JPH0619974B2 - 立体物の観察装置 - Google Patents
立体物の観察装置Info
- Publication number
- JPH0619974B2 JPH0619974B2 JP59279954A JP27995484A JPH0619974B2 JP H0619974 B2 JPH0619974 B2 JP H0619974B2 JP 59279954 A JP59279954 A JP 59279954A JP 27995484 A JP27995484 A JP 27995484A JP H0619974 B2 JPH0619974 B2 JP H0619974B2
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- JP
- Japan
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- dimensional object
- signal generator
- sawtooth wave
- auxiliary
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Description
【発明の詳細な説明】 (イ)．産業上の利用分野 本発明は、走査型電子顕微鏡を用いて、例えば円筒体の
周囲や球の表面などを観察する立体物の全面観察装置に
関するものである。
周囲や球の表面などを観察する立体物の全面観察装置に
関するものである。
(ロ)．従来技術 走査型電子顕微鏡は、フイラメントから照射される電子
ビームを偏向コイルにより２次元的に走査しながら、試
料表面を走査し、試料表面から発生された２次電子を検
出し、この検出信号により、前記偏向コイルの走査と同
期して走査されるブラウン管の輝度を変調し、ブラウン
管上に試料表面の状態を表示させ、その観察を行なうも
のである。
ビームを偏向コイルにより２次元的に走査しながら、試
料表面を走査し、試料表面から発生された２次電子を検
出し、この検出信号により、前記偏向コイルの走査と同
期して走査されるブラウン管の輝度を変調し、ブラウン
管上に試料表面の状態を表示させ、その観察を行なうも
のである。
しかしながら、試料表面を電子ビームにより２次元的に
走査する従来の方法によると、円筒体や球体などの立体
物の全面にわたつての同時的な表示は不可能である。こ
れを、第３図により説明する。
走査する従来の方法によると、円筒体や球体などの立体
物の全面にわたつての同時的な表示は不可能である。こ
れを、第３図により説明する。
同図において、不図示のフイラメントから放射された電
子ビームｅは偏向コイルＣにより発生される平等磁界に
おいて偏向，走査されながら、立体物Ｓの開き角θで示
される領域を照射し、この領域以外の領域は照射不能で
ある。そこで、通常は、開き角θで示される立体物Ｓの
領域の表面状態をブラウン管に表示させ、フイルムに撮
影した後に立体物Ｓの位置を変え、新たな観察領域を電
子ビームｅに照射される位置に移動配置し、前記した操
作と同様な操作を行なつて立体像Ｓの全面表示，撮影を
行なつているのである。
子ビームｅは偏向コイルＣにより発生される平等磁界に
おいて偏向，走査されながら、立体物Ｓの開き角θで示
される領域を照射し、この領域以外の領域は照射不能で
ある。そこで、通常は、開き角θで示される立体物Ｓの
領域の表面状態をブラウン管に表示させ、フイルムに撮
影した後に立体物Ｓの位置を変え、新たな観察領域を電
子ビームｅに照射される位置に移動配置し、前記した操
作と同様な操作を行なつて立体像Ｓの全面表示，撮影を
行なつているのである。
これによると、立体物Ｓが円筒体である場合には点
Ｓ１，Ｓ２で示される軸方向のラインにおいて、そして
立体物Ｓが球体である場合には点Ｓ1とＳ２を結ぶ円形
ラインにおいては、電子ビームｅが接線方向から照射さ
れるため、接線方向における物質の２次電子が放出され
る可能性があり、法線方向から電子ビームｅを照射した
場合の試料表面とは異なつた試料表面をブラウン管に表
示してしまう。また、立体物Ｓの開き角θで示す領域の
観察を終えた後に、立体物Ｓの新たな領域を電子ビーム
ｅに照射されるように位置を変える操作は煩らわしいも
のであり、また立体物Ｓの表面を複数回撮影しなければ
ならず、立体物Ｓの全面を一べつしてその状態観察を行
なえないという欠点がある。
Ｓ１，Ｓ２で示される軸方向のラインにおいて、そして
立体物Ｓが球体である場合には点Ｓ1とＳ２を結ぶ円形
ラインにおいては、電子ビームｅが接線方向から照射さ
れるため、接線方向における物質の２次電子が放出され
る可能性があり、法線方向から電子ビームｅを照射した
場合の試料表面とは異なつた試料表面をブラウン管に表
示してしまう。また、立体物Ｓの開き角θで示す領域の
観察を終えた後に、立体物Ｓの新たな領域を電子ビーム
ｅに照射されるように位置を変える操作は煩らわしいも
のであり、また立体物Ｓの表面を複数回撮影しなければ
