JPH053889B2 - - Google Patents
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- JPH053889B2 JPH053889B2 JP59241335A JP24133584A JPH053889B2 JP H053889 B2 JPH053889 B2 JP H053889B2 JP 59241335 A JP59241335 A JP 59241335A JP 24133584 A JP24133584 A JP 24133584A JP H053889 B2 JPH053889 B2 JP H053889B2
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- Japan
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- lens
- eccentricity
- point image
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 24
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 22
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0221—Testing optical properties by determining the optical axis or position of lenses
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、レンズの偏心量を測定するための偏
心量測定装置、詳しくはレンズの偏心量をコンピ
ユータを用いて電気的に測定する偏心量測定装置
に関する。
心量測定装置、詳しくはレンズの偏心量をコンピ
ユータを用いて電気的に測定する偏心量測定装置
に関する。
（従来技術）
従来のこの種の技術の一例として、反射型のレ
ンズを芯出し装置を第９図に示す。この芯出し装
置は、レーザ光源１からの光がコリメータレンズ
系２によつて所定の大きさの平行光となり、ビー
ムスプリツタ３を透過し、第１の集光レンズ系４
によつてその焦点位置に集光する。ここで、被検
レンズ５に偏心がなく反射球面の曲率中心を集光
レンズ系４の焦点位置に一致させると、被検レン
ズ５の反射球面による反射光は再び焦点位置に集
光することになる。そして、光軸に対して被検レ
ンズ５が偏心していると、焦点位置上で近似的に
光軸から偏心量の２倍だけずれた位置に集光する
ことになる。次に、この光は再び第１の集光レン
ズ系４を通り、ビームスプリツタ３の半透過面で
反射して第２の集光レンズ系７により集光されて
点像となり、さらに、拡大レンズ系８によりこの
点像は拡大されて光位置検出素子９上に結像す
る。この光位置検出素子９は集光した点像のＸ・
Ｙの二方向の重心位置をこれとリニアなＸ・Ｙの
電圧に変換する。このＸ・Ｙ電圧は増幅器１０に
より増幅され、オシロスコープのような表示部１
１に、横軸をＸ電圧、縦軸をＹ電圧として、第１
０図に示されるように輝点１２として表示され
る。今、この状態で被検レンズ５をその保持枠６
を基準に回転すると、表示部１１において輝点１
２は第１１図に示すように回転して円の軌跡を描
くことになる。この半径の大小が被検レンズ５の
偏心量の大小を示すことになる。しかしながら、
この装置においては偏心量を表示部１１を目視で
見て判断するので、偏心量測定装置としては、 (1) 正確な偏心量がわかならい。
ンズを芯出し装置を第９図に示す。この芯出し装
置は、レーザ光源１からの光がコリメータレンズ
系２によつて所定の大きさの平行光となり、ビー
ムスプリツタ３を透過し、第１の集光レンズ系４
によつてその焦点位置に集光する。ここで、被検
レンズ５に偏心がなく反射球面の曲率中心を集光
レンズ系４の焦点位置に一致させると、被検レン
ズ５の反射球面による反射光は再び焦点位置に集
光することになる。そして、光軸に対して被検レ
ンズ５が偏心していると、焦点位置上で近似的に
光軸から偏心量の２倍だけずれた位置に集光する
