JPS6138509U - X線測定装置 - Google Patents

X線測定装置

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Publication number
JPS6138509U
JPS6138509U JP12331584U JP12331584U JPS6138509U JP S6138509 U JPS6138509 U JP S6138509U JP 12331584 U JP12331584 U JP 12331584U JP 12331584 U JP12331584 U JP 12331584U JP S6138509 U JPS6138509 U JP S6138509U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ray
sample
intensity
fluorescent
rays
Prior art date
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Pending
Application number
JP12331584U
Other languages
English (en)
Inventor
義朗 松本
允克 藤野
Original Assignee
住友金属工業株式会社
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS6138509U publication Critical patent/JPS6138509U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
一沿二菜フ=92よ.、.11ヶカヨ。 一〇ヶを示すブロック図、第2図および第3図は本考案
装置を使用した場合の結果を示す図面で、第2図は螢光
X線方式によるもの、第3図は吸収X線方式によるもの
である。 1はX線管球、2はシャッター、3はコリメータ、4は
試料、5,9は検出器、6,10は増幅器、7はシング
ルチャンネルタイプの波高弁別器、8はスケーラータイ
マー、11はマルチチャンネルタイプの波高弁別器、1
2はマイクロコンピュータ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. シャッターおよびコリメータを介して試料にX線を照射
    するX線源と、前記試料より発生する螢光父線を検出し
    、そのX線強度の測定を行う螢光X線方式による測定部
    と、前記X線源より照射されて試料を透過した吸収X線
    を検出し、そのX線強度の測定を行う吸収X線方式によ
    る測定部と、前記螢光X線方式についての予め定めた基
    準X線相対強度と、前記螢光X線方式による測定部から
    の測定値を比較し、前記両測定部からの測定値のうちの
    採用すべき測定値を判定し演算するマイクロコンピュー
    タを具備して成ることを特徴とするX線測定装置。
JP12331584U 1984-08-10 1984-08-10 X線測定装置 Pending JPS6138509U (ja)

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JP12331584U JPS6138509U (ja) 1984-08-10 1984-08-10 X線測定装置

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JP12331584U JPS6138509U (ja) 1984-08-10 1984-08-10 X線測定装置

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JPS6138509U true JPS6138509U (ja) 1986-03-11

Family

ID=30682067

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JP12331584U Pending JPS6138509U (ja) 1984-08-10 1984-08-10 X線測定装置

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JP (1) JPS6138509U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024004990A1 (ja) * 2022-06-30 2024-01-04 株式会社堀場製作所 厚み計測方法、x線分析装置、情報処理装置及びコンピュータプログラム
WO2024005006A1 (ja) * 2022-06-30 2024-01-04 株式会社堀場製作所 厚み計測方法、x線分析装置、情報処理装置及びコンピュータプログラム

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024004990A1 (ja) * 2022-06-30 2024-01-04 株式会社堀場製作所 厚み計測方法、x線分析装置、情報処理装置及びコンピュータプログラム
WO2024005006A1 (ja) * 2022-06-30 2024-01-04 株式会社堀場製作所 厚み計測方法、x線分析装置、情報処理装置及びコンピュータプログラム

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