JPH024440Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は走査電子顕微鏡等に使用される表示装
置の走査振幅可変回路の改良に関する。

［従来の技術］ 例えば、走査電子顕微鏡等の試料像の観察にお
いては、表示装置の水平走査と垂直走査の走査振
幅を可変して試料像の視野を制限する所謂制限視
野像の観察が行なわれている。第４図はこのよう
な装置に使用される陰極線管（以下CRTと略す）
の走査振幅可変回路の従来例である（尚、水平走
査と垂直走査とは同様な回路構成であるため水平
走査振幅可変回路のみを示して説明する）。第４
図において、１は例えば＋10mV〜−10mVまで
変化する鋸歯状波の走査信号を発生する走査信号
発生器である。２は走査信号発生器１からの水平
走査信号が供給される加算回路である。３は後述
するCRTの視野内の任意の位置にマークＰを表
示するための位置信号を出力するポテンシヨメー
タであり、該ポテンシヨメータ３の両端は例えば
＋Ｅ＝＋10mVと−Ｅ＝−10mVの電位に保たれ
ている。４は加算回路２の出力信号の振幅を可変
する振幅可変抵抗で、５は振幅可変抵抗４の出力
信号が供給される例えば増幅倍率100の偏向増幅
器であり、振幅可変抵抗４の出力信号は偏向増幅
器５によつて＋10V〜−10Vまで変化する走査信
号に増幅される。６は試料像を表示するCRTで
あり、該CRT６の水平走査コイル６Ｈには、前
記偏向増幅器５より走査信号が供給される。７は
CRT６の画面上にマークＰを表示するための信
号を作るコンパレータで、該コンパレータ７には
走査信号発生器１よりの走査信号とポテンシヨメ
ータ３よりの位置信号が供給され、コンパレータ
７で作られたマーク表示信号HpはマークＰの表
示をオン／オフするスイツチ８に入力される。９
は図示外の検出器で検出された映像信号Ｓとマー
ク表示信号Hpを加算するマーク信号加算回路で
あり、該マーク信号加算回路９よりの信号は前記
CRT６のグリツト６Ｇに供給される。

以上のように構成された従来の回路において、
CRT６の画面中心にマークＰを位置させて試料
像を観察する場合は、ポテンシヨメータ３の摺動
子の位置を電位＋Ｅと−Ｅの電気的中点、つまり
±OVに位置させ、スイツチ８をオン状態にして
マーク表示信号Hpをマーク信号加算回路９に入
力し情報信号Ｓと加算してグリツト６Ｇに供給す
る。この際、走査信号発生器１よりの走査信号と
ポテンシヨメータ３よりの位置信号が入力する加
算回路２の出力信号を振幅可変をせずに偏向増幅
器５に入力すると、偏向増幅器５によつて第５図
イに破線で示す＋10V〜−10Vまで変化する走査
信号Ａに増幅されてCRT６に水平走査コイル６
Ｈに供給される。そのため、CRT６の画面上に
は第６図イに破線で示す視野Ａの像が表示され
る。又、コンパレータ７よりのマーク表示信号
Hpもグリツト６Ｇに供給されているためCRT６
の視野Ａの中心にマークＰも表示される。

次に、CRT６に表示されている視野Ａを例え
ば1/4の制限視野像として表示するには、振幅可
変抵抗４の出力信号の振幅が1/2、つまり振幅可
変抵抗４の出力信号が＋5mV〜−5mVまで変化
するようにする。この振幅可変により、偏向増幅
器５の出力信号は第５図イに実線で示す＋5V〜
−5Vまで変化する走査信号ａに増幅されて水平
走査コイル6Hに供給される。そのため、CRT６
の画面上には第６図イに示す制限視野ａが表示さ
れる。このように、マークＰをCRT６の画面中
心に位置させて制限視野ａの観察を行なう場合
は、振幅可変抵抗４よりの信号を偏向増幅器５で
増幅しても、偏向増幅器５では飽和状態が起らな
いため制限視野ａ内の試料像ｇは歪みがなく表示
される。

［考案が解決しようとする問題点］ ところで制限視野像の観察においては、マーク
Ｐの位置をCRT画面上の任意の位置に移動して
観察するが、ポテンシヨメータ３の摺動子の位置
を例えば＋7.5mVの位置に移動させたとする。

この移動により、走査信号発生器１よりの＋
10mV〜−10mVの走査信号と＋7.5mVの位置信
号が加算回路２によつて加算されるため、加算回
路２の出力信号は＋17.5mV〜−2.5mVまで変化
する。ここで、視野Ａを例えば1/4の制限視野像
として表示するために、加算回路２の出力信号の
振幅を振幅可変抵抗４によつて1/2に振幅可変し
ても、偏向増幅器５には＋12.5mV〜＋2.5mVま
で変化する走査信号が入力することとなり、偏向
増幅器５では第５図ロの破線で示すように飽和状
態が起る。そのため、偏向増幅器５より出力され
る走査信号ａは第５図ロの実線ａで示すように
Δtだけ遅れることとなり、このような走査信号
ａを水平走査コイル６Ｈに供給するとCRT６に
表示される制限視野ａ内の試料像ｇは第６図ロに
示すように歪んでしまう次点があつた。

