JPS60170710U - 蛍光ｘ線メツキ膜厚計における分析用フイルタ− - Google Patents

蛍光ｘ線メツキ膜厚計における分析用フイルタ−

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JPS60170710U
JPS60170710U JP5846484U JP5846484U JPS60170710U JP S60170710 U JPS60170710 U JP S60170710U JP 5846484 U JP5846484 U JP 5846484U JP 5846484 U JP5846484 U JP 5846484U JP S60170710 U JPS60170710 U JP S60170710U
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JP
Japan
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fluorescent
film thickness
plating film
analysis filter
thickness meter
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Pending
Application number
JP5846484U
Other languages
English (en)
Inventor
青柳　光芳
Original Assignee
電測工業株式会社
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Publication date
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Landscapes

  • Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１区は本考案に係る分析用フィルターの断面図、第２
図は同じく第二の実施例の断面図、第３−゛　図は本考
案の作用態様を示す説明図である。 １・・・分析用フィルター、２・・・フィルム、３・・
・フィルター主体、４・・・金枠、５・・・測定目標物
質、６．７・・・エネルギーの隣接した物質の組合せ、
８・・・分析、計数用の検出器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 蛍光Ｘ線でエネルギーの隣接した物質の組合せの膜厚等
    を測定する場合の金属箔を使用しない分析用フィルター
    であって、測定目標物質の蛍光Ｘ線の減衰がそれ以外の
    物質の蛍光Ｘ線の減衰より小さい物質の微粉又は酸化若
    しくは硫化物等の化合物の粉末を使用した分析用フィル
    ター。
JP5846484U 1984-04-23 1984-04-23 蛍光ｘ線メツキ膜厚計における分析用フイルタ− Pending JPS60170710U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02266208A (ja) * 1989-04-07 1990-10-31 Fujitsu Ltd 膜厚測定方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52141289A (en) * 1976-05-20 1977-11-25 Rigaku Denki Kogyo Kk Method of making xxray filters
JPS5557200A (en) * 1978-10-20 1980-04-26 Kyowa Gas Chem Ind Co Ltd Bismuthhcontaining transparent filter for xxray

Patent Citations (2)

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