JPS5823160U - 電子プロ−ブ装置 - Google Patents
電子プロ−ブ装置Info
- Publication number
- JPS5823160U JPS5823160U JP11012581U JP11012581U JPS5823160U JP S5823160 U JPS5823160 U JP S5823160U JP 11012581 U JP11012581 U JP 11012581U JP 11012581 U JP11012581 U JP 11012581U JP S5823160 U JPS5823160 U JP S5823160U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- probe device
- electron
- electronic probe
- detected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の一実施例を示すブロック図で
′あり、第２図は試料からの反射電子のエネルギー分布
を示す図である。 １：収束レンズ、２：試料、３：走査信号発生回路、４
：偏向コイル、５：静電偏向板、６：遮蔽板、７：開口
、８：電子検出器、９：波高分析器、１０：Ｌ／−トメ
ータ、１１：表示装置。
′あり、第２図は試料からの反射電子のエネルギー分布
を示す図である。 １：収束レンズ、２：試料、３：走査信号発生回路、４
：偏向コイル、５：静電偏向板、６：遮蔽板、７：開口
、８：電子検出器、９：波高分析器、１０：Ｌ／−トメ
ータ、１１：表示装置。
Claims (1)
- 電子線を試料に照射し、該試料からの電子を検出して該
試料を分析するようにした電子プローブ装置において、
該試料からの反射電子をエネルギー分散型電子検出器に
よって検出し、該検出信号を波高分析器に導くように構
成し、該波高分析器によって選別された特定エネルギー
の反射電子に基づく信号によって該試料の反射電子像を
得るようにした電子プローブ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11012581U JPS5823160U (ja) | 1981-07-24 | 1981-07-24 | 電子プロ−ブ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11012581U JPS5823160U (ja) | 1981-07-24 | 1981-07-24 | 電子プロ−ブ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5823160U true JPS5823160U (ja) | 1983-02-14 |
| JPS6326925Y2 JPS6326925Y2 (ja) | 1988-07-21 |
Family
ID=29904482
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11012581U Granted JPS5823160U (ja) | 1981-07-24 | 1981-07-24 | 電子プロ−ブ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5823160U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4913100A (ja) * | 1972-05-17 | 1974-02-05 | ||
| JPS51117571A (en) * | 1975-04-08 | 1976-10-15 | Jeol Ltd | Scanning electron microscope |
-
1981
- 1981-07-24 JP JP11012581U patent/JPS5823160U/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4913100A (ja) * | 1972-05-17 | 1974-02-05 | ||
| JPS51117571A (en) * | 1975-04-08 | 1976-10-15 | Jeol Ltd | Scanning electron microscope |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6326925Y2 (ja) | 1988-07-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5823160U (ja) | 電子プロ−ブ装置 | |
| JPS5988857U (ja) | 荷電ビ−ム測定装置 | |
| JPS59129159U (ja) | 荷電粒子線装置 | |
| JPS5985570U (ja) | 電子線走査型分析装置 | |
| JPS5823172Y2 (ja) | ハンシヤデンシケンシユツソウチ | |
| JPS59170215U (ja) | 電子線測長装置 | |
| JPS5912553A (ja) | 電子線装置 | |
| JPH0326048U (ja) | ||
| JPS5996759U (ja) | 分析装置 | |
| SU884005A1 (ru) | Способ измерени диаметра электронного зонда в растровом электронном микроскопе | |
| JPH024442Y2 (ja) | ||
| JPS5814667U (ja) | 荷電粒子線装置 | |
| JPS5823161U (ja) | 荷電粒子分析装置 | |
| JPS6194707U (ja) | ||
| JPS5857065U (ja) | 表面分析装置 | |
| JPS60184259U (ja) | 分析電子顕微鏡 | |
| JPS58135860U (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPS6071064U (ja) | 分析電子顕微鏡 | |
| JPS59177164U (ja) | 走査型反射電子回折顕微装置 | |
| JPS5862263U (ja) | 超音波撮像装置 | |
| Wadsworth | LINE-SEGMENT DETECTOR FOR LINE PATTERNS. Technical Report No. 75. PEPR Report No. 1 | |
| JPS5891851U (ja) | 走査型反射電子回折顕微装置 | |
| JPS58145556U (ja) | 超音波探傷装置 | |
| JPS61140906U (ja) | ||
| JPS6031655U (ja) | イオンマイクロアナライザ |