JPH0351054B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0351054B2 JPH0351054B2 JP56078473A JP7847381A JPH0351054B2 JP H0351054 B2 JPH0351054 B2 JP H0351054B2 JP 56078473 A JP56078473 A JP 56078473A JP 7847381 A JP7847381 A JP 7847381A JP H0351054 B2 JPH0351054 B2 JP H0351054B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- electrode
- charged particle
- electrodes
- electrons
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 8
- 101700004678 SLIT3 Proteins 0.000 description 6
- 102100027339 Slit homolog 3 protein Human genes 0.000 description 6
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
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- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/44—Energy spectrometers, e.g. alpha-, beta-spectrometers
- H01J49/46—Static spectrometers
- H01J49/48—Static spectrometers using electrostatic analysers, e.g. cylindrical sector, Wien filter
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は静電型の荷電粒子エネルギー分析器
（以下の説明では便宜上荷電粒子を電子とする）
に関する。静電型電子エネルギー分析器には平行
平板電極型、同心２重円筒或は球面電極型等があ
るが、本発明は平行平板電極型に関する。
（以下の説明では便宜上荷電粒子を電子とする）
に関する。静電型電子エネルギー分析器には平行
平板電極型、同心２重円筒或は球面電極型等があ
るが、本発明は平行平板電極型に関する。
平行平板電極型電子エネルギー分析器は同心２
重球面電極型に比し装置が単純かつ小型にできる
と云う利点があるが、細い電子線束しか扱うこと
ができず、試料から放出される電子のエネルギー
分析において電子の利用率が悪く測定感度が低い
と云う難点があつた。本発明は平行平板電極型エ
ネルギー分析器の上述した難点を解消し、明るい
電子エネルギー分析器を得ることを目的としてな
されたものである。
重球面電極型に比し装置が単純かつ小型にできる
と云う利点があるが、細い電子線束しか扱うこと
ができず、試料から放出される電子のエネルギー
分析において電子の利用率が悪く測定感度が低い
と云う難点があつた。本発明は平行平板電極型エ
ネルギー分析器の上述した難点を解消し、明るい
電子エネルギー分析器を得ることを目的としてな
されたものである。
第１図は平行平板電極型電子エネルギー分析器
の原理を示す。１，２は互に対向した平行平板電
極で、３は電子入射スリツト、４は電子出射スリ
ツトである。入射スリツト３から電極１，２間に
斜に入射した電子は電極２の方へ引戻されるため
拠物軌道を画き、特定のエネルギー即ち初速度を
持つた電子だけが出射スリツト４を通過できる。
電子線源Ｓからはかなり広い立体角内に電子が放
射されているが、そのうちエネルギー分析が行わ
れるのは電子線源Ｓから入射スリツト３の方向に
放射された細い電子線束内の電子だけであり、電
子の利用率が低い。所で第１図に示した関係は電
子線源Ｓを通り電極１，２に垂直な直線Ｘを含む
任意の平面において成立つから、入射スリツト
３、出射スリツト４を直線Ｘが電極板２を貫く点
Ｏを中心とする円弧にすることにより電子の利用
率が高められる。従来は入、出射スリツト３，４
は図の紙面に垂直な方向に長くすることによりエ
ネルギー分析器の明るさを上げるようにしていた
が、このようにすると、図の紙面と平行でない軌
道面を持つ電子に対しては出射スリツト通過のエ
ネルギーが図紙面上を運動する電子と異り、エネ
ルギー分解能が低下する。本発明によればエネル
ギー分解能を犠牲にすることなく明い電子エネル
ギー分析器が得られる。以下実施例によつて本発
明を説明する。
の原理を示す。１，２は互に対向した平行平板電
極で、３は電子入射スリツト、４は電子出射スリ
ツトである。入射スリツト３から電極１，２間に
