれｘは、ｘ＝ftan2εで表わ
すことができ、光束の傾きが入射時よりも反射時に大き
くなってズレ量が拡大されて得られるので分解能が向上
されている。このとき、絞り41を通り、被検レンズ37が
偏心のない場合でのホトディテクタで受ける反射光束の
断面積Ｓ、被検レンズ37の光軸が第１レンズホルダ軸32
の軸線よりεだけ傾いている場合でのホトディテクタで
受ける反射光束の断面積をS1、絞りの開口径をＤ、この
光学系のカットオフをx0とすると、S1/Sは次の関係式で
与えられる。
この関係を図で表わすと第３図に示すような関係にな
り、S1/Sを求めることにより第３図を用いてftan2ε、
ここでｆは既知量であるので、レンズ中心軸のレンズホ
ルダ軸線からのずれ角εを求めることができる。
り、S1/Sを求めることにより第３図を用いてftan2ε、
ここでｆは既知量であるので、レンズ中心軸のレンズホ
ルダ軸線からのずれ角εを求めることができる。
また、本実施例では被検レンズ37の偏心が横ずれによ
るものなのか、傾きによるものなのかの判別ができるも
のであるが、その原理について第４図（ａ），（ｂ）に
より説明する。
るものなのか、傾きによるものなのかの判別ができるも
のであるが、その原理について第４図（ａ），（ｂ）に
より説明する。
第４図において、（ａ）図は被検レンズ37が横ずれを
起こしている場合、（ｂ）図は被検レンズ37が傾いてい
る場合を表している。被検レンズ37が第４図（ａ）のよ
うに横ずれを起こしている場合には、集光レンズ42の焦
点を光入射側球面Ｉに合わせた場合の被検レンズ37の傾
きεと反対側の球面IIに集光レンズ42の焦点を合わせた
場合の被検レンズ37の傾きθとが同じになることから、
横ずれと判断できる。又、被検レンズ37が第４図（ｂ）
のようにレンズが傾いている場合には、球面Ｉ（半径
R1、中心O1）と球面II（半径R2、中心O2）との傾きεと
θが違った値になるため、レンズが傾いていると判断で
きる。以上のように、被検レンズ37の両面を片面ずつ集
光レンズ42の焦点を合わせて単独で測定し、それらの偏
心の大きさを比較することにより、被検レンズが横ずれ
を起こしているのか、あるいは傾いているのかを判断す
ることができるものである。
起こしている場合、（ｂ）図は被検レンズ37が傾いてい
る場合を表している。被検レンズ37が第４図（ａ）のよ
うに横ずれを起こしている場合には、集光レンズ42の焦
点を光入射側球面Ｉに合わせた場合の被検レンズ37の傾
きεと反対側の球面IIに集光レンズ42の焦点を合わせた
場合の被検レンズ37の傾きθとが同じになることから、
横ずれと判断できる。又、被検レンズ37が第４図（ｂ）
のようにレンズが傾いている場合には、球面Ｉ（半径
R1、中心O1）と球面II（半径R2、中心O2）との傾きεと
θが違った値になるため、レンズが傾いていると判断で
きる。以上のように、被検レンズ37の両面を片面ずつ集
光レンズ42の焦点を合わせて単独で測定し、それらの偏
心の大きさを比較することにより、被検レンズが横ずれ
を起こしているのか、あるいは傾いているのかを判断す
ることができるものである。
以上のように本実施例においては測定系を第２レンズ
ホルダ軸34内に配設してあるので、装置の大幅な小型化
が図れ、コストダウン化が図れる。又、測定系を第２レ
ンズホルダ軸34内に組込むことにより、被検レンズ37の
偏心をインラインで測定可能となり、レンズ心取りの良
品率の向上と、保持した被検レンズ37の横ずれ、傾きを
判断できるという著効がある。
ホルダ軸34内に配設してあるので、装置の大幅な小型化
が図れ、コストダウン化が図れる。又、測定系を第２レ
ンズホルダ軸34内に組込むことにより、被検レンズ37の
偏心をインラインで測定可能となり、レンズ心取りの良
品率の向上と、保持した被検レンズ37の横ずれ、傾きを
判断できるという著効がある。
なお、本実施例では、光源としてレーザ光を用いてい
るが、一般の光源を用いても同様の測定が行えるのは勿
論である。
るが、一般の光源を用いても同様の測定が行えるのは勿
論である。
（第２実施例） 第５図に本発明に係るレンズ偏心測定装置30の第２実
施例を示す。本実施例の特徴は、第１図における絞り41
と同形状の絞り50,51をそれぞれ第1,第２のホトディテ
クタ43,44の直前に配設し、第２のレンズホルダ軸34内
の絞り41を取り除いて構成した点にある。その他の構成
は、第１図に示した構成と同一であるので、同様の構成
部には同一符号を付してその説明を省略する。
施例を示す。本実施例の特徴は、第１図における絞り41
と同形状の絞り50,51をそれぞれ第1,第２のホトディテ
クタ43,44の直前に配設し、第２のレンズホルダ軸34内
の絞り41を取り除いて構成した点にある。その他の構成
は、第１図に示した構成と同一であるので、同様の構成
部には同一符号を付してその説明を省略する。
本実施例においても、第１実施例と同様の測定原理に
て被検レンズ37の偏心測定ができるものであるが、特に
本実施例の構成においては、絞り50,51を第２レンズホ
ルダ軸34外に配設してあるので、第２レンズホルダ軸34
内の構成が簡単化し、製作コストのコストダウン化が図