ことになる。次に、この光は再び第１の集光レン
ズ系４を通り、ビームスプリツタ３の半透過面で
反射して第２の集光レンズ系７により集光されて
点像となり、さらに、拡大レンズ系８によりこの
点像は拡大されて光位置検出素子９上に結像す
る。この光位置検出素子９は集光した点像のＸ・
Ｙの二方向の重心位置をこれとリニアなＸ・Ｙの
電圧に変換する。このＸ・Ｙ電圧は増幅器１０に
より増幅され、オシロスコープのような表示部１
１に、横軸をＸ電圧、縦軸をＹ電圧として、第１
０図に示されるように輝点１２として表示され
る。今、この状態で被検レンズ５をその保持枠６
を基準に回転すると、表示部１１において輝点１
２は第１１図に示すように回転して円の軌跡を描
くことになる。この半径の大小が被検レンズ５の
偏心量の大小を示すことになる。しかしながら、
この装置においては偏心量を表示部１１を目視で
見て判断するので、偏心量測定装置としては、 (1) 正確な偏心量がわかならい。
(2) 微少な偏心量を知るためには、表示部を拡大
する操作が必要である。
する操作が必要である。
という欠点があつた。
（目的）
本発明の目的は、上記の点に鑑み、高精度にレ
ンズの偏心量をコンピユータを用いて数値化して
測定する偏心量測定装置を提供するにある。
ンズの偏心量をコンピユータを用いて数値化して
測定する偏心量測定装置を提供するにある。
（概要）
本発明は、上記の目的を達成するため、光源か
らの光をコリメートして被検レンズに投射するた
めのレンズ系と、被検レンズを回転するための回
転機構部と、被検レンズからの集光した点像を拡
大するための拡大レンズ系と、拡大された点像の
光量的重心位置をＸ・Ｙの２方向の電圧に変換し
た電気信号として検出するための光位置検出素子
と、ここで得られる電気信号を増幅するための増
幅器と、増幅されたアナログ信号をデジタル信号
に変換するＡ／Ｄ変換器と、このＡ／Ｄ変換器の
出力により前記被検レンズを回転したときの前記
光位置検出素子の受光面上の点像の軌跡が描く包
絡線の面積を求め、この面積に基づいて被検レン
ズの偏心量を計算する演算部とを備えたことを特
徴とする偏心量測定装置であつて、被測定レンズ
の偏心量を高精度でデジタル的に得ることができ
る。
らの光をコリメートして被検レンズに投射するた
めのレンズ系と、被検レンズを回転するための回
転機構部と、被検レンズからの集光した点像を拡
大するための拡大レンズ系と、拡大された点像の
光量的重心位置をＸ・Ｙの２方向の電圧に変換し
た電気信号として検出するための光位置検出素子
と、ここで得られる電気信号を増幅するための増
幅器と、増幅されたアナログ信号をデジタル信号
に変換するＡ／Ｄ変換器と、このＡ／Ｄ変換器の
出力により前記被検レンズを回転したときの前記
光位置検出素子の受光面上の点像の軌跡が描く包
絡線の面積を求め、この面積に基づいて被検レン
ズの偏心量を計算する演算部とを備えたことを特
徴とする偏心量測定装置であつて、被測定レンズ
の偏心量を高精度でデジタル的に得ることができ
る。
（実施例）
以下、図面に基づいて本発明を説明する。第１
図は、本発明による偏心量測定装置の原理を示す
構成概略図である。光源４１からの光はコリメー
トレンズ系４２により平行光となり、被検レンズ
枠４４に回転可能に保持された被検レンズ４３に
投射される。被検レンズ４３からの透過光は、そ
の被検レンズ４３の焦点位置に集光して点像とな
る。この点像は拡大レンズ系４５により拡大さ
れ、光位置検出素子４６上に結像する。この光位
置検出素子４６は集光した点像のＸ・Ｙの二方向
の重心位置をリニアなＸ・Ｙの電圧に変換する。
このＸ・Ｙ電圧は増幅器４７により増幅されて
Ａ／Ｄ変換器４８に入力し、デジタル出力となつ
てコンピユータ４９に入力される。今、この状態
で被検レンズ枠４４を基準として被検レンズ４３
を回転すると、被検レンズ４３が被検レンズ枠４
４に対して偏心している場合には、光位置検出素
子４６上に集光した点像は円を描くことになる。
したがつて、この光位置検出素子４６のＸ・Ｙの
出力は点像が円を描くことにより変化し、コンピ
ユータ４９のＸ・Ｙのデジタル入力もそれにした
がつて変化する。
図は、本発明による偏心量測定装置の原理を示す
構成概略図である。光源４１からの光はコリメー