斜に入射した電子は電極２の方へ引戻されるため
拠物軌道を画き、特定のエネルギー即ち初速度を
持つた電子だけが出射スリツト４を通過できる。
電子線源Ｓからはかなり広い立体角内に電子が放
射されているが、そのうちエネルギー分析が行わ
れるのは電子線源Ｓから入射スリツト３の方向に
放射された細い電子線束内の電子だけであり、電
子の利用率が低い。所で第１図に示した関係は電
子線源Ｓを通り電極１，２に垂直な直線Ｘを含む
任意の平面において成立つから、入射スリツト
３、出射スリツト４を直線Ｘが電極板２を貫く点
Ｏを中心とする円弧にすることにより電子の利用
率が高められる。従来は入、出射スリツト３，４
は図の紙面に垂直な方向に長くすることによりエ
ネルギー分析器の明るさを上げるようにしていた
が、このようにすると、図の紙面と平行でない軌
道面を持つ電子に対しては出射スリツト通過のエ
ネルギーが図紙面上を運動する電子と異り、エネ
ルギー分解能が低下する。本発明によればエネル
ギー分解能を犠牲にすることなく明い電子エネル
ギー分析器が得られる。以下実施例によつて本発
明を説明する。
第２図に本発明の一実施例を示す。この図では
入、出射スリツトの形が良く見えるように一部の
部品が省いてある。１，２は互に対向している平
行平板電極で、電極１には負の電圧を印加し、電
極２は接地してある。電極１，２は円板状で中央
に窓Ｗ１，Ｗ２が穿つてあり、この窓を通して上
方から試料Ｓを光、Ｘ線、電子線等の励起線Ｘで
照射できるようにしてある。電極板２には窓Ｗ２
と同心に円周スリツト３，４が設けてある。全体
の構造は励起線を示すのと兼ねて書かれた中心線
Ｘに関して軸対称的である。スリツト３は入射ス
リツト、スリツト４は出射スリツトで、出射スリ
ツト４の下側には同スリツトに沿つて電子検出器
５が配置してある。試料Ｓの励起線照射点から中
心線Ｘに対しθの角度で放射された電子は全部入
射スリツト３から電極１，２間の空間に入射する
ことができる。
入、出射スリツトの形が良く見えるように一部の
部品が省いてある。１，２は互に対向している平
行平板電極で、電極１には負の電圧を印加し、電
極２は接地してある。電極１，２は円板状で中央
に窓Ｗ１，Ｗ２が穿つてあり、この窓を通して上
方から試料Ｓを光、Ｘ線、電子線等の励起線Ｘで
照射できるようにしてある。電極板２には窓Ｗ２
と同心に円周スリツト３，４が設けてある。全体
の構造は励起線を示すのと兼ねて書かれた中心線
Ｘに関して軸対称的である。スリツト３は入射ス
リツト、スリツト４は出射スリツトで、出射スリ
ツト４の下側には同スリツトに沿つて電子検出器
５が配置してある。試料Ｓの励起線照射点から中
心線Ｘに対しθの角度で放射された電子は全部入
射スリツト３から電極１，２間の空間に入射する
ことができる。
電極板１，２の間には縁辺の電界の乱れをなく
すため第３図に示すように導体の環６が絶縁スペ
ーサ７を介して幾層も積重ねてあり、各環には電
極１，２間の電圧を抵抗Ｒで分割した電圧が印加
してある。この構成は縁辺の電界の乱れを解消す
ると共に電極１，２を一定の位置関係で構造的に
結合する役目も兼ねている。第３図に示すように
電極１，２の窓Ｗ１，Ｗ２における電界の乱れを
解消するため窓Ｗ１，Ｗ２間にも上と同様の構造
６′，７′が設けてあり、この構造は電極１に対し
電極２のスリツト３より内側の部分を固定する役
目を兼ねている。電極２のスリツト４より外側の
部分と内側の部分とは電極２の下側で腕８によつ
て一体的に結合されている。
すため第３図に示すように導体の環６が絶縁スペ
ーサ７を介して幾層も積重ねてあり、各環には電
極１，２間の電圧を抵抗Ｒで分割した電圧が印加
してある。この構成は縁辺の電界の乱れを解消す
ると共に電極１，２を一定の位置関係で構造的に
結合する役目も兼ねている。第３図に示すように
電極１，２の窓Ｗ１，Ｗ２における電界の乱れを
解消するため窓Ｗ１，Ｗ２間にも上と同様の構造
６′，７′が設けてあり、この構造は電極１に対し
電極２のスリツト３より内側の部分を固定する役
目を兼ねている。電極２のスリツト４より外側の
部分と内側の部分とは電極２の下側で腕８によつ
て一体的に結合されている。
本発明電子エネルギー分析器は上述したような
構成で試料から一方向に放射された電子だけでな
く一つの円錐面に沿う電子がエネルギー分析に供
されるので分解能を下げずに明るさを増加させる
ことができ高感度、高分解能のエネルギー分光が
可能となる。
構成で試料から一方向に放射された電子だけでな
く一つの円錐面に沿う電子がエネルギー分析に供
されるので分解能を下げずに明るさを増加させる
ことができ高感度、高分解能のエネルギー分光が
可能となる。
なお、以上の説明では電子だけを扱つたが、本
発明がイオン線等荷電粒子全般のエネルギー分析
にも適用できることは云うまでもなく、また上記
実施例では入、出射スリツトは全円周型である
が、円弧状であつてもよい。
発明がイオン線等荷電粒子全般のエネルギー分析
にも適用できることは云うまでもなく、また上記