れる利点がある。その他の作用，効果は、第１実施例と
同様であるのでその説明を省略する。
て被検レンズ37の偏心測定ができるものであるが、特に
本実施例の構成においては、絞り50,51を第２レンズホ
ルダ軸34外に配設してあるので、第２レンズホルダ軸34
内の構成が簡単化し、製作コストのコストダウン化が図
れる利点がある。その他の作用，効果は、第１実施例と
同様であるのでその説明を省略する。
（第３実施例） 第６図に本発明に係るレンズ偏心測定装置30の第３実
施例を示す。本実施例の特徴は、第５図にて示す構成に
おいて、第１のホトディテクタ43,絞り50の代りにＯ点
を中心として回転可能なビームスプリッタ40を配設して
構成した点である。その他の構成は第５図にて示すもの
と同様であるので、同様の構成部には同一符号を付して
その説明を省略する。
施例を示す。本実施例の特徴は、第５図にて示す構成に
おいて、第１のホトディテクタ43,絞り50の代りにＯ点
を中心として回転可能なビームスプリッタ40を配設して
構成した点である。その他の構成は第５図にて示すもの
と同様であるので、同様の構成部には同一符号を付して
その説明を省略する。
本実施例にて、偏心測定を行なう場合には、測定前に
まずビームスプリッタ40を回動して図（光軸の上側に符
号60にて示した図）に示すような状態にしておき、レー
ザ光を入射させ、入射光がすべて絞り51の開口部を通る
位置に絞り51をホトディテクタ44の前面を平行に移動さ
せる。そして、そのときのホトディテクタ44で受ける絞
り51を通過した光束の断面積を演算表示装置45に記憶さ
せる。測定においては、ビームスプリッタ40を図（光軸
上に示した図）の状態にし、レーザ光を被検レンズ37に
入射し、その反射光の絞り51を通る断面積をホトディテ
クタ44を用いて測定し、前に演算表示装置45に記憶した
断面積との比をとることによって偏心を測定する。
まずビームスプリッタ40を回動して図（光軸の上側に符
号60にて示した図）に示すような状態にしておき、レー
ザ光を入射させ、入射光がすべて絞り51の開口部を通る
位置に絞り51をホトディテクタ44の前面を平行に移動さ
せる。そして、そのときのホトディテクタ44で受ける絞
り51を通過した光束の断面積を演算表示装置45に記憶さ
せる。測定においては、ビームスプリッタ40を図（光軸
上に示した図）の状態にし、レーザ光を被検レンズ37に
入射し、その反射光の絞り51を通る断面積をホトディテ
クタ44を用いて測定し、前に演算表示装置45に記憶した
断面積との比をとることによって偏心を測定する。
以上のように本実施例によれば、測定系の調整が容易
に行なえ、又、ホトディテクタが１個で済むので、より
いっそうの小型化，低コスト化が図れる利点がある。そ
の他の効果は、第１実施例と同様であるのでその説明を
省略する。
に行なえ、又、ホトディテクタが１個で済むので、より
いっそうの小型化，低コスト化が図れる利点がある。そ
の他の効果は、第１実施例と同様であるのでその説明を
省略する。
（第４実施例） 第７図に本発明に係るレンズ偏心測定装置30の第４実
施例を示す。本実施例は、第１図にて示す構成において
ビームスプリッタ40とホトディテクタ44との間に第２の
ビームスプリッタ70を配設し、第２のビームスプリッタ
70と演算表示装置45との間に、第２のビームスプリッタ
70を通ったレーザ光を微小径に絞るための絞り71と、絞
り71を通ったレーザ光を受けるホトディテクタ72とを配
設して構成したものである。その他の構成は、第１図に
て示すものと同様であるので、同様の構成部には同一符
号を付してその説明を省略する。
施例を示す。本実施例は、第１図にて示す構成において
ビームスプリッタ40とホトディテクタ44との間に第２の
ビームスプリッタ70を配設し、第２のビームスプリッタ
70と演算表示装置45との間に、第２のビームスプリッタ
70を通ったレーザ光を微小径に絞るための絞り71と、絞
り71を通ったレーザ光を受けるホトディテクタ72とを配
設して構成したものである。その他の構成は、第１図に
て示すものと同様であるので、同様の構成部には同一符
号を付してその説明を省略する。
本実施例においては、被検レンズ37で反射したレーザ
光は、絞り41を通り、ビームスプリッタ40,70を通って
ホトディテクタ44,72に入射される。ここで、ホトディ
テクタ72の前面に配置した絞り71の開口部に被検レンズ
37からの反射光が通るように絞り71をホトディテクタ２
の前面部と平行に移動させる。そして、第1,第2,第３実
施例での偏心のない場合の絞り41を通る反射光の断面積
Ｓに代えて、絞り71を通過するレーザ光束の断面積S0を
とり、絞り41を通ってホトディテクタ44に入射するレー
ザ光束の断面積S1との比S1/S0をとってから演算表示装
置45によりS0をＳに変換して演算を行なうことにより、
レンズ偏心を求めるものである。
光は、絞り41を通り、ビームスプリッタ40,70を通って
ホトディテクタ44,72に入射される。ここで、ホトディ
テクタ72の前面に配置した絞り71の開口部に被検レンズ
37からの反射光が通るように絞り71をホトディテクタ２