ならず、立体物Ｓの全面を一べつしてその状態観察を行
なえないという欠点がある。
(ハ)．目的 本発明は、前記した従来技術の有する欠点を解消するも
ので、走査型電子顕微鏡を用い、電子ビームの偏向を立
体物の全面にわたつて行なわせ、その表面状態を一度に
観察しうる立体物の観察装置を提供することを目的とす
る。
ので、走査型電子顕微鏡を用い、電子ビームの偏向を立
体物の全面にわたつて行なわせ、その表面状態を一度に
観察しうる立体物の観察装置を提供することを目的とす
る。
(ニ)．構成 本発明は、偏向信号発生器の鋸歯状波が入力される偏向
コイルと、偏向信号発生器からの鋸歯状波を入力され、
立体物の全面に電子ビームを照射させるための鋸歯状波
を発生する補助偏向信号発生器と、この補助偏向信号発
生器からの鋸歯状波が入力され前記立体物の略両側付近
に配設された補助偏向コイルとを備え、電子ビームに偏
向を与えて立体物の全面を照射させ、もつて発生した２
次電子を検出し、立体物の全面を表示させ、観察するも
のである。
コイルと、偏向信号発生器からの鋸歯状波を入力され、
立体物の全面に電子ビームを照射させるための鋸歯状波
を発生する補助偏向信号発生器と、この補助偏向信号発
生器からの鋸歯状波が入力され前記立体物の略両側付近
に配設された補助偏向コイルとを備え、電子ビームに偏
向を与えて立体物の全面を照射させ、もつて発生した２
次電子を検出し、立体物の全面を表示させ、観察するも
のである。
(ホ)．実施例 以下に、本発明の立体物の観察装置の実施例を説明す
る。
る。
第１図は本発明の実施例装置の構成図である。
同図において、１は偏向信号発生器で、ここから発生さ
せる鋸歯状波を偏向コイルＣ１と、補助偏向信号発生器
２と、ブラウン管６の偏向コイル５とに入力する。偏向
コイルＣ１と補助偏向コイルＣ２はそれぞれ図示する方
向の平行磁界Ｈ１とＨ２とを発生する。補助偏向信号発
生器２は偏向信号発生器１から図示の如き鋸歯状波が入
力されると、例えば反転増幅器を用いてそれと極性が反
対の関係の鋸歯状波信号を発生させる。３は２次電子検
出器であり、Ｓはその表面の観察が行なわれる立体物で
ある。電子ビームは検出器３から検出された２次電子の
検出信号を増幅し、輝度変調する輝度変調・増幅器であ
る。
せる鋸歯状波を偏向コイルＣ１と、補助偏向信号発生器
２と、ブラウン管６の偏向コイル５とに入力する。偏向
コイルＣ１と補助偏向コイルＣ２はそれぞれ図示する方
向の平行磁界Ｈ１とＨ２とを発生する。補助偏向信号発
生器２は偏向信号発生器１から図示の如き鋸歯状波が入
力されると、例えば反転増幅器を用いてそれと極性が反
対の関係の鋸歯状波信号を発生させる。３は２次電子検
出器であり、Ｓはその表面の観察が行なわれる立体物で
ある。電子ビームは検出器３から検出された２次電子の
検出信号を増幅し、輝度変調する輝度変調・増幅器であ
る。
かかる構成を持つ実施例装置の作用を説明する。
偏向信号発生器１から発生される図示の如き鋸歯状波が
リードｌ１，ｌ２，ｌ３を介して、偏向コイルＣ１と、
補助偏向信号発生器２と、ブラウン管６の偏向コイル５
とに入力される。そして、鋸歯状波を入力された偏向コ
イルＣ１は例えば図示の如き平行磁界Ｈ１を発生する。
補助偏向信号発生器２は偏向信号発生器１からの図示の
如き鋸歯状波を入力され、この鋸歯状波と左右対様の鋸
歯状波を発生し、これを補助偏向コイルＣ２に加え、図
示の如き平行磁界Ｈ２を発生させる。不図示のフイラメ
ントから放射された電子ビームｅは偏向コイルＣ１の発
生する磁界Ｈ１と補助偏向コイルＣ２の発生する磁界Ｈ
２とにより偏向され、立体物Ｓの全表面を走査する。電
子ビームｅが立体物Ｓに照射されると、２次電子を放射
し、これを検出器３により検出し、輝度変調増幅器４に
入力し、ブラウン管６の輝度変調を行ない、ブラウン管
６に立体物Ｓの全表面の状態を映像させることができ、
これをカメラにより撮影し、立体物Ｓの全表面を１枚の
写真を収めることができる。
リードｌ１，ｌ２，ｌ３を介して、偏向コイルＣ１と、
補助偏向信号発生器２と、ブラウン管６の偏向コイル５
とに入力される。そして、鋸歯状波を入力された偏向コ
イルＣ１は例えば図示の如き平行磁界Ｈ１を発生する。
補助偏向信号発生器２は偏向信号発生器１からの図示の
如き鋸歯状波を入力され、この鋸歯状波と左右対様の鋸
歯状波を発生し、これを補助偏向コイルＣ２に加え、図
示の如き平行磁界Ｈ２を発生させる。不図示のフイラメ
ントから放射された電子ビームｅは偏向コイルＣ１の発
生する磁界Ｈ１と補助偏向コイルＣ２の発生する磁界Ｈ
２とにより偏向され、立体物Ｓの全表面を走査する。電
子ビームｅが立体物Ｓに照射されると、２次電子を放射
し、これを検出器３により検出し、輝度変調増幅器４に
入力し、ブラウン管６の輝度変調を行ない、ブラウン管
６に立体物Ｓの全表面の状態を映像させることができ、
これをカメラにより撮影し、立体物Ｓの全表面を１枚の
写真を収めることができる。
なお、第１図に示すように補助偏向コイルＣ２が単一の
