JPS6138509U - X線測定装置 - Google Patents
X線測定装置Info
- Publication number
- JPS6138509U JPS6138509U JP12331584U JP12331584U JPS6138509U JP S6138509 U JPS6138509 U JP S6138509U JP 12331584 U JP12331584 U JP 12331584U JP 12331584 U JP12331584 U JP 12331584U JP S6138509 U JPS6138509 U JP S6138509U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- sample
- intensity
- fluorescent
- rays
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
一沿二菜フ=92よ.、.11ヶカヨ。
一〇ヶを示すブロック図、第2図および第3図は本考案
装置を使用した場合の結果を示す図面で、第2図は螢光
X線方式によるもの、第3図は吸収X線方式によるもの
である。 1はX線管球、2はシャッター、3はコリメータ、4は
試料、5,9は検出器、6,10は増幅器、7はシング
ルチャンネルタイプの波高弁別器、8はスケーラータイ
マー、11はマルチチャンネルタイプの波高弁別器、1
2はマイクロコンピュータ。
装置を使用した場合の結果を示す図面で、第2図は螢光
X線方式によるもの、第3図は吸収X線方式によるもの
である。 1はX線管球、2はシャッター、3はコリメータ、4は
試料、5,9は検出器、6,10は増幅器、7はシング
ルチャンネルタイプの波高弁別器、8はスケーラータイ
マー、11はマルチチャンネルタイプの波高弁別器、1
2はマイクロコンピュータ。
Claims (1)
- シャッターおよびコリメータを介して試料にX線を照射
するX線源と、前記試料より発生する螢光父線を検出し
、そのX線強度の測定を行う螢光X線方式による測定部
と、前記X線源より照射されて試料を透過した吸収X線
を検出し、そのX線強度の測定を行う吸収X線方式によ
る測定部と、前記螢光X線方式についての予め定めた基
準X線相対強度と、前記螢光X線方式による測定部から
の測定値を比較し、前記両測定部からの測定値のうちの
採用すべき測定値を判定し演算するマイクロコンピュー
タを具備して成ることを特徴とするX線測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12331584U JPS6138509U (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | X線測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12331584U JPS6138509U (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | X線測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6138509U true JPS6138509U (ja) | 1986-03-11 |
Family
ID=30682067
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12331584U Pending JPS6138509U (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | X線測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6138509U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024004990A1 (ja) * | 2022-06-30 | 2024-01-04 | 株式会社堀場製作所 | 厚み計測方法、x線分析装置、情報処理装置及びコンピュータプログラム |
WO2024005006A1 (ja) * | 2022-06-30 | 2024-01-04 | 株式会社堀場製作所 | 厚み計測方法、x線分析装置、情報処理装置及びコンピュータプログラム |
-
1984
- 1984-08-10 JP JP12331584U patent/JPS6138509U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024004990A1 (ja) * | 2022-06-30 | 2024-01-04 | 株式会社堀場製作所 | 厚み計測方法、x線分析装置、情報処理装置及びコンピュータプログラム |
WO2024005006A1 (ja) * | 2022-06-30 | 2024-01-04 | 株式会社堀場製作所 | 厚み計測方法、x線分析装置、情報処理装置及びコンピュータプログラム |
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