トレンズ系４２により平行光となり、被検レンズ
枠４４に回転可能に保持された被検レンズ４３に
投射される。被検レンズ４３からの透過光は、そ
の被検レンズ４３の焦点位置に集光して点像とな
る。この点像は拡大レンズ系４５により拡大さ
れ、光位置検出素子４６上に結像する。この光位
置検出素子４６は集光した点像のＸ・Ｙの二方向
の重心位置をリニアなＸ・Ｙの電圧に変換する。
このＸ・Ｙ電圧は増幅器４７により増幅されて
Ａ／Ｄ変換器４８に入力し、デジタル出力となつ
てコンピユータ４９に入力される。今、この状態
で被検レンズ枠４４を基準として被検レンズ４３
を回転すると、被検レンズ４３が被検レンズ枠４
４に対して偏心している場合には、光位置検出素
子４６上に集光した点像は円を描くことになる。
したがつて、この光位置検出素子４６のＸ・Ｙの
出力は点像が円を描くことにより変化し、コンピ
ユータ４９のＸ・Ｙのデジタル入力もそれにした
がつて変化する。
次に、コンピユータ４９における偏心量の計算
方法の原理を説明する。第２図に示すように、コ
ンピユータ４９のデジタル入力のうち、Ｘ入力を
横軸にＹ入力を縦軸にとると、偏心した被検レン
ズ４３を回転させると円を描くことになる。この
円の半径をｒ、偏心した被検レンズ４３の偏心量
をδとし、前記拡大レンズ４５、光位置検出装置
４６、増幅器４７およびＡ／Ｄ変換器４８の総合
的な倍率をｍとすれば、 ｒ＝mδ、δ＝ｒ／ｍ となる。したがつて倍率ｍを知り半径ｒを求めれ
ば偏心量δを知ることができる。
方法の原理を説明する。第２図に示すように、コ
ンピユータ４９のデジタル入力のうち、Ｘ入力を
横軸にＹ入力を縦軸にとると、偏心した被検レン
ズ４３を回転させると円を描くことになる。この
円の半径をｒ、偏心した被検レンズ４３の偏心量
をδとし、前記拡大レンズ４５、光位置検出装置
４６、増幅器４７およびＡ／Ｄ変換器４８の総合
的な倍率をｍとすれば、 ｒ＝mδ、δ＝ｒ／ｍ となる。したがつて倍率ｍを知り半径ｒを求めれ
ば偏心量δを知ることができる。
今、時刻toに（Xo、yo）のデジタル入力があ
り、時刻to+1に（Xo+1、yo+1）のデジタル入力が
あるとする。そして、 So+1＝So＋yo+1（Xo+1−Xo）（ｎは整数） とすれば、Xo+1が増加しているとき、第３図に
示すようにSo+1は増加し、Xo+1が減少していると
きは第４図に示すようにSo+1は減少する。これよ
り被検レンズ４３が１回転すると、第５図に示す
ようにSo+1はＸ・Ｙ入力が描く円の面積となり、
これより半径ｒが求められる。
り、時刻to+1に（Xo+1、yo+1）のデジタル入力が
あるとする。そして、 So+1＝So＋yo+1（Xo+1−Xo）（ｎは整数） とすれば、Xo+1が増加しているとき、第３図に
示すようにSo+1は増加し、Xo+1が減少していると
きは第４図に示すようにSo+1は減少する。これよ
り被検レンズ４３が１回転すると、第５図に示す
ようにSo+1はＸ・Ｙ入力が描く円の面積となり、
これより半径ｒが求められる。
したがつて、コンピユータ４９はＸ・Ｙの入力
を得るだけで偏心量を求めることができる。
を得るだけで偏心量を求めることができる。
次に、第６図に基づいて本発明の第１実施例を
説明する。この実施例は反射型の偏心量測定装置
に本発明を適用したものであつて、上記第９図に
示された従来例における表示部１１をＡ／Ｄ変換
器１３およびコンピユータ１４に変えたものであ
り、その他の構成は全く同じであるから同一部材
には同一符号を付し、その説明は省略する。した
がつて、光位置検出素子９のＸ・Ｙ電圧の出力が
増幅器１０で増幅されるまでは上記第９図の従来
例のものと全く同様である。増幅器１０で増幅さ
れたＸ・Ｙ出力は、Ａ／Ｄ変換器１３によりデジ
タル出力となりコンピユータ１４に入力される。
今、この状態で、被検レンズ枠６を基準として被
検レンズ５を回転させると、被検レンズ５が被検
レンズ枠６に対して偏心している場合には、光位
置検出素子９上に集光した点像は円を描く。した
がつて、光位置検出素子９のＸ・Ｙ出力は点像が
円を描くことにより変化し、コンピユータ１４に
よりその円の面積を計算し、次いで円の半径を計
算することにより被検レンズの偏心量が求められ