の前面部と平行に移動させる。そして、第1,第2,第３実
施例での偏心のない場合の絞り41を通る反射光の断面積
Ｓに代えて、絞り71を通過するレーザ光束の断面積S0を
とり、絞り41を通ってホトディテクタ44に入射するレー
ザ光束の断面積S1との比S1/S0をとってから演算表示装
置45によりS0をＳに変換して演算を行なうことにより、
レンズ偏心を求めるものである。
本実施例によれば、第１実施例の作用，効果に加え
て、測定系の調整がより容易となり、又、被検レンズ37
からの反射光のみを２つのホトディテクタ44,72で同時
に受け、測定できるので、より精度の高い測定が可能と
なる利点がある。
て、測定系の調整がより容易となり、又、被検レンズ37
からの反射光のみを２つのホトディテクタ44,72で同時
に受け、測定できるので、より精度の高い測定が可能と
なる利点がある。
以上のように本発明によれば、小型かつ安価な構成に
てレンズの偏心をインラインで測定可能となり、被検レ
ンズの被検面に入射光束のピントを合うようにし且つそ
の反射光束に基づいて測定しているので、レンズホルダ
軸に保持したレンズの横ズレ、傾きの判断を前記レンズ
ホルダ軸の軸心に対して分解能を増した状態で判断する
ことができ、レンズ偏心測定に係る良品率の向上を図り
得る著しい効果を奏するものである。
てレンズの偏心をインラインで測定可能となり、被検レ
ンズの被検面に入射光束のピントを合うようにし且つそ
の反射光束に基づいて測定しているので、レンズホルダ
軸に保持したレンズの横ズレ、傾きの判断を前記レンズ
ホルダ軸の軸心に対して分解能を増した状態で判断する
ことができ、レンズ偏心測定に係る良品率の向上を図り
得る著しい効果を奏するものである。
第１図は、本発明に係る装置の第１実施例を示す構成説
明図、 第２図〜第４図（ａ），（ｂ）は、第１図の構成に基づ
く測定原理を説明するための図であって、第２図は要部
の拡大図、第３図は傾きを生じている場合の傾きとS1/S
との関係を表わすグラフ図、第４図（ａ），（ｂ）は横
ずれ、傾きを判断するための原理図、 第５図〜第７図は、それぞれ本発明に係る装置の第2,第
3,第４実施例を示す構成説明図、 第８図，第９図は、従来技術の説明図である。 31……心取機フレーム 32……第１レンズホルダ軸 34……第２レンズホルダ軸 37……被検レンズ 38……光源 39……コリメートレンズ 40……ビームスプリッタ 41……絞り 42……集光レンズ 43,44……ホトディテクタ 45……演算表示装置
明図、 第２図〜第４図（ａ），（ｂ）は、第１図の構成に基づ
く測定原理を説明するための図であって、第２図は要部
の拡大図、第３図は傾きを生じている場合の傾きとS1/S
との関係を表わすグラフ図、第４図（ａ），（ｂ）は横
ずれ、傾きを判断するための原理図、 第５図〜第７図は、それぞれ本発明に係る装置の第2,第
3,第４実施例を示す構成説明図、 第８図，第９図は、従来技術の説明図である。 31……心取機フレーム 32……第１レンズホルダ軸 34……第２レンズホルダ軸 37……被検レンズ 38……光源 39……コリメートレンズ 40……ビームスプリッタ 41……絞り 42……集光レンズ 43,44……ホトディテクタ 45……演算表示装置
Claims (2)
- 【請求項１】回転自在に支承された第１レンズホルダ軸
と、前記第１レンズホルダ軸と同一軸線上に配置され、
前記第１レンズホルダ軸と協同して被検レンズを保持自
在の中空の第２レンズホルダ軸と、その出射光が前記各
レンズホルダ軸の軸線上を通るように配設された光源
と、前記光源からの出射光束を平行光にするためのコリ
メートレンズと、前記コリメートレンズからの光束を前
記被検レンズの被検面にピントが合うように前記第２レ
ンズホルダ軸内に配備された集光レンズと、前記集光レ
ンズと前記コリメートレンズとの間に配設されたビーム
スプリッタと、このビームスプリッタを介して前記被検
レンズへ入射する入射光束を受けるためのホトディテク
タと、前記ビームスプリッタを介して前記被検レンズか
らの反射光束を受けるためのホトディテクタと、前記反
射光束を受けるホトディテクタへ入射する光束を所定の
開口径にするための絞りと、前記ホトディテクタで得ら
れた入射光束および反射光束の情報を電気信号に変換し
て被検レンズへの入射光束の断面積と反射光束の断面積
の比を演算処理する装置とより構成したことを特徴とす
るレンズ偏心測定装置。 - 【請求項２】請求項１において、前記ビームスプリッタ
の回転によって、入射光束を受けるためのホトディテク
タが反射光束を受けるためのホトディテクタを兼ねるこ
とを特徴とするレンズ偏心測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1046290A JP2505042B2 (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | レンズ偏心測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1046290A JP2505042B2 (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | レンズ偏心測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02226034A JPH02226034A (ja) | 1990-09-07 |
