SU572230A3 - Сканирующа система микроскопа - Google Patents

Description

(54) СКАНИРУЮЩАЯ СИСТЕМА МИКРОСКОПА

ные частицы. Он образует световой сигнал, преобразуемый фотоэлектрошпзШ умножителем 8 в электрический сигнал, который используетс  затем дл  модулировани  интенсивности воспроизвод щего устройства, формирующего изображение образца, электронно-лучевой трубки 9.

Воспроизвод щее устройсхво и система отклонени  пучка 6 включан с  пофедством генератора развертки в устройстве управлени  синхронизацией и разверткой 10, имен цем секции развертки по вертикали 11 и горизонтали 12. Благодар  этому обеспечиваетс  синхронизаци  движени  пучка по« образцу и воспроизведени  изображени  образца на экране электронно-лучевой трубки 9. Система отклонени  пучка 6 содержит отклон ющие катущки, которые отклон ют пучок в двух взаимно перпендикул рных направлени х по поверхности образца. Описанна  система примен етс  дл  коррекции искажений частоты 50 гц и устранени  помех, создаваемых силовой системой микроскопа. Коррекци  искажений посто нной частоты достигаетс  с помощью генераторов сигналов коррекции 13 и 14, соединенных с устройством управлени  синхронизацией и разверткой 10. При необходимости коррекции искажений на другой частоте дл  генераторов сигналов коррекции требуетс  отдельный источник.

На фиг. 2 показано действие коррекции; на фиг. 3 - пршщипиальна  схема генераторов сигналов когрекции.

Линии 15 на экране электронно-лучевой трубки представл ют собой обышые строки развертки по горизонтали. Вли ние внещних полей (электрических или магнитных) на пучок во врем  работы заключаетс  в том, что они заставл ют его отклон тьс  в горизонтальном или вертикальном направлении (чаще одновременно в обоих). Когда пучок отклон етс , его положеьше и положение полученного с помощью развертки изофажени  не соответствуют друг другу. Показанна  на фиг. 2 волниста  лини   вл етс  результатом отклонени  пучка в горизонтальном направлении из-за вли ни  внешЧ них полей. В этом случае развертка пучка по вертакали невозможна. Развертка по горизотали заставл ет пучок повторно следовать через одну и ту же ЛИ1ШЮ на образце в горизонтальном направлe п1и , а электронно-лучева  трубка 9 дает полную картину; информаци  о том, что развертка пучка по вертикали невозможна, в ней отсутствует. Таким образом, электронно-лучева  трубка 9 показывает одну вертикальную линию 16, представл ющую собой сигнал, обнаруженный во врем  развертки стационарной строки. Если допустить, что искажени  по горизонтали нет, то строка 16 будет пр мой, поскольку при отсутствии такого искажени  пучок должен следовать по одному пр мому пути слева направо на образце и образовывать повтор ющийс  сигнал в одном относительном положении по горизонтали . Этот сигнал воспроизводитс  в виде вертиетс  вертикально на экране электронно-лучевой трубки.

В предложенной системе смещение пучка корректируетс  интерферирующим внещним полем посредством создани  сщ-нала вьшр млени  пучка, который передаетс  соответствующим отклон ющим катушкам. При этом не об зательно создавать сигнал коррекции дл  каждой развертки пучка по горизонтали в полном вертикальном растре. Удобно разбить растр из 1200 строк на 24 группы развертки 17 на электронно-лучевой трубке 9. Соответственно , дл  каждой группы развертки с целью коррекции отклонени  по горизонтали образуетс  функци  смещени  пучка влево или вправо. Образование функции смещени  пучка во врем  его пересечени  соответствующей группы развертки заставл ет вьшр митьс  искаженную строку 16.

Генераторы сигналов коррекщт (фиг. 3) по горизонтали 13 и вертикали 14 соответственно содержат регулируемые источники напр жени  18 и 19 соответственно. Эти источники - потенциометры , питаемые от источников, тока 20 и 21, подключены к катущкам отклонени  по вертикали и горизо1пали отклон нщей системы 6 через переключатели 22 и 23 и фильтры 24 и 25.

Переключатели 22 и 23 управл ютс  с помощью след щих систем 26 и 27, реагирующих на работу устройства 10 управлени  сишфонизацией и раз верткой. След щие системы 26 и 27 заставл ют переключатели 22 и 23 повторно срабатьшать в соответствии с частотой искажени , которое необходимо корректировать. Таким образом, дл  каждого цикла частоты пол  помех дл  развертки пучка может примен тьс  бесконечна  коррекци , причем кажда  отдельна  бесконечна  коррекци  производитс  в течение периода 1/Т общего цикла искажающей частоты.

Claims (2)

1. Формула изобретени  Сканирующа  система микроскопа, содержаща  средство генерировани  пучка зар женных частиц , систему отклонени  пучка в двух направлени х , детектор частиц, эмиттированных образцом, и воспроизвод щее устройство дл  формировани  изображени  образца, отличающа с  тем, что, с целью коррекщш искажени  растра при сканировании, обусловлеьшого вли нием внещних электрических полей, устройство содержит генераторы сигналов коррекции, каждьп из которых соединен с помощью синхронизирующего устрой-, ства с одной из отклон ющих систем и включает в себ  след щую систему и устройство переключени , отбирающее сигналы коррекции.

   информации, прин тые во внимание при экспертизе:

   l.Ph ncipPeS techrtic ues of scanning ePeciroH Micf oScopy, voE. i, ed. M.A.Haycxt, Van Nostrand ReinhoW Company,/Vew-Yohk, i974.
2. 2. Патент США, кл. 315-31, N 3678333 от

   9иг.

   17