JPH0463505B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0463505B2 JPH0463505B2 JP58076673A JP7667383A JPH0463505B2 JP H0463505 B2 JPH0463505 B2 JP H0463505B2 JP 58076673 A JP58076673 A JP 58076673A JP 7667383 A JP7667383 A JP 7667383A JP H0463505 B2 JPH0463505 B2 JP H0463505B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- signal
- sample
- electron microscope
- scanning signal
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 4
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
本発明は走査型電子顕微鏡における走査装置に
関する。
関する。
(ロ) 従来技術
従来走査型電子顕微鏡は試料面の走査領域と
CRT画面上の走査領域とは縦横の比率が同じに
設定してあるので、試料面とCRT画像とは相似
の関係にある。通常の試料面の観察にはこれが当
然であるが、特殊な目的のためには、試料面と
CRT画像とで走査領域の縦横比が異つている方
が好都合なことがある。例えばメツキ層内の異物
の検出と云うような場合で、厚さ10μmのメツキ
層の断面を長さ１mmにわたつて検査しようとする
場合、メツキ層内の異物は厚0.5μm程度であるの
で、これを眼視検出できるようにするため画像上
で２mm位になるようにしようとすると倍率は4000
倍となる。そうすると観察すべき長さは画像上で
は４ｍにもなり、CRT上で一度に観察できる長
さを100mmとすると、40回も試料移動操作をしな
ければならず、写真撮影の手数や所要時間を考え
ると、きわめて非能率な検査となる。
CRT画面上の走査領域とは縦横の比率が同じに
設定してあるので、試料面とCRT画像とは相似
の関係にある。通常の試料面の観察にはこれが当
然であるが、特殊な目的のためには、試料面と
CRT画像とで走査領域の縦横比が異つている方
が好都合なことがある。例えばメツキ層内の異物
の検出と云うような場合で、厚さ10μmのメツキ
層の断面を長さ１mmにわたつて検査しようとする
場合、メツキ層内の異物は厚0.5μm程度であるの
で、これを眼視検出できるようにするため画像上
で２mm位になるようにしようとすると倍率は4000
倍となる。そうすると観察すべき長さは画像上で
は４ｍにもなり、CRT上で一度に観察できる長
さを100mmとすると、40回も試料移動操作をしな
ければならず、写真撮影の手数や所要時間を考え
ると、きわめて非能率な検査となる。
(ハ) 目的
本発明は上述したようなきわめて細長な領域の
全面観察に適した走査型電子顕微鏡の走査装置を
提供しようとするものである。
全面観察に適した走査型電子顕微鏡の走査装置を
提供しようとするものである。
(ニ) 構成
本発明はCRTに印加するＸ方向及びＹ方向の
走査信号の振幅比率は一定とし、走査型電子顕微
鏡本体に印加するＸ方向及びＹ方向の走査信号の
振幅比率を可変とした点に特徴を有する。
走査信号の振幅比率は一定とし、走査型電子顕微
鏡本体に印加するＸ方向及びＹ方向の走査信号の
振幅比率を可変とした点に特徴を有する。
(ホ) 実施例
第１図は本発明の一実施例を示す。１はＸ方向
走査信号及びＹ方向走査信号発生器、２は走査型
電子顕微鏡本体、３はCRT表示装置である。走
査信号発生器は走査型電子顕微鏡本体２及び
CRT表示装置３に対して共通であり、その出力
信号はCRT表示装置にはそのまゝ、つまりＸ，
Ｙ両走査信号の振幅比率一定の関係で印加され
る。他方走査信号発生器１の出力信号は走査型電
子顕微鏡本体側にはＸ方向及びＹ方向の走査信号
各別に独立して増幅度が加減できる増幅器４，５
を介して印加される。４Ｒ，５Ｒは増幅器３，４
の増幅度を加減する可変抵抗である。６は走査型
電子顕微鏡本体２における電子ビーム偏向コイル
で増幅器３，４の出力が印加されている。７は試
料であり、電子ビームの照射を受けて試料面から
放出された２次電子等が検出器８によつて検出さ
れ、検出器８の出力が増幅器９によつて増幅され