る。これにより (1) 偏心量を数値化して求めることができる。
説明する。この実施例は反射型の偏心量測定装置
に本発明を適用したものであつて、上記第９図に
示された従来例における表示部１１をＡ／Ｄ変換
器１３およびコンピユータ１４に変えたものであ
り、その他の構成は全く同じであるから同一部材
には同一符号を付し、その説明は省略する。した
がつて、光位置検出素子９のＸ・Ｙ電圧の出力が
増幅器１０で増幅されるまでは上記第９図の従来
例のものと全く同様である。増幅器１０で増幅さ
れたＸ・Ｙ出力は、Ａ／Ｄ変換器１３によりデジ
タル出力となりコンピユータ１４に入力される。
今、この状態で、被検レンズ枠６を基準として被
検レンズ５を回転させると、被検レンズ５が被検
レンズ枠６に対して偏心している場合には、光位
置検出素子９上に集光した点像は円を描く。した
がつて、光位置検出素子９のＸ・Ｙ出力は点像が
円を描くことにより変化し、コンピユータ１４に
よりその円の面積を計算し、次いで円の半径を計
算することにより被検レンズの偏心量が求められ
る。これにより (1) 偏心量を数値化して求めることができる。
(2) 微小な偏心量も高精度で求めることができ
る。
る。
という効果がある。
次に、第７図に基づいて本発明の第２実施例を
説明する。本実施例は本発明を透過型の偏心量測
定装置に適用したものであつて、図示してはいな
いが、被検レンズ枠１０４をチヤツクしている治
具は光軸方向に移動できる機能を有している。レ
ーザ光源１０１からの光はコリメートレンズ系１
０２によりコリメートされて平行光になり被検レ
ンズ１０３に投射される。この光は被検レンズ１
０３によりその焦点位置に集光し、次いで拡大レ
ンズ系１０５によりビームスプリツタ１０６を介
して透過光と反射光に二分され、透過光は光位置
検出素子１０７の面上に拡大されて集光する。一
方、反射光は第８図に平面図として示されるスリ
ツト板１１１上に集光する。このスリツト板１１
１は常時モータにより図示の矢印方向に定速回転
しており、そのスリツト１１１ａによつて一定間
隔のパルスを光量検出素子１１２に透過するよう
になつている。この透過光量は、被検レンズ１０
３の移動位置が正確でない場合、スリツト板１１
１の面上には集光せずこのを位置でのビームが拡
大されるので小さくなる。この透過光量を光量検
出素子１１２で検出し、このパルス信号の振幅す
なわち透過光量を表示部１１３で表示するように
なつている。従つて、この表示部１１３を見なが
らこれが最大となるように被検レンズ１０３を光
軸方向に移動させれば、スリツト板１１１と共役
の位置にある光位置検出素子１０７の面上に最大
の光を集光させることができる。そして常にこの
状態で光位置検出素子１０７のＸ・Ｙの出力が増
幅器１０８により増幅され、さらにＡ／Ｄ変換器
１０９によりデジタル出力となりコンピユータ１
１０に入力される。この外は前記第１実施例と同
一であり、同様に偏心量を求めることができる。
したがつて、透過型の偏心量測定装置において
も、この方法ならば偏心量を数値化して求めるこ
とができる。
説明する。本実施例は本発明を透過型の偏心量測
定装置に適用したものであつて、図示してはいな
いが、被検レンズ枠１０４をチヤツクしている治
具は光軸方向に移動できる機能を有している。レ
ーザ光源１０１からの光はコリメートレンズ系１
０２によりコリメートされて平行光になり被検レ
ンズ１０３に投射される。この光は被検レンズ１
０３によりその焦点位置に集光し、次いで拡大レ
ンズ系１０５によりビームスプリツタ１０６を介
して透過光と反射光に二分され、透過光は光位置
検出素子１０７の面上に拡大されて集光する。一
方、反射光は第８図に平面図として示されるスリ
ツト板１１１上に集光する。このスリツト板１１
１は常時モータにより図示の矢印方向に定速回転
しており、そのスリツト１１１ａによつて一定間
隔のパルスを光量検出素子１１２に透過するよう
になつている。この透過光量は、被検レンズ１０
３の移動位置が正確でない場合、スリツト板１１
１の面上には集光せずこのを位置でのビームが拡
大されるので小さくなる。この透過光量を光量検
出素子１１２で検出し、このパルス信号の振幅す
なわち透過光量を表示部１１３で表示するように
なつている。従つて、この表示部１１３を見なが
