JPS58112909U - X線膜厚装置 - Google Patents
X線膜厚装置Info
- Publication number
- JPS58112909U JPS58112909U JP1041882U JP1041882U JPS58112909U JP S58112909 U JPS58112909 U JP S58112909U JP 1041882 U JP1041882 U JP 1041882U JP 1041882 U JP1041882 U JP 1041882U JP S58112909 U JPS58112909 U JP S58112909U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film thickness
- ray film
- sample
- thickness device
- detecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面はこの考案による螢光X線装置の構成図である。
1・・・X線管、2・・・コリメータ、3・・・試料、
4・・・試料台、5・・・検出器、6・・・投光器、7
・・・受光器。
4・・・試料台、5・・・検出器、6・・・投光器、7
・・・受光器。
Claims (1)
- X線を試料に照射して発生した螢光X線を検出する事に
より試料の膜厚を測定する装置において、試料位置検出
用投光器と受光器を備え、この投光器と受光器で、試料
の最適測定位置を検出し、そして、その検出信号で試料
を最適測定位置に設定する構成にしたことを特徴とする
X線膜厚装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1041882U JPS58112909U (ja) | 1982-01-28 | 1982-01-28 | X線膜厚装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1041882U JPS58112909U (ja) | 1982-01-28 | 1982-01-28 | X線膜厚装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58112909U true JPS58112909U (ja) | 1983-08-02 |
Family
ID=30023067
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1041882U Pending JPS58112909U (ja) | 1982-01-28 | 1982-01-28 | X線膜厚装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58112909U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60218845A (ja) * | 1984-04-16 | 1985-11-01 | Hitachi Ltd | 異物検査装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5389761A (en) * | 1977-01-18 | 1978-08-07 | Takuma Kk | Inspecting apparatus for thickness of dust layer in trash burner |
JPS56128408A (en) * | 1980-03-13 | 1981-10-07 | Rigaku Denki Kogyo Kk | X-ray thickness gauge |
-
1982
- 1982-01-28 JP JP1041882U patent/JPS58112909U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5389761A (en) * | 1977-01-18 | 1978-08-07 | Takuma Kk | Inspecting apparatus for thickness of dust layer in trash burner |
JPS56128408A (en) * | 1980-03-13 | 1981-10-07 | Rigaku Denki Kogyo Kk | X-ray thickness gauge |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60218845A (ja) * | 1984-04-16 | 1985-11-01 | Hitachi Ltd | 異物検査装置 |
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