JPS60170710U - 蛍光x線メツキ膜厚計における分析用フイルタ− - Google Patents
蛍光x線メツキ膜厚計における分析用フイルタ−Info
- Publication number
- JPS60170710U JPS60170710U JP5846484U JP5846484U JPS60170710U JP S60170710 U JPS60170710 U JP S60170710U JP 5846484 U JP5846484 U JP 5846484U JP 5846484 U JP5846484 U JP 5846484U JP S60170710 U JPS60170710 U JP S60170710U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluorescent
- film thickness
- plating film
- analysis filter
- thickness meter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1区は本考案に係る分析用フィルターの断面図、第2
図は同じく第二の実施例の断面図、第3−゛ 図は本考
案の作用態様を示す説明図である。 1・・・分析用フィルター、2・・・フィルム、3・・
・フィルター主体、4・・・金枠、5・・・測定目標物
質、6.7・・・エネルギーの隣接した物質の組合せ、
8・・・分析、計数用の検出器。
図は同じく第二の実施例の断面図、第3−゛ 図は本考
案の作用態様を示す説明図である。 1・・・分析用フィルター、2・・・フィルム、3・・
・フィルター主体、4・・・金枠、5・・・測定目標物
質、6.7・・・エネルギーの隣接した物質の組合せ、
8・・・分析、計数用の検出器。
Claims (1)
- 蛍光X線でエネルギーの隣接した物質の組合せの膜厚等
を測定する場合の金属箔を使用しない分析用フィルター
であって、測定目標物質の蛍光X線の減衰がそれ以外の
物質の蛍光X線の減衰より小さい物質の微粉又は酸化若
しくは硫化物等の化合物の粉末を使用した分析用フィル
ター。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5846484U JPS60170710U (ja) | 1984-04-23 | 1984-04-23 | 蛍光x線メツキ膜厚計における分析用フイルタ− |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5846484U JPS60170710U (ja) | 1984-04-23 | 1984-04-23 | 蛍光x線メツキ膜厚計における分析用フイルタ− |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60170710U true JPS60170710U (ja) | 1985-11-12 |
Family
ID=30583983
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5846484U Pending JPS60170710U (ja) | 1984-04-23 | 1984-04-23 | 蛍光x線メツキ膜厚計における分析用フイルタ− |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60170710U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02266208A (ja) * | 1989-04-07 | 1990-10-31 | Fujitsu Ltd | 膜厚測定方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52141289A (en) * | 1976-05-20 | 1977-11-25 | Rigaku Denki Kogyo Kk | Method of making xxray filters |
JPS5557200A (en) * | 1978-10-20 | 1980-04-26 | Kyowa Gas Chem Ind Co Ltd | Bismuthhcontaining transparent filter for xxray |
-
1984
- 1984-04-23 JP JP5846484U patent/JPS60170710U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52141289A (en) * | 1976-05-20 | 1977-11-25 | Rigaku Denki Kogyo Kk | Method of making xxray filters |
JPS5557200A (en) * | 1978-10-20 | 1980-04-26 | Kyowa Gas Chem Ind Co Ltd | Bismuthhcontaining transparent filter for xxray |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02266208A (ja) * | 1989-04-07 | 1990-10-31 | Fujitsu Ltd | 膜厚測定方法 |
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