らこれが最大となるように被検レンズ１０３を光
軸方向に移動させれば、スリツト板１１１と共役
の位置にある光位置検出素子１０７の面上に最大
の光を集光させることができる。そして常にこの
状態で光位置検出素子１０７のＸ・Ｙの出力が増
幅器１０８により増幅され、さらにＡ／Ｄ変換器
１０９によりデジタル出力となりコンピユータ１
１０に入力される。この外は前記第１実施例と同
一であり、同様に偏心量を求めることができる。
したがつて、透過型の偏心量測定装置において
も、この方法ならば偏心量を数値化して求めるこ
とができる。
（発明の効果）
以上の説明で明らかなように、本発明の偏心量
測定装置は次のような効果が得られる。
測定装置は次のような効果が得られる。
(1) 作業者が目視で偏心量を求めるのではなく、
数値で偏心量が求められるため、作業者による
測定ミスを防止することができる。
数値で偏心量が求められるため、作業者による
測定ミスを防止することができる。
(2) 微少な偏心量を求める場合も、表示部を拡大
する必要がなく、高精度でしかも短時間で測定
することができる。
する必要がなく、高精度でしかも短時間で測定
することができる。
第１図は、本発明の偏心量測定装置の原理を示
す概略構成図、第２図〜第５図は、偏心量を計算
する過程を示す線図、第６図は、本発明の一実施
例を示す偏心量測定装置の概略構成図、第７図
は、本発明の他の実施例を示す偏心量測定装置の
概略構成図、第８図は、上記第７図に示す実施例
に使用されるスリツト円板の平面図、第９図は、
従来の偏心量測定装置の一例を示す概略構成図、
第１０図および第１１図は、上記第９図の表示部
の拡大図である。 １，４１，１０１……光源、２，４，４２，１
０２……コリメートレンズ系、５，４３，１０３
……被検レンズ、６，４４，１０４……保持枠
（回転機構部）、８，４５，１０５……拡大レンズ
系、９，４６，１０７……光位置検出素子、１
０，４７，１０８……増幅器、１３，４８，１０
９……Ａ／Ｄ変換器、１４，４９，１１０……コ
ンピユータ。
す概略構成図、第２図〜第５図は、偏心量を計算
する過程を示す線図、第６図は、本発明の一実施
例を示す偏心量測定装置の概略構成図、第７図
は、本発明の他の実施例を示す偏心量測定装置の
概略構成図、第８図は、上記第７図に示す実施例
に使用されるスリツト円板の平面図、第９図は、
従来の偏心量測定装置の一例を示す概略構成図、
第１０図および第１１図は、上記第９図の表示部
の拡大図である。 １，４１，１０１……光源、２，４，４２，１
０２……コリメートレンズ系、５，４３，１０３
……被検レンズ、６，４４，１０４……保持枠
（回転機構部）、８，４５，１０５……拡大レンズ
系、９，４６，１０７……光位置検出素子、１
０，４７，１０８……増幅器、１３，４８，１０
９……Ａ／Ｄ変換器、１４，４９，１１０……コ
ンピユータ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 光源と同光源の光を被検レンズに投射するた
めのレンズ系と、 被検レンズを回転するための回転機構部と、 上記被検レンズからの集光した点像を拡大する
ための拡大レンズ系と、 拡大された点像の光量的重心位置をＸ・Ｙの２
方向の電圧に変換した電気信号として検出するた
めの光位置検出素子と、 ここで得られる電気信号を増幅するための増幅
器と、 増幅されたアナログ信号をデジタル信号に変換
するためのＡ／Ｄ変換器と、 このＡ／Ｄ変換器の出力により前記被検レンズ
を回転したときの前記光位置検出素子の受光面上
の点像の軌跡が描く包絡線の面積を求め、この面
積に基づいて被検レンズの偏心量を計算する演算
部と、 を備えたことを特徴とする偏心量測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24133584A JPS61118639A (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 | 偏心量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24133584A JPS61118639A (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 | 偏心量測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61118639A JPS61118639A (ja) | 1986-06-05 |