本考案は、マークＰをCRT画面上の任意の位
置に移動して制限視野像の観察を行なう場合に、
制限視野内の試料像の歪みを防止した表示装置の
走査振幅可変回路を提供することを目的としてい
る。

［問題点を解決するための手段］ 本目的を達成するための本考案の構成は、走査
信号を発生する走査信号発生器と、該発生器より
の走査信号に基づいて電子線を試料上において二
次元的に走査する手段と、該電子線の走査に伴つ
て試料より得られる検出信号に基づいて試料像を
表示する陰極線管と、該陰極線管上に表示するマ
ークの位置を指定する位置信号発生手段と、該走
査信号発生器よりの走査信号と該位置信号発生手
段よりの信号を加算する加算回路と、該加算回路
より偏向増幅器に供給される信号の振幅を可変し
て制限視野像を表示するようにした装置におい
て、前記走査信号発生器よりの走査信号と前記位
置信号発生手段よりの信号を減算する減算回路
と、該減算回路よりの信号の振幅を可変する振幅
可変回路とを備え、該振幅可変回路よりの信号を
前記加算回路に供給するように構成したことを特
徴としている。

［実施例］ 以下本考案の実施例を図面に基づき詳述する。

第１図は本考案の一実施例を示す走査振幅可変
回路であり、第４図の従来の回路と同一構成要素
には同一番号を付してその説明を省略する。第１
図において、１０は走査信号発生器１より走査信
号が供給される減算回路であり、該減算回路１０
にはポテンシヨメータ３より前述した位置信号が
入力されている。１１は減算回路１０に接続され
た振幅可変抵抗であり、該振幅可変抵抗１１で振
幅可変された走査信号は加算回路２に入力され
る。

以上のように構成された回路において、マーク
ＰをCRT６の画面中心より移動させ、制限視野
によつて試料観察する場合の走査振幅可変回路の
動作を水平走査振幅可変回路を用いて説明する。

第２図イ〜ニには、第１図に示す一実施例回路
を説明するための各動作点における信号波形が示
されている。

第２図イに示した信号波形は、前述した走査信
号発生器１より減算回路１０に供給される鋸歯状
波の水平走査信号Ｈである。第２図ロはポテンシ
ヨメータ３の摺動子の位置を例えば＋7.5mVの位
置に移動した場合における減算回路２よりの走査
信号ｈが示されている。この減算回路１０よりの
走査信号ｈを例えば1/4の制限視野像として表示
するために、加算回路２の出力信号を振幅可変抵
抗４によつて1/2に振幅可変した場合には第２図
ハに示す走査信号h′となる。

この振幅可変された走査信号h′とポテンシヨメ
ータ３よりの位置信号を加算回路２よつて加算す
ると第２図ニに示す走査信号h″となる。第３図イ
には走査信号h″が偏向増幅器５によつて増幅され
た場合の走査信号ａが示されており、この走査信
号ａをCRT６の水平走査コイル６Ｈに供給すれ
ば、第３図ロに示す制限視野ａが表示される。つ
まり、このように構成された走査振幅可変回路で
は、CRT６の画面上に表示される視野Ａ（制限視
野される前の視野）において、マークＰを任意の
位置に移動させて制限視野像を表示しても、偏向
増幅器５に供給される信号は偏向増幅器５を飽和
させない範囲のものとなるため、制限視野ａ内の
試料像ｇは歪みなく表示される。

尚、この場合、視野の端部とマークとの相対的
な関係を保つたまま、いわば相似的に視野の拡大
又は縮小が行なわれることとなる。

［考案の効果］ 以上詳細に説明した如く本考案による表示装置
の走査振幅可変回路によれば、マークＰをCRT
画面上の端部に移動して制限視野像の観察を行な
つても、制限視野内の試料像の歪みを防止するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図イ
〜ニ及び第３図イは第１図に示す一実施例回路の
各動作点の動作状態を説明するための図、第３図
ロは第１図に示す実施例回路における制限視野の
状態を説明するための図、第４図は従来の走査振
幅可変回路を説明するための図、第５図は従来の
回路の動作を説明するための図、第６図は従来に
おける像の歪みを説明するための図である。 １：走査信号発生器、２：加算回路、３：ポテ
ンシヨメータ、５：偏向増幅器、６：陰極線管、
７：コンパレータ、８：スイツチ、９：マーク信
号加算回路、１０：減算回路、１１：振幅可変抵
抗。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 走査信号を発生する走査信号発生器と、該発生
   器よりの走査信号に基づいて電子線を試料上にお
   いて二次元的に走査する手段と、該電子線の走査
   に伴つて試料より得られる検出信号に基づいて試
   料像を表示する陰極線管と、該陰極線管上に表示
   するマークの位置を指定する位置信号発生手段
   と、該走査信号発生器よりの走査信号と該位置信
   号発生手段よりの信号を加算する加算回路と、該
   加算回路より偏向増幅器に供給される信号の振幅
   を可変して制限視野像を表示するようにした装置
   において、前記走査信号発生器よりの走査信号と
   前記位置信号発生手段よりの信号を減算する減算
   回路と、該減算回路よりの信号の振幅を可変する
   振幅可変回路とを備え、該振幅可変回路よりの信
   号を前記加算回路に供給するように構成したこと
   を特徴とする表示装置の走査振幅可変回路。