| JP2505042B2 true JP2505042B2 (ja) | 1996-06-05 |
Family
ID=12743081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1046290A Expired - Lifetime JP2505042B2 (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | レンズ偏心測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2505042B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109946046B (zh) * | 2017-12-21 | 2022-01-07 | 宁波舜宇车载光学技术有限公司 | 偏心测试装置及方法 |
| CN112526697B (zh) * | 2020-12-10 | 2022-07-22 | 业成科技（成都）有限公司 | 镜片对位方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59205263A (ja) * | 1983-05-09 | 1984-11-20 | Ricoh Co Ltd | レンズ心取加工の心出し装置 |
| JPS61275636A (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-05 | Olympus Optical Co Ltd | レンズ系の偏芯測定装置 |
-
1989
- 1989-02-27 JP JP1046290A patent/JP2505042B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59205263A (ja) * | 1983-05-09 | 1984-11-20 | Ricoh Co Ltd | レンズ心取加工の心出し装置 |
| JPS61275636A (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-05 | Olympus Optical Co Ltd | レンズ系の偏芯測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02226034A (ja) | 1990-09-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3832066A (en) | Apparatus and method for analyzing sphero-cylindrical optical systems | |
| JPH0363009B2 (ja) | ||
| JPS61280543A (ja) | 光学系の屈折力の測定装置 | |
| JPH0812127B2 (ja) | 曲率半径測定装置及び方法 | |
| JPS59166805A (ja) | 光学投影器及びその使用方法 | |
| JPH06343608A (ja) | 角膜形状測定装置 | |
| JP2505042B2 (ja) | レンズ偏心測定装置 | |
| JP3120885B2 (ja) | 鏡面の測定装置 | |
| JP2983673B2 (ja) | 曲率半径測定方法および装置 | |
| JPH053889B2 (ja) | ||
| JP3345149B2 (ja) | 非球面レンズの偏心測定装置および心取り装置 | |
| JP3206936B2 (ja) | 眼屈折計 | |
| JPH0943456A (ja) | 光モジュール光軸調整装置及び方法 | |
| JPS62502421A (ja) | 二次元の対象物を整向、検査及び／または測定するための装置 | |
| JPH08261734A (ja) | 形状測定装置 | |
| JPH0566235B2 (ja) | ||
| JP3167870B2 (ja) | 非球面レンズの偏心測定装置およびその偏心測定方法 | |
| JPH0812126B2 (ja) | 非球面レンズ偏心測定装置 | |
| JPS63128213A (ja) | 光学測定機 | |
| JPH0540012A (ja) | 干渉計及び干渉計のアライメント方法 | |
| JPS6255542A (ja) | 光学系検査装置 | |
| JP3066056B2 (ja) | レンズの偏心量測定方法およびその装置 | |
| JPH0275906A (ja) | 結像型変位計 | |
| JPH06258181A (ja) | 偏心測定装置 | |
| JPH0968408A (ja) | 光学式変位センサ |