| JPH053889B2 true JPH053889B2 (ja) | 1993-01-18 |
Family
ID=17072766
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24133584A Granted JPS61118639A (ja) | 1984-11-15 | 1984-11-15 | 偏心量測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61118639A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0197832A (ja) * | 1987-10-09 | 1989-04-17 | Olympus Optical Co Ltd | 偏心測定装置 |
| JPH0812127B2 (ja) * | 1988-11-11 | 1996-02-07 | オリンパス光学工業株式会社 | 曲率半径測定装置及び方法 |
| US5280336A (en) * | 1991-03-29 | 1994-01-18 | Optikos Corporation | Automated radius measurement apparatus |
| US5416574A (en) * | 1991-03-29 | 1995-05-16 | Optikos Corporation | Automated optical measurement apparatus |
| TW283201B (ja) * | 1993-08-13 | 1996-08-11 | Ricoh Kk | |
| JP4899312B2 (ja) * | 2004-12-22 | 2012-03-21 | パナソニック株式会社 | 精米器 |
| WO2009028332A1 (ja) * | 2007-08-27 | 2009-03-05 | Nikon Corporation | 波面収差計測装置および方法、並びに波面収差調整方法 |
| DE102010053422B3 (de) * | 2010-11-29 | 2012-03-29 | Trioptics Gmbh | Messung der Positionen von Krümmungsmittelpunkten optischer Flächen eines mehrlinsigen optischen Systems |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS519620A (ja) * | 1974-07-15 | 1976-01-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | |
| JPS5873336A (ja) * | 1981-10-28 | 1983-05-02 | 株式会社トプコン | 曲率測定装置 |
-
1984
- 1984-11-15 JP JP24133584A patent/JPS61118639A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS519620A (ja) * | 1974-07-15 | 1976-01-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | |
| JPS5873336A (ja) * | 1981-10-28 | 1983-05-02 | 株式会社トプコン | 曲率測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61118639A (ja) | 1986-06-05 |
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