JPS62199666U - - Google Patents

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JPS62199666U
JPS62199666U JP8663286U JP8663286U JPS62199666U JP S62199666 U JPS62199666 U JP S62199666U JP 8663286 U JP8663286 U JP 8663286U JP 8663286 U JP8663286 U JP 8663286U JP S62199666 U JPS62199666 U JP S62199666U
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ray
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ray shielding
rays
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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案実施例の縦断正面図、第２図は
その側面図、第３図は第１図のＡ―Ａ断面図、第
４図は第１，２，３図の装置並びに従来の装置に
よる測定曲線の一例である。なお図において、１
は試料、２はめつき層、３はＸ線通過孔、４は遮
蔽板、５はＸ線源、６は検出器、７は遮蔽板、８
は凹欠部である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 試料の表面にＸ線を投射するＸ線源と、上記試
    料の表面から発生する蛍光Ｘ線または回折Ｘ線等
    を検出するＸ線検出器とよりなるＸ線分析装置に
    おいて、上記試料の表面にほぼ密着するようにこ
    の表面と平行に配置された第１のＸ線遮蔽板と、
    一方の縁が上記第１のＸ線遮蔽板に密着するよう
    に前記Ｘ線源とＸ線検出器との中間に配置された
    第２のＸ線遮蔽板とよりなり、第１のＸ線遮蔽板
    は第２の遮蔽板の縁と対向する部分にＸ線の通過
    孔を有し、第２のＸ線遮蔽板は第１のＸ線遮蔽板
    と接触する縁における上記通過孔と対向する部分
    にＸ線の通過する凹欠部を有する視野制限スリツ
    ト。
JP8663286U 1986-06-09 1986-06-09 Expired - Lifetime JPH0519839Y2 (ja)

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JP8663286U JPH0519839Y2 (ja) 1986-06-09 1986-06-09

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JPS62199666U true JPS62199666U (ja) 1987-12-19
JPH0519839Y2 JPH0519839Y2 (ja) 1993-05-25

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ID=30943118

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004198416A (ja) * 2002-12-18 2004-07-15 Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg 薄い層の厚さを計測する装置
EP1434983B1 (en) * 2001-06-29 2011-07-20 Panalytical B.V. Limiting device for electromagnetic radiation, notably in an analysis device
JP2013221745A (ja) * 2012-04-12 2013-10-28 Horiba Ltd Ｘ線検出装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1434983B1 (en) * 2001-06-29 2011-07-20 Panalytical B.V. Limiting device for electromagnetic radiation, notably in an analysis device
JP2004198416A (ja) * 2002-12-18 2004-07-15 Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg 薄い層の厚さを計測する装置
JP2013221745A (ja) * 2012-04-12 2013-10-28 Horiba Ltd Ｘ線検出装置

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Publication number Publication date
JPH0519839Y2 (ja) 1993-05-25

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