てCRT表示装置３に輝度変調信号として印加さ
れる。
走査信号及びＹ方向走査信号発生器、２は走査型
電子顕微鏡本体、３はCRT表示装置である。走
査信号発生器は走査型電子顕微鏡本体２及び
CRT表示装置３に対して共通であり、その出力
信号はCRT表示装置にはそのまゝ、つまりＸ，
Ｙ両走査信号の振幅比率一定の関係で印加され
る。他方走査信号発生器１の出力信号は走査型電
子顕微鏡本体側にはＸ方向及びＹ方向の走査信号
各別に独立して増幅度が加減できる増幅器４，５
を介して印加される。４Ｒ，５Ｒは増幅器３，４
の増幅度を加減する可変抵抗である。６は走査型
電子顕微鏡本体２における電子ビーム偏向コイル
で増幅器３，４の出力が印加されている。７は試
料であり、電子ビームの照射を受けて試料面から
放出された２次電子等が検出器８によつて検出さ
れ、検出器８の出力が増幅器９によつて増幅され
てCRT表示装置３に輝度変調信号として印加さ
れる。
上述の構成において、第２図に示すように
CRT表示装置３の画面Ｖの縦横比は一定してい
る。他方走査型電子顕微鏡本体２における試料７
の表面の走査範囲は増幅器４，５の増幅度の比率
の選択によつて第２図S1，S2，S3等に示すよう
に縦横比が自由に変えられる。このようにして、
試料面上の同一パターンＰが走査範囲S1，S2，
S3に対応してCRT画面上では第２図Ａ，Ｂ，Ｃ
に示すように縦横の倍率が異なつた映像として構
成される。
CRT表示装置３の画面Ｖの縦横比は一定してい
る。他方走査型電子顕微鏡本体２における試料７
の表面の走査範囲は増幅器４，５の増幅度の比率
の選択によつて第２図S1，S2，S3等に示すよう
に縦横比が自由に変えられる。このようにして、
試料面上の同一パターンＰが走査範囲S1，S2，
S3に対応してCRT画面上では第２図Ａ，Ｂ，Ｃ
に示すように縦横の倍率が異なつた映像として構
成される。
(ヘ) 効果
第３図Ａは鉄表面のクロムメツキ層の断面の従
来の走査型電子顕微鏡による映像で縦横の倍率は
互に等しく200倍で映像上のメツキ層の厚さは0.5
mm（実厚2.5μm）であり、この0.5mm幅の像の中に
含まれている異物の像を見つけることはきわめて
困難である。そこでやむなく、縦横の倍率を共に
例えば4000倍に上げてメツキ層の断面を幅10mmの
画像とし前述したように試料移動操作を多数回繰
返して観察することになる。本発明によれば同じ
試料に対して横方向の倍率は200倍のまゝで縦方
向（Ｙ方向）の倍率だけを4000倍に高める（走査
型電子顕微鏡本体側ではＸ方向走査信号に比しＹ
方向走査信号の振幅を小さくする）ことにより、
第３図Ｂに示すようなCRT画像を得、メツキ層
の厚さを10mm幅に拡大して見ることができる。こ
の場合断面の長さ方向には200倍のまゝだから、
長さ１mmのメツキ層断面の観察は一度に100mm幅
の画像観察を行う（実際には試料移動前後の画像
の端をオーバーラツプさせるので、一度に観察さ
れる範囲は例えば図示のように140mm程度である）
として、２回の試料移動で足り、メツキ層内の
0.5μm厚の異物が幅２mmの像となつて検出できる
ことになる。
来の走査型電子顕微鏡による映像で縦横の倍率は
互に等しく200倍で映像上のメツキ層の厚さは0.5
mm（実厚2.5μm）であり、この0.5mm幅の像の中に
含まれている異物の像を見つけることはきわめて
困難である。そこでやむなく、縦横の倍率を共に
例えば4000倍に上げてメツキ層の断面を幅10mmの
画像とし前述したように試料移動操作を多数回繰
返して観察することになる。本発明によれば同じ
試料に対して横方向の倍率は200倍のまゝで縦方
向（Ｙ方向）の倍率だけを4000倍に高める（走査
型電子顕微鏡本体側ではＸ方向走査信号に比しＹ
方向走査信号の振幅を小さくする）ことにより、
第３図Ｂに示すようなCRT画像を得、メツキ層
の厚さを10mm幅に拡大して見ることができる。こ
の場合断面の長さ方向には200倍のまゝだから、
長さ１mmのメツキ層断面の観察は一度に100mm幅
の画像観察を行う（実際には試料移動前後の画像
の端をオーバーラツプさせるので、一度に観察さ
れる範囲は例えば図示のように140mm程度である）
として、２回の試料移動で足り、メツキ層内の
0.5μm厚の異物が幅２mmの像となつて検出できる
ことになる。
第１図は本発明の一実施例装置の構成を示すブ
ロツク図、第２図は本発明によるCRT画面と試
料走査範囲と画像の形の変化の関係を示す図、第
３図Ａは従来例によるCRT画面の一例の図、同