場合には、電子ビームｅを立体物Ｓの表面に法線方向か
ら入射させるには補助偏向コイルの数が不十分である。
そこで、第２図に示すように補助偏向コイルの数を増や
し、補助偏向コイルＣ21，Ｃ22，Ｃ23を立体物Ｓの周辺
に配設する。なお、この場合には、補助偏向コイル毎に
補助偏向信号発生器を設け、これらの補助偏向信号発生
器から発生される鋸歯状波を適宜制御して電子ビームｅ
を立体物Ｓの表面に直角に入射させる。
場合には、電子ビームｅを立体物Ｓの表面に法線方向か
ら入射させるには補助偏向コイルの数が不十分である。
そこで、第２図に示すように補助偏向コイルの数を増や
し、補助偏向コイルＣ21，Ｃ22，Ｃ23を立体物Ｓの周辺
に配設する。なお、この場合には、補助偏向コイル毎に
補助偏向信号発生器を設け、これらの補助偏向信号発生
器から発生される鋸歯状波を適宜制御して電子ビームｅ
を立体物Ｓの表面に直角に入射させる。
(ヘ)．効果 以上説明したように本発明によると、偏向信号発生器に
より偏向走査の行なわれる偏向コイルと、補助偏向信号
発生器により偏向走査の行なわれる補助偏向コイルとに
より、電子ビームを、立体物の全表面にわたつて走査さ
せる構成であるから、立体物の全表面を一度に観察する
ことができる。
より偏向走査の行なわれる偏向コイルと、補助偏向信号
発生器により偏向走査の行なわれる補助偏向コイルとに
より、電子ビームを、立体物の全表面にわたつて走査さ
せる構成であるから、立体物の全表面を一度に観察する
ことができる。
第１図は本発明の立体物の観察装置の実施例の構成図、
第２図は第１図に示す補助偏向コイルを複数個配置した
場合の変形例の構成図、第３図は従来装置により立体物
に電子ビームを照射する場合の説明図である。 １は偏向信号発生器、２は補助偏向信号発生器、３は２
次電子を検出する検出器、４は輝度変調増幅器、５はブ
ラウン管用の偏向コイル、６はブラウン管、Ｃ１は偏向
コイル、Ｃ２，Ｃ21，Ｃ22，Ｃ23は補助偏向コイルを示
す。
第２図は第１図に示す補助偏向コイルを複数個配置した
場合の変形例の構成図、第３図は従来装置により立体物
に電子ビームを照射する場合の説明図である。 １は偏向信号発生器、２は補助偏向信号発生器、３は２
次電子を検出する検出器、４は輝度変調増幅器、５はブ
ラウン管用の偏向コイル、６はブラウン管、Ｃ１は偏向
コイル、Ｃ２，Ｃ21，Ｃ22，Ｃ23は補助偏向コイルを示
す。
Claims (2)
- 【請求項１】偏向信号発生器と、 前記偏向信号発生器からの鋸歯状波が入力される偏向コ
イルと、 前記偏向信号発生器からの鋸歯状波が入力され、立体物
の全面に電子ビームを照射させるための鋸歯状波を発生
する補助偏向信号発生器と、 前記立体物の略両側付近に配設され、前記補助偏向信号
発生器からの鋸歯状波が入力される補助偏向コイルと を備える立体物の観察装置。 - 【請求項２】前記補助偏向コイルが複数対設けられ、か
つ該複数対の補助偏向コイル毎に接続された前記補助偏
向信号発生器を備える前記特許請求の範囲第(1)項記載
の立体物の観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59279954A JPH0619974B2 (ja) | 1984-12-29 | 1984-12-29 | 立体物の観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59279954A JPH0619974B2 (ja) | 1984-12-29 | 1984-12-29 | 立体物の観察装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61158659A JPS61158659A (ja) | 1986-07-18 |
| JPH0619974B2 true JPH0619974B2 (ja) | 1994-03-16 |
Family
ID=17618235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59279954A Expired - Lifetime JPH0619974B2 (ja) | 1984-12-29 | 1984-12-29 | 立体物の観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0619974B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5091252A (ja) * | 1973-12-12 | 1975-07-21 |
-
1984
- 1984-12-29 JP JP59279954A patent/JPH0619974B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61158659A (ja) | 1986-07-18 |
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