JPS5814667U - 荷電粒子線装置 - Google Patents
荷電粒子線装置Info
- Publication number
- JPS5814667U JPS5814667U JP10777181U JP10777181U JPS5814667U JP S5814667 U JPS5814667 U JP S5814667U JP 10777181 U JP10777181 U JP 10777181U JP 10777181 U JP10777181 U JP 10777181U JP S5814667 U JPS5814667 U JP S5814667U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particle beam
- sample
- charged particle
- detecting
- difference
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はＳＥＭ像の一例を示す図、第２図は視野制限し
た時、ＣＲＴで観察される試料像を示す図、第３図は線
走査をした結果の試料像信号波形の一例を示す図、第４
図は試料を傾けた場合に視野位置がずれることを説明す
る図、第５図は本考案をＳＥＭに実施した場合の一実施
例を示す図である。 １・・・本考案の全体ブ菊ツク図、２・・・偏向信号発
生器、３，１０・・・偏向器、４・・・電子ビーム、５
・・・試料、６・・・二次電子、７・・・検出器、８・
・・増幅器、９・・・ＣＲＴ、１１・・・偏向制御部、
１２・・・発振器、１３・・・カウンタ、１４・・・２
値化回路、１６・・・試料微動台、１７．１８・・・減
算器、１９．２０・・・ディジタル−アナログコンバー
タ。
た時、ＣＲＴで観察される試料像を示す図、第３図は線
走査をした結果の試料像信号波形の一例を示す図、第４
図は試料を傾けた場合に視野位置がずれることを説明す
る図、第５図は本考案をＳＥＭに実施した場合の一実施
例を示す図である。 １・・・本考案の全体ブ菊ツク図、２・・・偏向信号発
生器、３，１０・・・偏向器、４・・・電子ビーム、５
・・・試料、６・・・二次電子、７・・・検出器、８・
・・増幅器、９・・・ＣＲＴ、１１・・・偏向制御部、
１２・・・発振器、１３・・・カウンタ、１４・・・２
値化回路、１６・・・試料微動台、１７．１８・・・減
算器、１９．２０・・・ディジタル−アナログコンバー
タ。
Claims (1)
- 試料に荷電粒子線を照射する手段、該粒子線を該試料上
で偏向する手段、上記照射の結果の試料情報信号を検出
する手段、該情報信号にもとづいて映像表示する表示手
段、および上記試料の微動装置からなる荷電粒子線装置
において、映像として表示されている試料像の中の、少
なくとも明るさの変化が生じている部分が含まれる一部
分を選定し、選定された一部分までの走査の開始点から
の荷電粒子線の移動量を検出し、保持する手段と、上記
保持した後において生じた走査の開始点からの上記一部
分迄の移動量を検出し、上記保持された移動量に対する
差分を求める手段と、該差分に対応して荷電粒子との相
対的位置関係を補正する・ 手段とを具備したことを特
徴とする荷電粒子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10777181U JPS5814667U (ja) | 1981-07-22 | 1981-07-22 | 荷電粒子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10777181U JPS5814667U (ja) | 1981-07-22 | 1981-07-22 | 荷電粒子線装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5814667U true JPS5814667U (ja) | 1983-01-29 |
Family
ID=29902199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10777181U Pending JPS5814667U (ja) | 1981-07-22 | 1981-07-22 | 荷電粒子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5814667U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20230096046A (ko) | 2021-01-29 | 2023-06-29 | 아사히 가세이 가부시키가이샤 | 감광성 엘리먼트, 및 레지스트 패턴의 형성 방법 |
-
1981
- 1981-07-22 JP JP10777181U patent/JPS5814667U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20230096046A (ko) | 2021-01-29 | 2023-06-29 | 아사히 가세이 가부시키가이샤 | 감광성 엘리먼트, 및 레지스트 패턴의 형성 방법 |
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