実施例では入、出射スリツトは全円周型である
が、円弧状であつてもよい。
第１図は平行平板電極型電子エネルギー分析器
の原理を示す側面図、第２図は本発明の一実施例
装置の一部切欠斜視図、第３図は同じく縦断側面
図である。 １，２……互に対向している平行平板電極、３
……入射スリツト、４……出射スリツト、５……
電子検出器、６，６′……導体環、７，７′……絶
縁スペーサ、８……腕、Ｓ……試料。
の原理を示す側面図、第２図は本発明の一実施例
装置の一部切欠斜視図、第３図は同じく縦断側面
図である。 １，２……互に対向している平行平板電極、３
……入射スリツト、４……出射スリツト、５……
電子検出器、６，６′……導体環、７，７′……絶
縁スペーサ、８……腕、Ｓ……試料。
Claims (1)
- １ ２枚の平板電極を平行に対向させ、一方の電
極板に同心円状に２つのスリツトを設け、これら
のスリツト円の中心において、同電極の他電極と
は反対側に立てた垂線上に点状荷電粒子源を配置
し、同電極の荷電粒子源と同じ側において外側の
スリツト円に沿つて荷電粒子検出器を配置すると
共に、上記両電極をその外周が上記外側のスリツ
トより少し外方にでる半径の円板とし、両電極の
内外縁辺部で両電極間に絶縁スペーサと環状導体
とを交互に重ねて配置し、それらの環状導体に両
電極間の電圧を抵抗で分圧した電圧を印加するよ
うにしたことを特徴とする荷電粒子エネルギー分
析器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56078473A JPS57194446A (en) | 1981-05-22 | 1981-05-22 | Charged particle energy analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56078473A JPS57194446A (en) | 1981-05-22 | 1981-05-22 | Charged particle energy analyzer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57194446A JPS57194446A (en) | 1982-11-30 |
| JPH0351054B2 true JPH0351054B2 (ja) | 1991-08-05 |
Family
ID=13662980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56078473A Granted JPS57194446A (en) | 1981-05-22 | 1981-05-22 | Charged particle energy analyzer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57194446A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4742224A (en) * | 1986-12-22 | 1988-05-03 | American Telephone And Telegraph Company At&T Bell Laboratories | Charged particle energy filter |
| DE4239866A1 (ja) * | 1992-02-03 | 1993-08-05 | Forschungszentrum Juelich Gmbh | |
| JP2007248081A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Kyoto Univ | 光子ビーム発生装置及び該方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5028393A (ja) * | 1973-05-08 | 1975-03-22 | ||
| JPS5135388A (ja) * | 1974-09-20 | 1976-03-25 | Hitachi Ltd |
-
1981
- 1981-05-22 JP JP56078473A patent/JPS57194446A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5028393A (ja) * | 1973-05-08 | 1975-03-22 | ||
| JPS5135388A (ja) * | 1974-09-20 | 1976-03-25 | Hitachi Ltd |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57194446A (en) | 1982-11-30 |
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