Ｂは本発明によるCRT画面の一例の図である。 １…Ｘ方向、Ｙ方向走査信号発生器、２…走査
型電子顕微鏡本体、３…CRT表示装置、４…Ｘ
方向走査信号増幅器、５…Ｙ方向走査信号増幅
器。
ロツク図、第２図は本発明によるCRT画面と試
料走査範囲と画像の形の変化の関係を示す図、第
３図Ａは従来例によるCRT画面の一例の図、同
Ｂは本発明によるCRT画面の一例の図である。 １…Ｘ方向、Ｙ方向走査信号発生器、２…走査
型電子顕微鏡本体、３…CRT表示装置、４…Ｘ
方向走査信号増幅器、５…Ｙ方向走査信号増幅
器。
Claims (1)
- １ Ｘ方向走査信号とＹ方向走査信号を発生する
信号発生器と、前記信号発生器からのＸ方向走査
信号、Ｙ方向走査信号が各々供給される二つの増
幅器と、これらの増幅器の出力が供給され、電子
ビームを偏向する偏向コイルと、偏向された電子
ビームが照射される試料と、試料から発生する信
号を検出する検出器からの信号が供給される表示
装置とを備えた走査型電子顕微鏡において、上記
走査信号が供給される二つの増幅器にそれぞれ独
立に増幅度を加減できる調整機構を設けることに
より、上記表示装置に表示される試料像の縦横の
倍率を異ならせることができることを特徴とする
走査型電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7667383A JPS59201351A (ja) | 1983-04-30 | 1983-04-30 | 走査型電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7667383A JPS59201351A (ja) | 1983-04-30 | 1983-04-30 | 走査型電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59201351A JPS59201351A (ja) | 1984-11-14 |
| JPH0463505B2 true JPH0463505B2 (ja) | 1992-10-12 |
Family
ID=13611940
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7667383A Granted JPS59201351A (ja) | 1983-04-30 | 1983-04-30 | 走査型電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59201351A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006138864A (ja) * | 2001-08-29 | 2006-06-01 | Hitachi Ltd | 試料寸法測定方法及び走査型電子顕微鏡 |
| JP2007003535A (ja) * | 2001-08-29 | 2007-01-11 | Hitachi Ltd | 試料寸法測定方法及び走査型電子顕微鏡 |
| JP4268867B2 (ja) | 2001-08-29 | 2009-05-27 | 株式会社日立製作所 | 試料寸法測定方法及び走査型電子顕微鏡 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5341062A (en) * | 1977-05-12 | 1978-04-14 | Nippon Fuirutaa Kk | Purifying method and apparatus for drainage by microorganism |
-
1983
- 1983-04-30 JP JP7667383A patent/JPS59201351A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5341062A (en) * | 1977-05-12 | 1978-04-14 | Nippon Fuirutaa Kk | Purifying method and apparatus for drainage by microorganism |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59201351A (ja) | 1984-11-14 |
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